光学実験・検査装置・微細加工で、部品やセンサの位置を水平2方向と高さの3軸で合わせるXYZステージ（手動・電動）を選ぶ、研究・設備・設計・購買の担当の方へ

XYZステージのメーカー7社比較【2026年】

XYZステージは、載せた物を水平2方向と高さの3軸で動かして、
位置を合わせるための台です。

ABOUT

XYZステージとは

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XYZステージとは、載せた物を水平のX・Yと高さのZの3方向に動かして、
位置を合わせるための台です。
3軸ステージ・XYZテーブルとも呼び、
手で動かす手動の型と、モータやピエゾで動かす型があります。

製品の特長

3方向を別々に動かせる（水平2軸と高さ）
案内で精度と値段が変わる（アリ溝・クロスローラ・リニアベアリング）
手動から電動・ピエゾまで選べる（ラックピニオン・マイクロメータ・ボールねじ）

使うメリット

位置を3方向で細かく合わせられる（高さまで1台で合う）
別々のステージを重ねて組む手間が減る（組み立て済みで届く型がある）
載せる物に合わせて大きさを選べる（手のひら大から大型のテーブルまで）

選ぶときに注意すること

耐荷重を超えて載せると、精度が落ちる
テーブル面が垂直の型と水平の型がある。載せ方に合わせて選ぶ
電動の型は、コントローラとケーブルを別に用意する
繰返し位置決め精度・真直度・分解能は別の数字。カタログでどれか確かめる
合わせた後に動かしたくないなら、クランプの形を確かめる

