光学実験・検査装置・組立装置で、部品やセンサ・ワークの位置や角度を1方向で合わせる精密ステージ（手動・自動）を選ぶ、研究・設備・設計・購買の担当の方へ

精密ステージのメーカー6社比較【2026年】

精密ステージは、載せた物を1方向に動かしたり回したりして、
位置や角度を細かく合わせる台です。

ABOUT

精密ステージとは

比較表を見る ↓

精密ステージとは、載せた物を1方向に動かしたり回したりして、
位置や角度を細かく合わせる台です。
位置決めステージ・1軸ステージとも呼びます。

製品の特長

動かす向きで選ぶ（X軸・Z軸・回転）
案内で精度と値段が変わる（クロスローラ・リニアボールガイド・アリ溝）
手動から自動まである（ラックピニオン・ボールねじ・超音波モータ）

使うメリット

位置や角度を細かく合わせられる（自動の型はμm単位の繰返し精度がある）
同じ位置に何度でも戻せる（自動の型）
軸を重ねて多軸にできる（Z軸と回転の組み合わせなど）

選ぶときに注意すること

耐荷重を超えて載せると、精度が落ちる
自動の型は、コントローラ・ドライバ・ケーブルを別に用意する
分解能と繰返し精度は別の数字。両方を確かめる
Z軸の型は、横向きの型より耐荷重が小さいことがある
真空やクリーンルームで使うなら、グリスの種類を注文時に決める

