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光学実験・検査装置・微細加工で、部品やセンサ・ワークの位置を合わせるXYステージ(手動・電動)を選ぶ、研究・設備・設計・購買の担当の方へ

XYステージのメーカー6社比較【2026年】

XYステージは、載せた物を水平のX・Yの2方向に動かして、
位置を合わせるための台です。

ABOUT

XYステージとは

比較表を見る ↓

XYステージとは、載せた物を水平のX・Yの2方向に動かして、
位置を合わせるための台です。
X軸のステージを2段に重ねた形が多く、
手で回す手動の型と、モータで動かす電動(自動)の型があります。
XYテーブル・2軸ステージとも呼びます。

製品の特長

  • 2方向を別々に動かせる(X軸とY軸を重ねた形)
  • 案内で精度と値段が変わる(クロスローラ・リニアボールガイド・アリ溝)
  • 手動から電動まで選べる(マイクロメータ・ボールねじ・リニアモータ)

使うメリット

  • 位置を細かく合わせられる(電動はμm以下の繰返し精度の型もある)
  • 同じ位置に何度でも戻せる(電動の型)
  • 載せる物に合わせて大きさを選べる(手のひら大から大型まで)

選ぶときに注意すること

  1. 耐荷重を超えて載せると、精度が落ちる
  2. 電動の型は、コントローラ・ドライバ・ケーブルを別に用意する
  3. 繰返し位置決め精度と位置決め精度は別の数字。カタログでどちらか確かめる
  4. 真空やクリーンルームで使うなら、グリスの種類を注文時に決める
  5. 手動の型は、止める位置をクランプで固定する

※仕様と価格は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる(神津精機の価格は税抜)。案内の種類の分け方は駿河精機の製品案内による。

LIST

XYステージの比較表

XYステージ8製品の比較
製品・メーカーコスト製品の強み仕様公式ページ

手動(マイクロメータ・ツマミ)

2製品
神津精機株式会社手動XYステージ YM07A-S1光学部品やセンサの手での位置合わせ口コミを書く102,000円税抜

クロスローラーガイドのX軸とY軸を、マイクロメータヘッドで送る手動のXYステージです。目盛りは10μmずつ読めて、70mm角のテーブルに53.9Nまで載せられます。サイド押しの形なので、狭い場所にも収まります。

動かし方
手動(マイクロメータ・ツマミ)
ステージ面
70mm×70mm
移動量
±6.5mm
案内
精密クロスローラーガイド
送り・駆動
マイクロメータヘッド、最小読み取り10μm
耐荷重
53.9N
質量
0.86kg
記載なし
繰返し位置決め精度・最高速度
公式ページへ詳細・仕様
中央精機株式会社手動XYステージ LD-412カメラやセンサの大まかな位置決め口コミを書く26,000円

アリ溝の案内をラックピニオンで送る手動XYステージで、ツマミ1回転で約18mm動きます。細かさより、大きく動かす用途に向きます。止める位置は、レバー式のクランプで固定します。

動かし方
手動(マイクロメータ・ツマミ)
ステージ面
40mm×40mm
移動量
±10mm
案内
アリ溝
送り・駆動
ラックピニオン、ツマミ1回転で約18mm
耐荷重
39.2N
質量
0.41kg
記載なし
繰返し位置決め精度・最高速度
公式ページへ詳細・仕様

ねじ送り(ボールねじ+モータ)

4製品
神津精機株式会社自動XYステージ YA07A-R202光学実験での自動の位置合わせ口コミを書く314,000円税抜

クロスローラガイドとリード1.0mmのボールねじで、繰返し位置決め精度を±0.2μm以下に収めた自動XYステージです。マイクロステップで動かすと、0.05μmずつ細かく送れます。最高速度は5mm/sなので、速さより細かさを取る用途に向きます。