※仕様と価格は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる（ソーラボジャパンの価格は税抜）。

LIST

XYZステージの比較表

XYZステージ10製品の比較
製品・メーカー	コスト	製品の強み	仕様	公式ページ
手動・アリ溝 3製品
中央精機株式会社XYZ軸ステージ LT-412カメラやセンサの位置決め口コミを書く	43,000円	レバー式のクランプで止められるアリ溝のラックピニオン型です。ツマミ1回転で約18mm動くので、大きく動かして位置を出すときに速く合わせられます。耐荷重は19.6Nで、カメラやセンサの位置決めに使えます。	方式手動・アリ溝ステージ面 40mm×40mm 移動量 ±10mm 案内アリ溝（D-T方式）送り・駆動ラックピニオン、ツマミ1回転で約18mm 精度・分解能真直度0.03mm 耐荷重 19.6N 質量 0.67kg	公式ページへ詳細・仕様
中央精機株式会社小型XYZ軸ステージ LT-413突起を減らして組み込む口コミを書く	72,000円	ハンドルが分離式で、各面に突起が無いブロック型です。質量は0.25kgで、狭い場所に組み込めます。付属のハンドルのほか市販の六角レンチでも動かせ、合わせた後はクランプねじで止めます。	方式手動・アリ溝ステージ面 40mm×40mm 移動量 XY±5mm、Z0〜10mm 案内アリ溝送り・駆動ラックピニオン、ツマミ1回転で約16mm 耐荷重 4.9N 質量 0.25kg 記載なし精度・分解能	公式ページへ詳細・仕様
ツクモ工学株式会社XYZ軸ネジ送りステージ X15-102小さな治具の微調整口コミを書く	44,000円	テーブル面を垂直に立てて保持するねじ送りの型です。ピッチ0.5mmのねじで動かすので、ラックピニオンより細かく合わせられます。24.5Nまで載せられます。	方式手動・アリ溝ステージ面 40mm×60mm 移動量 XY±7.5mm、Z±6mm 案内アリ溝送り・駆動ねじ送り、ピッチ0.5mm 耐荷重 24.5N 記載なし精度・分解能・質量	公式ページへ詳細・仕様
手動・ベアリング案内 4製品
アリオス株式会社超高真空用XYZステージ XYZ70114-50超高真空装置の中の位置合わせ口コミを書く	要見積	超高真空の装置に付ける、中空でフランジ付きの型です。2つのフランジの軸のずれと間の距離を、マイクロメーターヘッドとベローズで変えられます。オールメタルシールで、最高200℃でベーキングできます。	方式手動・ベアリング案内移動量 XY±10mm、Z50mm 案内クロスローラーベアリング送り・駆動マイクロメーターヘッド記載なしステージ面・精度・分解能・耐荷重・質量	公式ページへ詳細・仕様
駿河精機株式会社XYZ軸クロスローラガイド B71-60光学部品の位置合わせ口コミを書く	95,000円	クロスローラガイドで動く、ステージ面60mm角の手動型です。2台からは定価が下がる値段を公式に出しているので、台数をまとめる見積の前に金額をつかめます。本体はアルミで、耐荷重は2kgfです。	方式手動・ベアリング案内ステージ面 60mm×60mm 移動量 13mm 案内クロスローラガイド耐荷重 2kgf 記載なし送り・駆動・精度・分解能・質量	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
ソーラボジャパン株式会社XYZ移動ステージ MT3/M組み立て済みですぐ使う口コミを書く	169,122円税抜	組み立て済みの3軸で届く、右手配列の型です。六角レンチで分解して、マイクロメータの位置を変えられます。ステージを積む精密位置決めピンで、3軸の直交を保ちます。	方式手動・ベアリング案内移動量 12.7mm 案内硬化スチール製リニアベアリング送り・駆動マイクロメータ、1回転で0.5mm 精度・分解能目盛10μm 記載なしステージ面・耐荷重・質量	公式ページへ詳細・仕様
ツクモ工学株式会社XYZ軸フラットアルミステージ XC4-60CM水平テーブルの微調整口コミを書く	116,000円	テーブル面を水平に保ったまま、XY軸と昇降を調整できる型です。マイクロメータヘッドで動かすので、目盛を見ながら細かく合わせられます。同じ60mm角で、粗微動マイクロメータヘッドのXC4-60SMDも選べます。	方式手動・ベアリング案内ステージ面 60mm×60mm 移動量 XY±6.5mm、Z±5mm 案内クロスローラガイド送り・駆動マイクロメータヘッド記載なし精度・分解能・耐荷重・質量	公式ページへ詳細・仕様
電動（ボールねじ＋モータ） 1製品
駿河精機株式会社自動XYZステージ KWL06050検査装置の自動の位置決め口コミを書く	364,000円〜	モータでボールねじを回してXYZを動かす電動の型です。繰返し位置決め精度は±0.5μm以内で、決めた位置へ何度も戻す検査に使えます。モータは標準・高トルク・高分解能から選べます。	方式電動（ボールねじ＋モータ）ステージ面 60mm×60mm 移動量 50mm 案内リニアボールガイド送り・駆動ボールねじ、リード1mm 精度・分解能繰返し位置決め精度±0.5μm以内耐荷重 7kgf 記載なし質量	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
ピエゾ（フレクシャー案内） 1製品
PIジャパン株式会社NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sナノメートルの位置合わせ口コミを書く	要見積	ピエゾアクチュエータで動かす、立方体の小さな型です。フレクシャーガイドにガタが無く、分解能は0.2nmです。動く範囲は閉ループで100μmなので、大きく動かすステージとは使い分けます。	方式ピエゾ（フレクシャー案内）移動量 100μm 案内フレクシャーガイド送り・駆動ピエゾアクチュエータ精度・分解能分解能0.2nm（開ループ）記載なしステージ面・耐荷重・質量	公式ページへ詳細・仕様
案内の種類を公式に書いていないもの 1製品
有限会社ユタカ製作所手動XYZ軸テーブル重い物を載せて高さまで合わせる口コミを書く	1,498,000円〜	最大120kgまで載せられる、キャスター付きの大型テーブルです。Z軸は300mm動くので、高さを大きく変える段取りに向きます。特注も1台から製作します。	方式案内の種類を公式に書いていないものステージ面天板440mm×440mm 移動量 XY±50mm、Z300mm 送り・駆動手動ハンドル、XYは1回転5mm、Zは1回転0.4mm 精度・分解能 Zは0.1mm単位の目盛耐荷重 120kg 記載なし案内・質量	公式ページへ詳細・仕様

手動・アリ溝3製品

中央精機株式会社

XYZ軸ステージ LT-412

カメラやセンサの位置決め

レバー式のクランプで止められるアリ溝のラックピニオン型です。ツマミ1回転で約18mm動くので、大きく動かして位置を出すときに速く合わせられます。耐荷重は19.6Nで、カメラやセンサの位置決めに使えます。