※仕様と価格は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。価格に税区分の記載はない。

LIST

精密ステージの比較表

精密ステージ11製品の比較
製品・メーカー	コスト	製品の強み	仕様	公式ページ
X軸（水平に1方向） 3製品
駿河精機株式会社自動Xステージ KXL06050X方向を自動で繰り返し位置決めする口コミを書く	115,000円	60mm角でリニアボールガイドを使い、耐荷重117.6Nを持つ自動のX軸ステージです。繰返し位置決め精度は±0.5μm以内です。移動量は50mmの型で、ほかに30mmと75mmがあります。	動かす向き X軸（水平に1方向）ステージ面 60mm×60mm 移動量 50mm 案内リニアボールガイド送り・駆動ボールねじ、直径8mm、リード1mm 分解能 2μm 繰返し精度 ±0.5μm以内耐荷重 117.6N 最高速度 30mm/s 質量 1.37kg	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
中央精機株式会社手動Xステージ LS-112カメラやセンサの位置を手で大きく動かす口コミを書く	22,000円	ツマミ1回転で約18mm進むラックピニオン式で、±50mmを手で素早く動かせる型です。止めた位置はレバー式クランプで固定します。目量は0.1mmなので、μm単位の合わせには使いません。	動かす向き X軸（水平に1方向）ステージ面 40mm×140mm 移動量 ±50mm 案内アリ溝送り・駆動手動、ラックピニオン分解能目量0.1mm 耐荷重 39.2N 質量 0.55kg 記載なし繰返し精度・最高速度	公式ページへ詳細・仕様
テクノハンズ株式会社超音波モータX軸ステージ XDT70-105小さな装置に直動の軸を組み込む口コミを書く	要見積	超音波モータTULA70を2本使い、重さ約13gに収めた超小型のX軸ステージです。移動量は10mmで、電気を切っても保持します。分解能は1.0μmが基本で、0.1μmなどの型も選べます。	動かす向き X軸（水平に1方向）ステージ面 22mm×26mm 移動量 10mm 送り・駆動超音波モータTULA70を2本分解能 1.0μm 繰返し精度 ±3パルス質量約13g 記載なし案内・耐荷重・最高速度	公式ページへ詳細・仕様
Z軸（上下） 4製品
神津精機株式会社自動Zステージ ZA07A-X103検査装置でZ方向を自動で合わせる口コミを書く	174,000円	70mm角のテーブルを、研削ねじで±10mm上下に送る自動のZステージです。繰返し位置決め精度は±0.3μm以下で、ピント合わせや高さ合わせを同じ位置へ戻せます。水平耐荷重は49Nです。	動かす向き Z軸（上下）ステージ面 70mm×70mm 移動量 ±10mm 案内精密クロスローラガイド送り・駆動研削ねじ、リード0.5mm 分解能 0.5μm 繰返し精度 ±0.3μm以下耐荷重 49N 最高速度 2.5mm/s 質量 1.4kg	公式ページへ詳細・仕様
中央精機株式会社手動Zステージ LV-112カメラやセンサの高さを手で変える口コミを書く	25,000円	±50mmの高さを手で素早く変えられるZ軸の型です。耐荷重は19.6Nで、同じ大きさのX軸の型より小さくなります。止めた位置はレバー式クランプで固定します。	動かす向き Z軸（上下）ステージ面 40mm×140mm 移動量 ±50mm 案内アリ溝送り・駆動手動、ラックピニオン分解能目量0.1mm 耐荷重 19.6N 質量 0.67kg 記載なし繰返し精度・最高速度	公式ページへ詳細・仕様
ヒーハイスト株式会社電動Z軸ステージ DLB型重い物を少しだけ上げ下げする口コミを書く	要見積	くさびで押し上げる構造で、4,900Nを載せたまま上下できるZ軸ステージです。移動量は3mmと小さく、分解能は0.004μm/パルスです。平行出しや加圧の機構に使います。	動かす向き Z軸（上下）ステージ面 145mm×80mm 移動量 3mm 案内 Wクロスローラガイド送り・駆動くさび、ボールねじ、ステッピングモータ分解能 0.004μm/パルス繰返し精度 ±1μm 耐荷重 4,900N 最高速度 0.2mm/s 質量 7.2kg	公式ページへ詳細・仕様
PIジャパン株式会社精密Zステージ L-310リニアや回転の軸と組み合わせて上下させる口コミを書く	要見積	エンコーダ付きのDCモータの型で、両方向の繰返し精度が0.4μmのZステージです。移動量は26mmで、ねじのガタを抑えたボールねじとクロスローラガイドを使います。載せられるのは10kgまでです。	動かす向き Z軸（上下）移動量 26mm 案内クロスローラガイド送り・駆動ボールねじ、ピッチ1mm、DCモータ分解能 0.2μm 繰返し精度 0.4μm 耐荷重 10kg 最高速度 50mm/s 質量 2.7kg 記載なしステージ面	公式ページへ詳細・仕様
回転（角度） 4製品
神津精機株式会社自動回転ステージ RA07A-W02角度を自動で細かく合わせる口コミを書く	226,000円	ウォームホイールで回す、直径68mmテーブルの自動回転ステージです。角度再現性は0.002°以下で、面振れまで製品ページで確かめられます。回転範囲は±135°で、1周は回せません。	動かす向き回転（角度）ステージ面直径68mm 移動量 ±135° 案内アンギュラベアリング送り・駆動ウォームホイール、減速比1/90 分解能 0.004° 繰返し精度 0.002°⁠⁠⁠以下耐荷重 58.8N 最高速度 20°/s 質量 1.2kg	公式ページへ詳細・仕様
駿河精機株式会社自動回転ステージ KRE06360360°回して角度を自動で合わせる口コミを書く	105,000円	直径60mmのテーブルを360°回せるウォームギヤ式の自動回転ステージです。繰返し位置決め精度は±0.05°以内です。耐荷重は29.4Nで、軽い部品やセンサの角度合わせに使います。	動かす向き回転（角度）ステージ面直径60mm 移動量 360° 送り・駆動ウォームギヤ分解能 0.006° 繰返し精度 ±0.05°⁠⁠⁠以内耐荷重 29.4N 最高速度 30°/s 質量 0.50kg 記載なし案内	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
テクノハンズ株式会社超音波モータ回転ステージ θDT70小さな機構に回転の軸を組み込む口コミを書く	要見積	超音波モータ2本で回す、重さ19gの超小型の回転ステージです。分解能は0.005°で、電気を切っても保持します。回転角は60°から360°までの中から選びます。	動かす向き回転（角度）移動量 60〜360° 送り・駆動超音波モータTULA70を2本分解能 0.005° 繰返し精度 ±3パルス質量 19g 記載なしステージ面・案内・耐荷重・最高速度	公式ページへ詳細・仕様
PIジャパン株式会社精密回転ステージ L-611連続して回す角度の位置決め口コミを書く	要見積	回転範囲に制限がなく、連続して回せるウォームギヤの回転ステージです。真ん中に穴が開いていて、光や配線を通せます。値はDCモータの型のものです。	動かす向き回転（角度）移動量 360° 送り・駆動ウォームギヤ、減速比90:1 分解能 35μrad 繰返し精度 350μrad 最高速度 200°/s 質量 1,100g 記載なしステージ面・案内・耐荷重	公式ページへ詳細・仕様

