UVレーザーのメーカー4社比較【2026年】

値段を公式に出している製品はありません。どれも見積もりで、波長・出力・冷却の組み合わせで変わります。オキサイドのFrequad-Mは300mWから2Wまで出力を選べるので、要る出力を決めてから見積もりを取ります。

このページでは、波長変換で深紫外を連続で出す型、紫外のパルスを出す固体レーザー、紫外を直接出す半導体レーザの3つに分けました。Frequad-MとAzure NX 266-1000は266nmの連続発振、AVIA LX 355-20-50とExplorer One HP 355-6は355nmのナノ秒パルス、NDU7475は375〜380nmの半導体レーザです。

266nmは深紫外で、ウエハの検査やラマン分光の光源に使います。355nmは固体レーザーの光を波長変換して出す紫外で、AVIA LX 355-20-50は20W超、Explorer One HP 355-6は6W超を出し、微細加工に使います。

連続発振は出力が揺れにくく、検査や分光の光源に向きます。Azure NX 266-1000は1Wの連続光です。パルスは1発のエネルギーが大きく、AVIA LX 355-20-50は1発400µJ以上で加工に使います。QCW Kalama 266は100MHzの高い繰り返しで、検査や露光機に使います。

オキサイドのQCW Kalama 266は、用途に半導体検査と露光機を挙げた266nmのピコ秒レーザで、出力は最大8Wです。Azure NX 266-1000も、半導体検査とリソグラフィに使える266nmの連続発振のレーザです。

半導体の素子が紫外を直接出すレーザで、日亜化学のNDU7475は375〜380nmで800mW、NDU4116は370〜380nmで70mWです。CANに入った素子なので、駆動回路と放熱は装置の側で用意します。

型で決まります。オキサイドのFrequad-MとQCW Kalama 266は水冷で、エアフィルタと水冷装置を別に用意します。Explorer One HP 355-6は空冷で、水を回さずに装置へ組み込めます。

波長変換の型は、結晶の傷み方で寿命が決まります。オキサイドのFrequad-MとQCW Kalama 266は、期待寿命を10,000時間以上と公式に書いていて、オーバーホールで長く使えます。

Explorer One HP 355-6は空冷の小型で、電源はDC24Vです。日亜化学のNDU4116は直径5.6mmのCANに入った素子で、出力を見張るフォトダイオードが入っています。

M²は1に近いほど、細く絞れるビームです。Azure NX 266-1000はM²が1.3未満で、Frequad-MはTEM00です。半導体レーザのNDU7475はマルチ横モードで、細く絞るより強さを取る型です。

エキシマはガスで紫外のパルスを出すレーザーで、パルスレーザーの比較に載せています。ファイバーレーザーの発振器は、ファイバーレーザー発振器の比較に載せています。このページは、固体の波長変換と紫外の半導体レーザを扱います。