コスト43,000円

方式: 手動・アリ溝
ステージ面: 40mm×40mm
移動量: ±10mm
案内: アリ溝（D-T方式）
送り・駆動: ラックピニオン、ツマミ1回転で約18mm
精度・分解能: 真直度0.03mm
耐荷重: 19.6N
質量: 0.67kg

突起を減らして組み込む

ハンドルが分離式で、各面に突起が無いブロック型です。質量は0.25kgで、狭い場所に組み込めます。付属のハンドルのほか市販の六角レンチでも動かせ、合わせた後はクランプねじで止めます。

コスト72,000円

方式: 手動・アリ溝
ステージ面: 40mm×40mm
移動量: XY±5mm、Z0〜10mm
案内: アリ溝
送り・駆動: ラックピニオン、ツマミ1回転で約16mm
耐荷重: 4.9N
質量: 0.25kg
記載なし: 精度・分解能

小さな治具の微調整

テーブル面を垂直に立てて保持するねじ送りの型です。ピッチ0.5mmのねじで動かすので、ラックピニオンより細かく合わせられます。24.5Nまで載せられます。

コスト44,000円

方式: 手動・アリ溝
ステージ面: 40mm×60mm
移動量: XY±7.5mm、Z±6mm
案内: アリ溝
送り・駆動: ねじ送り、ピッチ0.5mm
耐荷重: 24.5N
記載なし: 精度・分解能・質量

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手動・ベアリング案内4製品

アリオス株式会社

超高真空用XYZステージ XYZ70114-50

超高真空装置の中の位置合わせ

超高真空の装置に付ける、中空でフランジ付きの型です。2つのフランジの軸のずれと間の距離を、マイクロメーターヘッドとベローズで変えられます。オールメタルシールで、最高200℃でベーキングできます。

コスト要見積

方式: 手動・ベアリング案内
移動量: XY±10mm、Z50mm
案内: クロスローラーベアリング
送り・駆動: マイクロメーターヘッド
記載なし: ステージ面・精度・分解能・耐荷重・質量

光学部品の位置合わせ

クロスローラガイドで動く、ステージ面60mm角の手動型です。2台からは定価が下がる値段を公式に出しているので、台数をまとめる見積の前に金額をつかめます。本体はアルミで、耐荷重は2kgfです。

コスト95,000円

方式: 手動・ベアリング案内
ステージ面: 60mm×60mm
移動量: 13mm
案内: クロスローラガイド
耐荷重: 2kgf
記載なし: 送り・駆動・精度・分解能・質量

組み立て済みですぐ使う

組み立て済みの3軸で届く、右手配列の型です。六角レンチで分解して、マイクロメータの位置を変えられます。ステージを積む精密位置決めピンで、3軸の直交を保ちます。

コスト169,122円税抜

方式: 手動・ベアリング案内
移動量: 12.7mm
案内: 硬化スチール製リニアベアリング
送り・駆動: マイクロメータ、1回転で0.5mm
精度・分解能: 目盛10μm
記載なし: ステージ面・耐荷重・質量

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ツクモ工学株式会社

XYZ軸フラットアルミステージ XC4-60CM

水平テーブルの微調整

テーブル面を水平に保ったまま、XY軸と昇降を調整できる型です。マイクロメータヘッドで動かすので、目盛を見ながら細かく合わせられます。同じ60mm角で、粗微動マイクロメータヘッドのXC4-60SMDも選べます。

コスト116,000円

方式: 手動・ベアリング案内
ステージ面: 60mm×60mm
移動量: XY±6.5mm、Z±5mm
案内: クロスローラガイド
送り・駆動: マイクロメータヘッド
記載なし: 精度・分解能・耐荷重・質量

電動（ボールねじ＋モータ）1製品

検査装置の自動の位置決め

モータでボールねじを回してXYZを動かす電動の型です。繰返し位置決め精度は±0.5μm以内で、決めた位置へ何度も戻す検査に使えます。モータは標準・高トルク・高分解能から選べます。

コスト364,000円〜

方式: 電動（ボールねじ＋モータ）
ステージ面: 60mm×60mm
移動量: 50mm
案内: リニアボールガイド
送り・駆動: ボールねじ、リード1mm
精度・分解能: 繰返し位置決め精度±0.5μm以内
耐荷重: 7kgf
記載なし: 質量