動かし方
ねじ送り(ボールねじ+モータ)
ステージ面
70mm×70mm
移動量
±10mm
案内
精密クロスローラガイド
送り・駆動
ボールねじ、リード1.0mm、ステッピングモータ
繰返し位置決め精度
±0.2μm以下
耐荷重
88.2N
最高速度
5mm/s
質量
1.2kg
公式ページへ詳細・仕様
駿河精機株式会社自動XYステージ KYL06050ステンレス製の自動XYステージ口コミを書く230,000円〜

ステンレスの本体にリニアボールガイドを組んだ自動XYステージで、98Nまで載せられます。繰返し位置決め精度は±0.5μm以内で、ボールねじのリードは1mmと2mmから選べます。モータはステッピングモータのほか、ACサーボモータも選べます。

動かし方
ねじ送り(ボールねじ+モータ)
ステージ面
60mm×60mm
移動量
50mm
案内
リニアボールガイド
送り・駆動
ボールねじ、リード1・2mm、ステッピングモータ
繰返し位置決め精度
±0.5μm以内
耐荷重
98N
最高速度
30〜35mm/s
質量
2.74kg
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)
中央精機株式会社自動XYステージ ALD-510-H1P重いワークを載せる自動の位置決め口コミを書く900,000円

鋼のテーブルにV溝とクロスローラの案内を組んだ大型の自動XYステージで、392Nまで載せられます。150mm×180mmのテーブルが±50mm動き、繰り返し精度は±0.0007mmです。案内とボールねじにはクリーンルームグリースを塗ってあります。

動かし方
ねじ送り(ボールねじ+モータ)
ステージ面
150mm×180mm
移動量
±50mm
案内
V溝とクロスローラ
送り・駆動
ボールねじ、リード1mm、ステッピングモータ
繰返し位置決め精度
±0.0007mm
耐荷重
392N
最高速度
16mm/s
質量
16kg
公式ページへ詳細・仕様
THK株式会社中抜きXYステージ DX0505ワークを下からも見る測定や加工口コミを書く要見積

テーブルの真ん中が抜けた中抜きのXYステージで、ワークを上と下の両方から測定・加工できます。駆動のボールねじを外側に置き、案内の中心と駆動の中心をほぼ同じ高さにそろえています。モータはサーボモータに対応します。

動かし方
ねじ送り(ボールねじ+モータ)
移動量
50mm×50mm
案内
LMガイドSRSをクロスに組合せ
送り・駆動
ボールねじ、サーボモータ
記載なし
ステージ面・繰返し位置決め精度・耐荷重・最高速度・質量
公式ページへ詳細・仕様

ダイレクト駆動(リニアモータ・超音波モータ)

2製品
テクノハンズ株式会社超音波モータXYステージ XYDT70-105小さな部品の微小な位置合わせ口コミを書く要見積

超音波モータで直接動かす、重さ約26gの超小型XYステージです。ねじやモータの箱が無いので、22×26mmのテーブルのまま狭い装置に組み込めます。X軸のステージを重ねた形で、X・Yを別々に動かします。

動かし方
ダイレクト駆動(リニアモータ・超音波モータ)
ステージ面
22×26mm
移動量
10mm
送り・駆動
超音波モータTULA70を4本
繰返し位置決め精度
±3pulse
質量
約26g
記載なし
案内・耐荷重・最高速度
公式ページへ詳細・仕様
PIジャパン株式会社リニアモータXYステージ V-731広い範囲を速く正確に動かす検査口コミを書く要見積

鉄心の無いリニアモータで直接動かす、205mm×205mmの大きな範囲を持つXYステージです。一方向の繰返し精度は±0.05μmで、速さは200mm/sまで出ます。位置は分解能1nmのリニアエンコーダで読みます。

動かし方
ダイレクト駆動(リニアモータ・超音波モータ)
移動量
205mm×205mm
案内
クロスローラガイド
送り・駆動
鉄心の無い3相リニアモータ
繰返し位置決め精度
±0.05μm(一方向)
耐荷重
50N
最高速度
200mm/s
質量
19,400g
記載なし
ステージ面
公式ページへ詳細・仕様