X軸（水平に1方向）3製品

駿河精機株式会社

自動Xステージ KXL06050

X方向を自動で繰り返し位置決めする

60mm角でリニアボールガイドを使い、耐荷重117.6Nを持つ自動のX軸ステージです。繰返し位置決め精度は±0.5μm以内です。移動量は50mmの型で、ほかに30mmと75mmがあります。

コスト115,000円

動かす向き: X軸（水平に1方向）
ステージ面: 60mm×60mm
移動量: 50mm
案内: リニアボールガイド
送り・駆動: ボールねじ、直径8mm、リード1mm
分解能: 2μm
繰返し精度: ±0.5μm以内
耐荷重: 117.6N
最高速度: 30mm/s
質量: 1.37kg

カメラやセンサの位置を手で大きく動かす

ツマミ1回転で約18mm進むラックピニオン式で、±50mmを手で素早く動かせる型です。止めた位置はレバー式クランプで固定します。目量は0.1mmなので、μm単位の合わせには使いません。

コスト22,000円

動かす向き: X軸（水平に1方向）
ステージ面: 40mm×140mm
移動量: ±50mm
案内: アリ溝
送り・駆動: 手動、ラックピニオン
分解能: 目量0.1mm
耐荷重: 39.2N
質量: 0.55kg
記載なし: 繰返し精度・最高速度

公式ページへ

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テクノハンズ株式会社

超音波モータX軸ステージ XDT70-105

小さな装置に直動の軸を組み込む

超音波モータTULA70を2本使い、重さ約13gに収めた超小型のX軸ステージです。移動量は10mmで、電気を切っても保持します。分解能は1.0μmが基本で、0.1μmなどの型も選べます。

コスト要見積

動かす向き: X軸（水平に1方向）
ステージ面: 22mm×26mm
移動量: 10mm
送り・駆動: 超音波モータTULA70を2本
分解能: 1.0μm
繰返し精度: ±3パルス
質量: 約13g
記載なし: 案内・耐荷重・最高速度

Z軸（上下）4製品

検査装置でZ方向を自動で合わせる

70mm角のテーブルを、研削ねじで±10mm上下に送る自動のZステージです。繰返し位置決め精度は±0.3μm以下で、ピント合わせや高さ合わせを同じ位置へ戻せます。水平耐荷重は49Nです。

コスト174,000円

動かす向き: Z軸（上下）
ステージ面: 70mm×70mm
移動量: ±10mm
案内: 精密クロスローラガイド
送り・駆動: 研削ねじ、リード0.5mm
分解能: 0.5μm
繰返し精度: ±0.3μm以下
耐荷重: 49N
最高速度: 2.5mm/s
質量: 1.4kg

カメラやセンサの高さを手で変える

±50mmの高さを手で素早く変えられるZ軸の型です。耐荷重は19.6Nで、同じ大きさのX軸の型より小さくなります。止めた位置はレバー式クランプで固定します。

コスト25,000円

動かす向き: Z軸（上下）
ステージ面: 40mm×140mm
移動量: ±50mm
案内: アリ溝
送り・駆動: 手動、ラックピニオン
分解能: 目量0.1mm
耐荷重: 19.6N
質量: 0.67kg
記載なし: 繰返し精度・最高速度

重い物を少しだけ上げ下げする

くさびで押し上げる構造で、4,900Nを載せたまま上下できるZ軸ステージです。移動量は3mmと小さく、分解能は0.004μm/パルスです。平行出しや加圧の機構に使います。

コスト要見積

動かす向き: Z軸（上下）
ステージ面: 145mm×80mm
移動量: 3mm
案内: Wクロスローラガイド
送り・駆動: くさび、ボールねじ、ステッピングモータ
分解能: 0.004μm/パルス
繰返し精度: ±1μm
耐荷重: 4,900N
最高速度: 0.2mm/s
質量: 7.2kg

リニアや回転の軸と組み合わせて上下させる

エンコーダ付きのDCモータの型で、両方向の繰返し精度が0.4μmのZステージです。移動量は26mmで、ねじのガタを抑えたボールねじとクロスローラガイドを使います。載せられるのは10kgまでです。

コスト要見積

動かす向き: Z軸（上下）
移動量: 26mm
案内: クロスローラガイド
送り・駆動: ボールねじ、ピッチ1mm、DCモータ
分解能: 0.2μm
繰返し精度: 0.4μm
耐荷重: 10kg
最高速度: 50mm/s
質量: 2.7kg
記載なし: ステージ面