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ピエゾ（フレクシャー案内）1製品

PIジャパン株式会社

NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3S

ナノメートルの位置合わせ

ピエゾアクチュエータで動かす、立方体の小さな型です。フレクシャーガイドにガタが無く、分解能は0.2nmです。動く範囲は閉ループで100μmなので、大きく動かすステージとは使い分けます。

コスト要見積

方式: ピエゾ（フレクシャー案内）
移動量: 100μm
案内: フレクシャーガイド
送り・駆動: ピエゾアクチュエータ
精度・分解能: 分解能0.2nm（開ループ）
記載なし: ステージ面・耐荷重・質量

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案内の種類を公式に書いていないもの1製品

有限会社ユタカ製作所

手動XYZ軸テーブル

重い物を載せて高さまで合わせる

最大120kgまで載せられる、キャスター付きの大型テーブルです。Z軸は300mm動くので、高さを大きく変える段取りに向きます。特注も1台から製作します。

コスト1,498,000円〜

方式: 案内の種類を公式に書いていないもの
ステージ面: 天板440mm×440mm
移動量: XY±50mm、Z300mm
送り・駆動: 手動ハンドル、XYは1回転5mm、Zは1回転0.4mm
精度・分解能: Zは0.1mm単位の目盛
耐荷重: 120kg
記載なし: 案内・質量

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出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/jidouka/xyz-stage/／各社の公式資料（2026年11月6日確認）

Q&A

XYZステージ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問XYZステージの価格は、いくら？

手動のアリ溝で、中央精機のLT-412が43,000円、ツクモ工学のX15-102が44,000円です。手動のベアリング案内は、駿河精機のB71-60が95,000円、ツクモ工学のXC4-60CMが116,000円です。電動の駿河精機KWL06050は364,000円〜で、税の扱いは会社ごとに公式の書き方に従います。

設備担当の疑問XYZステージの種類は？

動かし方と、案内の種類で4つに分かれます。手動のアリ溝、手動のベアリング案内、ボールねじとモータの電動、ピエゾです。ユタカ製作所のテーブルのように、案内の種類を書いていない大型の型もあります。

設備担当の疑問XYステージとXYZステージの違いは？

XYステージは水平の2方向だけ動き、XYZステージは高さも合わせられます。高さを別の台で調整しているなら、XYZステージ1台にまとめられます。

設備担当の疑問手動と電動の違いは？

手動はツマミやマイクロメータを手で回し、電動はモータで動かします。駿河精機のKWL06050は繰返し位置決め精度が±0.5μm以内で、決めた位置へ何度も戻せます。一度合わせたら動かさない作業なら、手動で足ります。

設備担当の疑問アリ溝とクロスローラの違いは？

アリ溝は溝で滑らせる案内で、値段を抑えられます。クロスローラは転がる案内で、動きが軽く細かく合わせやすくなります。同じ手動で、中央精機のLT-412が43,000円、駿河精機のB71-60が95,000円です。

工場長の疑問移動量（ストローク）はどれくらい？

中央精機のLT-412が±10mm、ソーラボのMT3/Mが12.7mm、駿河精機のKWL06050が50mmです。ユタカ製作所のテーブルはXYが±50mm、Zが300mmです。PIジャパンのP-611.3Sは100μmで、細かい位置合わせ用です。

総務の疑問載せられる重さ（耐荷重）は？

小さい型で、中央精機のLT-413が4.9N、ツクモ工学のX15-102が24.5Nです。駿河精機のKWL06050は7kgf、ユタカ製作所のテーブルは120kgまで載せられます。

設備担当の疑問ナノメートル単位で動かせるXYZステージは？

ピエゾの型を選びます。PIジャパンのP-611.3Sは、分解能が0.2nmで外形が44mm角です。動く範囲は100μmなので、大きな移動は別のステージで行います。