手動(マイクロメータ・ツマミ)2製品

神津精機株式会社

手動XYステージ YM07A-S1

光学部品やセンサの手での位置合わせ

クロスローラーガイドのX軸とY軸を、マイクロメータヘッドで送る手動のXYステージです。目盛りは10μmずつ読めて、70mm角のテーブルに53.9Nまで載せられます。サイド押しの形なので、狭い場所にも収まります。

コスト102,000円税抜

動かし方
手動(マイクロメータ・ツマミ)
ステージ面
70mm×70mm
移動量
±6.5mm
案内
精密クロスローラーガイド
送り・駆動
マイクロメータヘッド、最小読み取り10μm
耐荷重
53.9N
質量
0.86kg
記載なし
繰返し位置決め精度・最高速度
公式ページへ
中央精機株式会社

手動XYステージ LD-412

カメラやセンサの大まかな位置決め

アリ溝の案内をラックピニオンで送る手動XYステージで、ツマミ1回転で約18mm動きます。細かさより、大きく動かす用途に向きます。止める位置は、レバー式のクランプで固定します。

コスト26,000円

動かし方
手動(マイクロメータ・ツマミ)
ステージ面
40mm×40mm
移動量
±10mm
案内
アリ溝
送り・駆動
ラックピニオン、ツマミ1回転で約18mm
耐荷重
39.2N
質量
0.41kg
記載なし
繰返し位置決め精度・最高速度
公式ページへ

ねじ送り(ボールねじ+モータ)4製品

神津精機株式会社

自動XYステージ YA07A-R202

光学実験での自動の位置合わせ

クロスローラガイドとリード1.0mmのボールねじで、繰返し位置決め精度を±0.2μm以下に収めた自動XYステージです。マイクロステップで動かすと、0.05μmずつ細かく送れます。最高速度は5mm/sなので、速さより細かさを取る用途に向きます。

コスト314,000円税抜

動かし方
ねじ送り(ボールねじ+モータ)
ステージ面
70mm×70mm
移動量
±10mm
案内
精密クロスローラガイド
送り・駆動
ボールねじ、リード1.0mm、ステッピングモータ
繰返し位置決め精度
±0.2μm以下
耐荷重
88.2N
最高速度
5mm/s
質量
1.2kg
公式ページへ
駿河精機株式会社

自動XYステージ KYL06050

ステンレス製の自動XYステージ

ステンレスの本体にリニアボールガイドを組んだ自動XYステージで、98Nまで載せられます。繰返し位置決め精度は±0.5μm以内で、ボールねじのリードは1mmと2mmから選べます。モータはステッピングモータのほか、ACサーボモータも選べます。

コスト230,000円〜

動かし方
ねじ送り(ボールねじ+モータ)
ステージ面
60mm×60mm
移動量
50mm
案内
リニアボールガイド
送り・駆動
ボールねじ、リード1・2mm、ステッピングモータ
繰返し位置決め精度
±0.5μm以内
耐荷重
98N
最高速度
30〜35mm/s
質量
2.74kg
公式ページへ
中央精機株式会社

自動XYステージ ALD-510-H1P

重いワークを載せる自動の位置決め

鋼のテーブルにV溝とクロスローラの案内を組んだ大型の自動XYステージで、392Nまで載せられます。150mm×180mmのテーブルが±50mm動き、繰り返し精度は±0.0007mmです。案内とボールねじにはクリーンルームグリースを塗ってあります。

コスト900,000円

動かし方
ねじ送り(ボールねじ+モータ)
ステージ面
150mm×180mm
移動量
±50mm
案内
V溝とクロスローラ
送り・駆動
ボールねじ、リード1mm、ステッピングモータ
繰返し位置決め精度
±0.0007mm
耐荷重
392N
最高速度
16mm/s
質量
16kg
公式ページへ
THK株式会社

中抜きXYステージ DX0505

ワークを下からも見る測定や加工

テーブルの真ん中が抜けた中抜きのXYステージで、ワークを上と下の両方から測定・加工できます。駆動のボールねじを外側に置き、案内の中心と駆動の中心をほぼ同じ高さにそろえています。モータはサーボモータに対応します。