回転（角度）4製品

角度を自動で細かく合わせる

ウォームホイールで回す、直径68mmテーブルの自動回転ステージです。角度再現性は0.002°以下で、面振れまで製品ページで確かめられます。回転範囲は±135°で、1周は回せません。

コスト226,000円

動かす向き: 回転（角度）
ステージ面: 直径68mm
移動量: ±135°
案内: アンギュラベアリング
送り・駆動: ウォームホイール、減速比1/90
分解能: 0.004°
繰返し精度: 0.002°⁠⁠⁠以下
耐荷重: 58.8N
最高速度: 20°/s
質量: 1.2kg

360°回して角度を自動で合わせる

直径60mmのテーブルを360°回せるウォームギヤ式の自動回転ステージです。繰返し位置決め精度は±0.05°以内です。耐荷重は29.4Nで、軽い部品やセンサの角度合わせに使います。

コスト105,000円

動かす向き: 回転（角度）
ステージ面: 直径60mm
移動量: 360°
送り・駆動: ウォームギヤ
分解能: 0.006°
繰返し精度: ±0.05°⁠⁠⁠以内
耐荷重: 29.4N
最高速度: 30°/s
質量: 0.50kg
記載なし: 案内

小さな機構に回転の軸を組み込む

超音波モータ2本で回す、重さ19gの超小型の回転ステージです。分解能は0.005°で、電気を切っても保持します。回転角は60°から360°までの中から選びます。

コスト要見積

動かす向き: 回転（角度）
移動量: 60〜360°
送り・駆動: 超音波モータTULA70を2本
分解能: 0.005°
繰返し精度: ±3パルス
質量: 19g
記載なし: ステージ面・案内・耐荷重・最高速度

連続して回す角度の位置決め

回転範囲に制限がなく、連続して回せるウォームギヤの回転ステージです。真ん中に穴が開いていて、光や配線を通せます。値はDCモータの型のものです。

コスト要見積

動かす向き: 回転（角度）
移動量: 360°
送り・駆動: ウォームギヤ、減速比90:1
分解能: 35μrad
繰返し精度: 350μrad
最高速度: 200°/s
質量: 1,100g
記載なし: ステージ面・案内・耐荷重

公式ページへ

詳細・仕様口コミを書く

出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/jidouka/seimitsu-stage/／各社の公式資料（2026年11月6日確認）

Q&A

精密ステージ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問精密ステージの価格は、いくら？

値段を公式に出しているのは神津精機・中央精機・駿河精機です。手動の型で、中央精機のLS-112が22,000円、LV-112が25,000円です。自動の型では、駿河精機のKRE06360が105,000円、KXL06050が115,000円、神津精機のZA07A-X103が174,000円、RA07A-W02が226,000円です。

設備担当の疑問精密ステージの種類は？

動かす向きで3つに分かれます。水平に1方向へ動かすX軸の型、上下に動かすZ軸の型、角度を変える回転の型です。軸を重ねれば多軸にもできます。

設備担当の疑問XYステージとの違いは？

XYステージは水平の2方向を1台で動かします。ここで比べる型は、X軸だけ・Z軸・回転の1方向の型です。1方向だけ合わせれば足りるなら、こちらのほうが構造が簡単です。

設備担当の疑問手動と自動の違いは？

手動はツマミやハンドルを回し、自動はモータで動かします。中央精機の手動LS-112は目量が0.1mmで、手で素早く大きく動かす型です。駿河精機の自動KXL06050は繰返し精度が±0.5μm以内で、決めた位置へ何度でも戻せます。

工場長の疑問分解能と繰返し精度の違いは？

分解能は1回の指令で動く小ささで、繰返し精度は同じ位置へ戻るときのばらつきです。神津精機のZA07A-X103は分解能0.5μmで繰返し精度が±0.3μm以下、PIのL-310は分解能0.2μmで繰返し精度が0.4μmです。

総務の疑問載せられる重さ（耐荷重）は？

中央精機の手動LS-112が39.2N、神津精機のZA07A-X103が49N、駿河精機のKXL06050が117.6Nです。回転の型では、駿河精機のKRE06360が29.4N、神津精機のRA07A-W02が58.8Nです。

設備担当の疑問Z軸ステージの耐荷重は、X軸より小さい？

小さくなる型があります。中央精機の40mm×140mmの手動の型で、X軸のLS-112が39.2N、Z軸のLV-112が19.6Nです。上に載せる物の重さに合わせて、Z軸の耐荷重を先に確かめます。

