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高周波電源13.56MHz

高周波電源 NR3N-xx

株式会社ノダRFテクノロジーズ

13.56MHz・定格3kWの水冷空冷併用の高周波電源。

価格
公開価格なし（見積もり）
周波数帯
13.56MHz
向いている所
3kWを細いラックに収めたい装置
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

高周波電源 NR3N-xxは、高周波電源のメーカー6社比較⁠の周波数帯「13.56MHz」の8製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 12製品比較表の製品
  • 8製品同じ周波数帯
  • 0製品公開価格あり
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高周波電源 NR3N-xx​の強みと方式

高効率アンプを使った、幅215mmの3kW機です。幅が狭く、ラックの場所をとりません。冷却は水冷と空冷を併用するので、冷却水の配管を用意します。

向いている所3kWを細いラックに収めたい装置

周波数帯：13.56MHz

載せた6社すべてが公式に出している周波数です。表では300WのRP-301から5kWのRGA-50・RFS-1350Nまであり、ダイヘンのRGAシリーズは30kWまで出しています。アルバックのRFS-Nは、電源の本体で整合の制御までまとめられます。

高周波電源 NR3N-xx​の仕様

周波数帯
13.56MHz
周波数
13.56MHz
定格出力
3kW
入力電源
三相AC200V、4kVA
冷却方式
水冷空冷併用式
外形寸法
奥行480mm×幅215mm×高さ146mm
価格
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
出力コネクタ
HN型
パルス出力
—公式資料で確認できず

オプションは同時励起。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

高周波電源 NR3N-xx株式会社ノダRFテクノロジーズRF電源 RP-1K02アリオス株式会社RF電源 RP-301アリオス株式会社
周波数帯13.56MHz13.56MHz13.56MHz
周波数13.56MHz13.56MHz±1kHz13.56MHz±1kHz
定格出力3kW10W〜1kW、1kW連続10〜300W、300W連続
入力電源三相AC200V、4kVA三相AC200〜260V、1.5kW最大単相AC100〜240V、450W最大
冷却方式水冷空冷併用式強制空冷強制空冷
外形寸法奥行480mm×幅215mm×高さ146mm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず15kg2.9kg
出力コネクタHN型N型BNC型
パルス出力—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

高周波電源の12製品を比較表で見る

高周波電源 NR3N-xx​のよくある質問

Q.高周波電源 NR3N-xxはどんな人に向いている？
高周波電源 NR3N-xxは、3kWを細いラックに収めたい装置に使う人向けです。高周波電源 NR3N-xxは、高効率アンプを使った、幅215mmの3kW機です。
Q.高周波電源 NR3N-xxの強みは？
高周波電源 NR3N-xxは、幅が狭く、ラックの場所をとりません。冷却は水冷と空冷を併用するので、冷却水の配管を用意します。
Q.高周波電源 NR3N-xxはどんな方式？
高周波電源 NR3N-xxの周波数帯は13.56MHzです。載せた6社すべてが公式に出している周波数です。
Q.高周波電源 NR3N-xxの主な仕様は？
高周波電源 NR3N-xxの周波数は13.56MHz、定格出力は3kWです。入力電源は三相AC200V、4kVA、冷却方式は水冷空冷併用式です。
Q.高周波電源 NR3N-xxとRF電源 RP-1K02はどっちがいい？
3kWを細いラックに収めたい装置なら高周波電源 NR3N-xx、スパッタやCVDの開発で1kWを使うならアリオスのRF電源 RP-1K02です。高周波電源 NR3N-xxの周波数は13.56MHz、定格出力は3kWです。アリオスのRF電源 RP-1K02の周波数は13.56MHz±1kHz、定格出力は10W〜1kW、1kW連続です。
Q.高周波電源 NR3N-xxの外形寸法は？
高周波電源 NR3N-xxの外形寸法は奥行480mm×幅215mm×高さ146mmです。アルバックの高周波電源 RFS-1310Nの外形寸法は幅240mm×奥行495mm×高さ150mmです。
Q.高周波電源 NR3N-xxの出力コネクタは？
高周波電源 NR3N-xxの出力コネクタはHN型です。アリオスのRF電源 RP-1K02の出力コネクタはN型です。
Q.高周波電源 NR3N-xxとRF電源 RP-301はどっちがいい？
3kWを細いラックに収めたい装置なら高周波電源 NR3N-xx、研究室の小型プラズマ源と組み合わせるならアリオスのRF電源 RP-301です。高周波電源 NR3N-xxの周波数は13.56MHz、定格出力は3kWです。アリオスのRF電源 RP-301の周波数は13.56MHz±1kHz、定格出力は10〜300W、300W連続です。
Q.高周波電源 NR3N-xxのほかにノダRFテクノロジーズの高周波電源はある？
あります。ノダRFテクノロジーズの高周波電源には、高周波電源 NR3N-xxのほかに高周波電源 NR1N-xx（周波数は13.56MHz）があります。
Q.高周波電源 NR3N-xxはどこのメーカー？
高周波電源 NR3N-xxは株式会社ノダRFテクノロジーズの製品です。2002年5月創業で、大阪市淀川区に本社を置く高周波電源システムの会社です。

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