コスト要見積

動かし方
ねじ送り(ボールねじ+モータ)
移動量
50mm×50mm
案内
LMガイドSRSをクロスに組合せ
送り・駆動
ボールねじ、サーボモータ
記載なし
ステージ面・繰返し位置決め精度・耐荷重・最高速度・質量
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ダイレクト駆動(リニアモータ・超音波モータ)2製品

テクノハンズ株式会社

超音波モータXYステージ XYDT70-105

小さな部品の微小な位置合わせ

超音波モータで直接動かす、重さ約26gの超小型XYステージです。ねじやモータの箱が無いので、22×26mmのテーブルのまま狭い装置に組み込めます。X軸のステージを重ねた形で、X・Yを別々に動かします。

コスト要見積

動かし方
ダイレクト駆動(リニアモータ・超音波モータ)
ステージ面
22×26mm
移動量
10mm
送り・駆動
超音波モータTULA70を4本
繰返し位置決め精度
±3pulse
質量
約26g
記載なし
案内・耐荷重・最高速度
公式ページへ
PIジャパン株式会社

リニアモータXYステージ V-731

広い範囲を速く正確に動かす検査

鉄心の無いリニアモータで直接動かす、205mm×205mmの大きな範囲を持つXYステージです。一方向の繰返し精度は±0.05μmで、速さは200mm/sまで出ます。位置は分解能1nmのリニアエンコーダで読みます。

コスト要見積

動かし方
ダイレクト駆動(リニアモータ・超音波モータ)
移動量
205mm×205mm
案内
クロスローラガイド
送り・駆動
鉄心の無い3相リニアモータ
繰返し位置決め精度
±0.05μm(一方向)
耐荷重
50N
最高速度
200mm/s
質量
19,400g
記載なし
ステージ面
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Q&A

XYステージ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問XYステージの価格は、いくら?

値段を公式に出しているのは神津精機・中央精機・駿河精機です。中央精機の手動LD-412が26,000円、神津精機の手動YM07A-S1が102,000円(税抜)、自動YA07A-R202が314,000円(税抜)、駿河精機の自動KYL06050が230,000円〜、中央精機の自動ALD-510-H1Pが900,000円です。

設備担当の疑問XYステージの手動と電動(自動)の違いは?

手動はマイクロメータヘッドやツマミを手で回し、電動はモータで動かします。神津精機は同じ70mm角で、手動のYM07A-S1が102,000円、電動のYA07A-R202が314,000円(どちらも税抜)⁠で⁠す⁠。決めた位置に何度も戻すなら電動を選びます。

設備担当の疑問XYステージの種類は?

動かし方で3つに分かれます。手で回す手動、モータでボールねじを回すねじ送り、リニアモータや超音波モータで直接動かすダイレクト駆動です。このページでは手動2製品、ねじ送り4製品、ダイレクト駆動2製品を載せています。

設備担当の疑問クロスローラとリニアボールガイドとアリ溝の違いは?

案内の違いで、精度と値段が変わります。駿河精機は手動ステージの案内を、高剛性・高精度のリニアボールガイド、高精度のクロスローラガイド、低価格のアリ式に分けています。クロスローラはころが線で当たるので、ボールの点の当たりより剛性が高くなります。

工場長の疑問XYステージの繰返し位置決め精度はどれくらい?

電動の型で、中央精機のALD-510-H1Pが±0.0007mm、神津精機のYA07A-R202が±0.2μm以下、駿河精機のKYL06050が±0.5μm以内です。PIのV-731は一方向で±0.05μmです。手動の型は繰返し精度を出していません。

総務の疑問載せられる重さ(耐荷重)は?

手のひら大の手動の型で、中央精機のLD-412が39.2N、神津精機のYM07A-S1が53.9Nです。電動では、駿河精機のKYL06050が98N、中央精機のALD-510-H1Pが392Nまで載せられます。

設備担当の疑問移動量(ストローク)はどれくらい?