設備担当の疑問回転ステージはどこまで回せる？

型で違います。神津精機のRA07A-W02は±135°で、駿河精機のKRE06360とPIのL-611は360°です。PIのL-611は回転範囲に制限がなく、連続して回せます。テクノハンズのθDT70は60〜360°から選びます。

施設管理の疑問小さい装置に組み込める超小型の精密ステージは？

テクノハンズの超音波モータの型です。X軸のXDT70-105は約13gで移動量が10mm、回転のθDT70は19gで分解能が0.005°です。どちらも電気を切っても保持します。

工場長の疑問重い物を少しだけ上げ下げするステージは？

くさび式のZ軸ステージを使います。ヒーハイストのDLB型は4,900Nを載せたまま3mm動かせて、分解能は0.004μm/パルスです。平行出しや加圧の機構に使います。

施設管理の疑問精密ステージのグリスや手入れは？

使う場所に合わせてグリスを選びます。神津精機は、製品ページでクリーングリスと真空グリスへの交換を案内しています。注文の前に、使う部屋と真空の有無を決めておきます。

TYPES

精密ステージの動かす向きの違い

X軸（水平に1方向）

テーブルを水平の1方向へ動かす型です。手で回すラックピニオンの型から、モータとボールねじの型、超音波モータの超小型まであります。2方向で合わせるならXYステージを選びます。

向いている使い方

カメラやセンサの位置合わせ
検査装置の1軸の位置決め
小さな装置への組み込み

根拠：移動方向 X軸1方向（出典3）

この動かす向きの3製品を表で見る

Z軸（上下）

テーブルを上下に動かす型です。ピント合わせや高さ合わせに使います。自重も持ち上げるので、同じ大きさのX軸の型より耐荷重が小さい型があります。くさびで押し上げて重い物を少しだけ動かす型もあります。

向いている使い方

顕微鏡やカメラのピント合わせ
ワークの高さ合わせ
重い物の平行出し

根拠：移動方向Ｚ軸1方向（出典4）

この動かす向きの4製品を表で見る

回転（角度）

テーブルを回して角度を合わせる型です。多くはウォームギヤで減速して回します。回せる範囲が決まっている型と、360°回せる型があります。

向いている使い方

部品やセンサの向き合わせ
角度を変えながらの測定
光学部品の回転

根拠：送り方式ウォーム＆ウォームホイール 1/90（出典2）

この動かす向きの4製品を表で見る

MAKERS

精密ステージの主なメーカー6社

神津精機株式会社

70mm角のテーブルを、研削ねじで±10mm上下に送る自動のZステージです。

神奈川県

駿河精機株式会社

60mm角でリニアボールガイドを使い、耐荷重117.6Nを持つ自動のX軸ステージです。

静岡県

中央精機株式会社

ツマミ1回転で約18mm進むラックピニオン式で、±50mmを手で素早く動かせる型です。

東京都

テクノハンズ株式会社

超音波モータTULA70を2本使い、重さ約13gに収めた超小型のX軸ステージです。

神奈川県

ヒーハイスト株式会社

くさびで押し上げる構造で、4,900Nを載せたまま上下できるZ軸ステージです。

埼玉県

電動Z軸ステージ DLB型

PIジャパン株式会社

エンコーダ付きのDCモータの型で、両方向の繰返し精度が0.4μmのZステージです。

神奈川県

出典

掲載基準

光学実験・検査装置・組立装置で、部品・センサ・ワークの位置や角度を1方向で合わせる精密ステージ（X軸だけ・Z軸・回転）で、メーカーが自社の製品として作り、公式サイトで今案内していて、仕様を公式で確かめられた型式です。海外のメーカーは、日本の会社が日本語の公式サイトで案内しているものに限ります。1社2型式までに絞りました。水平の2方向で合わせる型はXYステージの比較で扱うので、ここには載せていません。傾斜（ゴニオ）⁠・θ軸の付いたアライメント・工作機械用のNC円テーブル、リニアガイドやリニアモータの単体、代理店や商社が売る他社の製品、販売終了品も除いています。シグマ光機は製品のページの中身が取れず、ミラック光学は公式サイトが開けず、ツクモ工学と小巻精機は公式サイトが確かめられないため、今回は載せていません。メカノトランスフォーマのピエゾアシストステージはX軸とY軸の両方に微動の機構を持つので載せていません。値段は税区分の書いていないものなので、安め・高めの判定はしていません。

精密ステージを作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

精密ステージのメーカー6社比較【2026年】

精密ステージとは

製品の特長

使うメリット

選ぶときに注意すること