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高周波電源13.56MHz

RF電源 RP-301

アリオス株式会社

13.56MHz・300W連続のRF電源。

価格
公開価格なし（見積もり）
周波数帯
13.56MHz
向いている所
研究室の小型プラズマ源と組み合わせる
カタログ
あり（PDF）
公式の製品ページを見るカタログ（PDF）比較表で見る

比較表での位置

RF電源 RP-301は、高周波電源のメーカー6社比較⁠の周波数帯「13.56MHz」の8製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 12製品比較表の製品
  • 8製品同じ周波数帯
  • 0製品公開価格あり
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RF電源 RP-301​の強みと方式

単相AC100Vから使える300W機で、質量は2.9kgです。手動の実験用プラズマ源から自動制御のプラズマ源まで使えると案内しています。保護機能として、高反射のときは出力を制限します。

向いている所研究室の小型プラズマ源と組み合わせる

周波数帯：13.56MHz

載せた6社すべてが公式に出している周波数です。表では300WのRP-301から5kWのRGA-50・RFS-1350Nまであり、ダイヘンのRGAシリーズは30kWまで出しています。アルバックのRFS-Nは、電源の本体で整合の制御までまとめられます。

RF電源 RP-301​の仕様

周波数帯
13.56MHz
周波数
13.56MHz±1kHz
定格出力
10〜300W、300W連続
入力電源
単相AC100〜240V、450W最大
冷却方式
強制空冷
外形寸法
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
質量
2.9kg
出力コネクタ
BNC型
パルス出力
—公式資料で確認できず

自動マッチングボックスMB-302と組み合わせる。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

RF電源 RP-301アリオス株式会社高周波電源 RFS-1310N株式会社アルバック高周波電源 RFS-1350N株式会社アルバック
周波数帯13.56MHz13.56MHz13.56MHz
周波数13.56MHz±1kHz13.56MHz13.56MHz
定格出力10〜300W、300W連続1000W5000W
入力電源単相AC100〜240V、450W最大単相AC200V-220V、1.8kVA以下3相AC200V-220V、8kVA以下
冷却方式強制空冷強制空冷、冷却水不要強制空冷+水冷、流量6L/min
外形寸法—公式資料で確認できず幅240mm×奥行495mm×高さ150mm幅480mm×奥行500mm×高さ150mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量2.9kg約11kg約23kg
出力コネクタBNC型N型DIN 7/16
パルス出力—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

高周波電源の12製品を比較表で見る

RF電源 RP-301​のよくある質問

Q.RF電源 RP-301はどんな人に向いている？
RF電源 RP-301は、研究室の小型プラズマ源と組み合わせる人向けです。RF電源 RP-301は、単相AC100Vから使える300W機で、質量は2.9kgです。
Q.RF電源 RP-301の強みは？
RF電源 RP-301は、手動の実験用プラズマ源から自動制御のプラズマ源まで使えると案内しています。保護機能として、高反射のときは出力を制限します。
Q.RF電源 RP-301はどんな方式？
RF電源 RP-301の周波数帯は13.56MHzです。載せた6社すべてが公式に出している周波数です。
Q.RF電源 RP-301の主な仕様は？
RF電源 RP-301の周波数は13.56MHz±1kHz、定格出力は10〜300W、300W連続です。入力電源は単相AC100〜240V、450W最大、冷却方式は強制空冷です。
Q.RF電源 RP-301と高周波電源 RFS-1310Nはどっちがいい？
研究室の小型プラズマ源と組み合わせるならRF電源 RP-301、整合の制御を電源に任せたい装置ならアルバックの高周波電源 RFS-1310Nです。RF電源 RP-301の周波数は13.56MHz±1kHz、定格出力は10〜300W、300W連続です。アルバックの高周波電源 RFS-1310Nの周波数は13.56MHz、定格出力は1000Wです。
Q.RF電源 RP-301の質量は？
RF電源 RP-301の質量は2.9kgです。アルバックの高周波電源 RFS-1310Nの質量は約11kgです。
Q.RF電源 RP-301の出力コネクタは？
RF電源 RP-301の出力コネクタはBNC型です。アルバックの高周波電源 RFS-1310Nの出力コネクタはN型です。
Q.RF電源 RP-301と高周波電源 RFS-1350Nはどっちがいい？
研究室の小型プラズマ源と組み合わせるならRF電源 RP-301、5000Wで整合も電源で制御する装置ならアルバックの高周波電源 RFS-1350Nです。RF電源 RP-301の周波数は13.56MHz±1kHz、定格出力は10〜300W、300W連続です。アルバックの高周波電源 RFS-1350Nの周波数は13.56MHz、定格出力は5000Wです。
Q.RF電源 RP-301のほかにアリオスの高周波電源はある？
あります。アリオスの高周波電源には、RF電源 RP-301のほかにRF電源 RP-1K02（周波数は13.56MHz±1kHz）があります。
Q.RF電源 RP-301はどこのメーカー？
RF電源 RP-301はアリオス株式会社の製品です。アリオスの主な製品分野は高周波電源・XYZステージです。

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    出典
    1. アリオス株式会社 公式
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