イメージイメージパルスレーザー
エキシマレーザー COMPex 110
コヒレント・ジャパン単相電源で
- 価格
- 公開価格なし
（見積もり） - 方式
- エキシマ
レーザー - 向いている所
- 成膜・剥離の
研究と試作
比較表での位置
エキシマ
- 6社掲載社数
- 9製品比較表の製品
- 3製品同じ方式
- 1製品公開価格あり
エキシマレーザー COMPex 110の強みと方式
単相電源で動き、
向いている
方式：エキシマレーザー
希ガスと
エキシマレーザー COMPex 110の仕様
- 方式
- エキシマ
レーザー - 波長
- 193nm、
248nm、 308nm - パルス幅
- —公式資料で
確認できず - 平均出力
- 最大30W（KrF）
- 繰り返し周波数
- 最大100Hz
- パルスエネルギー
- 最大400mJ（KrF）
- ビーム品質
- —公式資料で
確認できず - 価格
- —公式資料で
確認できず - 大きさ
- —公式資料で
確認できず - 冷却
- —公式資料で
確認できず - 特長
- 単相電源で
装置に 組み込みやすい
出力と
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| エキシマ | ArF | KrF | |
|---|---|---|---|
| 方式 | エキシマ | エキシマ | エキシマ |
| 波長 | 193nm、 | 193nm（ArF） | 248nm（KrF） |
| パルス幅 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 平均出力 | 最大30W（KrF） | 60〜90W | 75W・ |
| 繰り返し周波数 | 最大100Hz | 6,750Hz | 1000Hz・ |
| パルスエネルギー | 最大400mJ（KrF） | —公式資料で | 75mJ |
| ビーム品質 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 大きさ | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 冷却 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 特長 | 単相電源で | スペックルコントラスト | 稼働率 |
エキシマレーザー COMPex 110のよくある質問
Q.エキシマレーザー COMPex 110はどんな人に向いている？
エキシマレーザー COMPex 110は、成膜・剥離の研究と試作に使う人向けです。エキシマレーザー COMPex 110は、単相電源で動き、研究や試作の装置に組み込めるエキシマレーザー です。
Q.エキシマレーザー COMPex 110の強みは？
エキシマレーザー COMPex 110は、ガスを替えて193nm・248nm・308nmを使い分けます。KrFでは最大400mJ・最大100Hzで、パルスレーザ成膜やレーザリフトオフに使われます。
Q.エキシマレーザー COMPex 110はどんな方式？
エキシマレーザー COMPex 110の方式はエキシマレーザー です。希ガスとハロゲンの混合ガスを放電で光らせ、紫外のパルスを出すガスレーザーです。
Q.エキシマレーザー COMPex 110の主な仕様は？
エキシマレーザー COMPex 110の波長は193nm、248nm、308nm、平均出力は最大30W（KrF）です。繰り返し周波数は最大100Hz、パルスエネルギーは最大400mJ（KrF）です。
Q.エキシマレーザー COMPex 110とArFエキシマレーザー GT80Aはどっちがいい？
成膜・剥離の研究と試作ならエキシマレーザー COMPex 110、半導体の液浸露光の光源ならギガフォトンのArFエキシマレーザー GT80Aです。エキシマレーザー COMPex 110の波長は193nm、248nm、308nm、平均出力は最大30W（KrF）です。ギガフォトンのArFエキシマレーザー GT80Aの波長は193nm（ArF）、平均出力は60〜90Wです。
Q.エキシマレーザー COMPex 110の特長は？
エキシマレーザー COMPex 110の特長は単相電源で装置に組み込みやすいです。ギガフォトンのArFエキシマレーザー GT80Aの特長はスペックルコントラストをGT65A比で36%低減です。
Q.エキシマレーザー COMPex 110とKrFエキシマレーザー G300Kはどっちがいい？
成膜・剥離の研究と試作ならエキシマレーザー COMPex 110、UVでの微細アブレーション加工ならギガフォトンのKrFエキシマレーザー G300Kです。エキシマレーザー COMPex 110の波長は193nm、248nm、308nm、平均出力は最大30W（KrF）です。ギガフォトンのKrFエキシマレーザー G300Kの波長は248nm（KrF）、平均出力は75W・300Wです。
Q.エキシマレーザー COMPex 110のほかにコヒレント・ジャパンのパルスレーザーはある？
あります。コヒレント・ジャパンのパルスレーザーには、エキシマレーザー COMPex 110のほかにピコ秒レーザー HyperRapid NXT 1064-100（波長は1064nm）があります。
Q.エキシマレーザー COMPex 110はどこのメーカー？
エキシマレーザー COMPex 110はコヒレント・ジャパン株式会社の製品です。登記上の本店は〒151-0053 東京都渋谷区代々木2丁目1番1号。コヒレント・ジャパンの主な製品分野は非球面レンズ・UVレーザー・パルスレーザー・ファイバーレーザー です。
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