施設管理の疑問真空の中で使えるXYZステージは？

アリオスのXYZ70114-50は、超高真空の装置のフランジの間に付ける型です。最高200℃でベーキングでき、XYは±10mm動きます。

購買担当の疑問組み立て済みのXYZステージはある？

あります。ソーラボのMT3/Mは組み立て済みの3軸で届き、169,122円（税抜）⁠で⁠す⁠。六角レンチで分解して、マイクロメータの位置を変えられます。

TYPES

XYZステージの方式の違い

手動・アリ溝

溝に沿って台を滑らせるアリ溝の案内で、ツマミを手で回して動かす型です。作りが単純で、値段を抑えられます。ラックピニオンは大きく速く動かせ、ねじ送りは細かく合わせられます。

向いている使い方

カメラやセンサの位置決め
一度合わせたらクランプで止める
台数をそろえて安く使う

根拠：移動ガイドにアリ溝（D-T方式）を使用した移動ユニットです。（出典1）

この方式の3製品を表で見る

手動・ベアリング案内

クロスローラやリニアベアリングの案内で、マイクロメータを手で回して動かす型です。動きが軽く、目盛を見ながら細かく合わせられます。アリ溝より値段は上がります。

向いている使い方

光学部品の精密な位置合わせ
目盛で動かした量を読みたい
超高真空の装置への取り付け

根拠：■XYZ軸の移動ガイドは、クロスローラを採用しています。（出典3）

この方式の4製品を表で見る

電動（ボールねじ＋モータ）

モータでボールねじを回し、3軸を動かす型です。プログラムで決めた位置へ何度でも戻せます。コントローラとケーブルを別に用意します。

向いている使い方

検査装置の自動の位置決め
決まった位置を繰り返し回る
離れた場所から動かす

根拠：送りねじ（ボールねじ） φ 8リード1（出典6）

この方式の1製品を表で見る

ピエゾ（フレクシャー案内）

電圧で伸びるピエゾ素子で動かし、たわむ金属のフレクシャーで案内する型です。ガタが無く、ナノメートルの細かさで動かせます。動く範囲はμmの単位で狭く、手動や電動の型と重ねて使います。

向いている使い方

光ファイバの調芯
顕微鏡の試料の走査
ナノメートルの位置合わせ

根拠：ゼロプレイで高精度なフレクシャーガイド（出典9）

この方式の1製品を表で見る

MAKERS

XYZステージの主なメーカー7社

アリオス株式会社

超高真空の装置に付ける、中空でフランジ付きの型です。

東京都

超高真空用XYZステージ XYZ70114-50

ソーラボジャパン株式会社

組み立て済みの3軸で届く、右手配列の型です。

東京都

XYZ移動ステージ MT3/M

PIジャパン株式会社

ピエゾアクチュエータで動かす、立方体の小さな型です。

神奈川県

NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3S

有限会社ユタカ製作所

最大120kgまで載せられる、キャスター付きの大型テーブルです。

大阪府

手動XYZ軸テーブル

出典

掲載基準

光学実験・検査装置・微細加工で、部品やセンサの位置を水平2方向と高さの3軸で合わせるXYZステージ（手動・電動・ピエゾ）で、メーカーが自社の製品として作り、公式サイトで今案内していて、仕様を公式で確かめられた型式です。海外のメーカーは、日本の会社が日本語の公式サイトで案内しているものに限ります。1社2型式までに絞りました。水平2軸だけのXYステージ（XYステージの比較で扱う）、1軸のステージ（精密ステージの比較で扱う）、回転・傾斜の軸が付いた多軸の型、ガントリー型の3軸ロボット、代理店や商社が売る他社製品、販売終了品は除いています。シグマ光機・コムス・THKプレシジョンは公式サイトが取得を拒み、ミラック光学は公式サイトがエラーで開けず、仕様を確かめられなかったので載せていません。神津精機はXYZ一体の型式を公式で確かめられず、MSAファクトリーは型式の無いフルカスタム品、フィジックステクノロジーは海外ブランドの販売、ワイヤードと日本レーザーと八生商会は代理店や他社製品の販売なので載せていません。ユタカ製作所の手動XYZ軸テーブルは案内の種類を公式に書いていないので、種類を決めずに載せています。値段は税抜と税区分の書いていないものが混ざるので、安め・高めの判定はしていません。

XYZステージを作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

XYZステージのメーカー7社比較【2026年】

XYZステージとは

製品の特長

使うメリット

選ぶときに注意すること