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パルス電源ナノ秒の高電圧型

パルス電源 30kV・15kW級

株式会社明電舎

半導体スイッチと磁気パルス圧縮の高繰り返しパルス電源。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
ナノ秒の高電圧型
向いている所
半導体露光のレーザーに
カタログ
あり（PDF）
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比較表での位置

パルス電源 30kV・15kW級は、パルス電源のメーカー9社比較⁠の種類「ナノ秒の高電圧型」の8製品の1つとして載っています。

  • 9社掲載社数
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  • 8製品同じ種類
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パルス電源 30kV・15kW級の強みと方式

IGBTと磁気パルス圧縮回路でパルスを作る、高繰り返し向きの電源です。出力電圧30kVまで、平均電力15kWを最大6kHzで出せます。エキシマレーザの電源として半導体露光に使われています。

向いている所半導体露光のレーザーに

種類：ナノ秒の高電圧型

数kVから100kVp級のパルスを、ナノ秒の立上がりで出す型です。放電やプラズマ、ガスレーザー、質量分析の電極を動かすときに使います。電圧と幅は負荷で変わるので、負荷を決めてから比べます。

パルス電源 30kV・15kW級の仕様

種類
ナノ秒の高電圧型
出力電圧
〜30kV
出力電流
—公式資料で確認できず
パルス幅
100ns
繰り返し周波数
〜6kHz
立上がり時間
—公式資料で確認できず
電力・エネルギー
平均15kW
価格
—公式資料で確認できず
入力電源
—公式資料で確認できず
大きさ
パルス発生ユニットW650×H230×D520mm
質量
各ユニット90kg
主な用途
エキシマレーザ、EUV光源開発

値は公式の仕様一覧の仕様例。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

パルス電源 30kV・15kW級株式会社明電舎MPC1110S-15KLP パルスパワー電源株式会社末松電子製作所超短パルス電源 PPM1000S-1KESP株式会社末松電子製作所
種類ナノ秒の高電圧型ナノ秒の高電圧型ナノ秒の高電圧型
出力電圧〜30kV11kV（500Ω負荷時）25kV（無負荷時）
出力電流—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
パルス幅100ns—公式資料で確認できず25ns以下
繰り返し周波数〜6kHz15000pps1000pps
立上がり時間—公式資料で確認できず約50ns10ns以下
電力・エネルギー平均15kW入力20mJ/pulse13mJ/pulse
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
入力電源—公式資料で確認できずAC100VAC100V
大きさパルス発生ユニットW650×H230×D520mmパルスパワーユニット406×155×326mm362×164×456mm
質量各ユニット90kgパルスパワーユニット6.1kg約6.2kg
主な用途エキシマレーザ、EUV光源開発—公式資料で確認できず気中放電、誘電体バリア放電

パルス電源の16製品を比較表で見る

パルス電源 30kV・15kW級のよくある質問

Q.パルス電源 30kV・15kW級はどんな人に向いている？
パルス電源 30kV・15kW級は、半導体露光のレーザーに使う人向けです。パルス電源 30kV・15kW級は、IGBTと磁気パルス圧縮回路でパルスを作る、高繰り返し向きの電源です。
Q.パルス電源 30kV・15kW級の強みは？
パルス電源 30kV・15kW級は、出力電圧30kVまで、平均電力15kWを最大6kHzで出せます。エキシマレーザの電源として半導体露光に使われています。
Q.パルス電源 30kV・15kW級はどんな方式？
パルス電源 30kV・15kW級の種類はナノ秒の高電圧型です。数kVから100kVp級のパルスを、ナノ秒の立上がりで出す型です。
Q.パルス電源 30kV・15kW級の主な仕様は？
パルス電源 30kV・15kW級の出力電圧は〜30kV、パルス幅は100nsです。繰り返し周波数は〜6kHz、電力・エネルギーは平均15kWです。
Q.パルス電源 30kV・15kW級とMPC1110S-15KLP パルスパワー電源はどっちがいい？
半導体露光のレーザーにならパルス電源 30kV・15kW級、繰り返しを上げたい放電なら末松電子製作所のMPC1110S-15KLP パルスパワー電源です。パルス電源 30kV・15kW級の出力電圧は〜30kV、パルス幅は100nsです。末松電子製作所のMPC1110S-15KLP パルスパワー電源の出力電圧は11kV（500Ω負荷時）、繰り返し周波数は15000ppsです。
Q.パルス電源 30kV・15kW級の質量は？
パルス電源 30kV・15kW級の質量は各ユニット90kgです。末松電子製作所のMPC1110S-15KLP パルスパワー電源の質量はパルスパワーユニット6.1kgです。
Q.パルス電源 30kV・15kW級の大きさは？
パルス電源 30kV・15kW級の大きさはパルス発生ユニットW650×H230×D520mmです。末松電子製作所のMPC1110S-15KLP パルスパワー電源の大きさはパルスパワーユニット406×155×326mmです。
Q.パルス電源 30kV・15kW級と超短パルス電源 PPM1000S-1KESPはどっちがいい？
半導体露光のレーザーにならパルス電源 30kV・15kW級、放電の実験を机の上でなら末松電子製作所の超短パルス電源 PPM1000S-1KESPです。パルス電源 30kV・15kW級の出力電圧は〜30kV、パルス幅は100nsです。末松電子製作所の超短パルス電源 PPM1000S-1KESPの出力電圧は25kV（無負荷時）、パルス幅は25ns以下です。
Q.パルス電源 30kV・15kW級のほかに明電舎のパルス電源はある？
あります。明電舎のパルス電源には、パルス電源 30kV・15kW級のほかに実験用パルス電源 30kV・10W級（出力電圧は約30kV）があります。
Q.パルス電源 30kV・15kW級はどこのメーカー？
パルス電源 30kV・15kW級は株式会社明電舎の製品です。登記上の本店は〒141-0032 東京都品川区大崎2丁目1番1号。明電舎の主な製品分野は搬送ロボット・排水処理装置・電源車・真空遮断器です。

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    1. 株式会社明電舎 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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