小さい型で、神津精機のYM07A-S1が±6.5mm、テクノハンズのXYDT70-105が10mmです。大きい型では、中央精機のALD-510-H1Pが±50mm、PIのV-731が205mm×205mmです。

施設管理の疑問小さい装置に組み込める超小型のXYステージは?

テクノハンズのXYDT70-105は、超音波モータTULA70を4本使い、重さ約26g、テーブルは22×26mmです。ねじとモータの箱が無いので、狭い装置に組み込めます。

設備担当の疑問ワークを下から照らしたり観察したりできる型は?

真ん中が抜けた中抜きの型を選びます。THKのDXは、テーブルの上のワークを上面と下面から測定・加工できます。テクノハンズも、中空のXYステージを出しています。

設備担当の疑問リニアモータのXYステージとは?

ねじを使わず、リニアモータでテーブルを直接動かすXYステージです。PIのV-731は205mm×205mmの範囲を200mm/sまでの速さで動き、一方向の繰返し精度は±0.05μmです。

施設管理の疑問XYステージのグリスや手入れは?

使う場所に合わせてグリスを選びます。中央精機のALD-510-H1Pは、案内とボールねじにクリーンルームグリースを塗ってあります。神津精機は、クリーングリスや真空グリスへの交換を注文時に選べます。

TYPES

XYステージの動かし方の違い

手動(マイクロメータ・ツマミ)

マイクロメータヘッドやツマミを手で回して動かす型です。電源が無くても使え、値段も抑えられます。同じ位置に何度も戻す作業や、遠くから動かす使い方には向きません。

向いている使い方

  • 光学部品やセンサの位置合わせ
  • 一度合わせたら動かさない
  • 電源の無い実験台

根拠:●駆動方式は、マイクロメータヘッドを採用。(出典1)

この動かし方の2製品を表で見る

ねじ送り(ボールねじ+モータ)

ステッピングモータやサーボモータでボールねじを回し、テーブルを送る型です。プログラムで決めた位置へ何度でも動かせます。細かさはねじのリードとモータの分解能で決まります。

向いている使い方

  • 検査装置での自動の位置決め
  • 決まった位置を繰り返し回る
  • 重いワークを載せる

根拠:送り方式 ボールネジ, リード 1.0mm(出典2)

この動かし方の4製品を表で見る

ダイレクト駆動(リニアモータ・超音波モータ)

リニアモータや超音波モータで、ねじを使わずにテーブルを直接動かす型です。ねじのガタが無く、速さや小ささを取りやすくなります。位置はエンコーダで読んで決めます。

向いている使い方

  • 広い範囲を速く動かす検査
  • 小さな装置への組み込み
  • ねじのガタを嫌う位置決め

根拠:Ironless 3-phase linear motor(出典8)

この動かし方の2製品を表で見る
MAKERS

XYステージの主なメーカー6社

神津精機株式会社

クロスローラーガイドのX軸とY軸を、マイクロメータヘッドで送る手動のXYステージです。

神奈川県

駿河精機株式会社

ステンレスの本体にリニアボールガイドを組んだ自動XYステージで、98Nまで載せられます。

静岡県

中央精機株式会社

アリ溝の案内をラックピニオンで送る手動XYステージで、ツマミ1回転で約18mm動きます。

東京都

THK株式会社

テーブルの真ん中が抜けた中抜きのXYステージで、ワークを上と下の両方から測定・加工できます。

東京都

テクノハンズ株式会社

超音波モータで直接動かす、重さ約26gの超小型XYステージです。

神奈川県

PIジャパン株式会社

鉄心の無いリニアモータで直接動かす、205mm×205mmの大きな範囲を持つXYステージです。

神奈川県

出典
  1. 神津精機 手動XYステージ YM07A-S1
  2. 神津精機 自動XYステージ YA07A-R202
  3. 中央精機 XYステージ LD-412
  4. 中央精機 自動XYステージ ALD-510-H1P
  5. 駿河精機 XY軸リニアボールガイド KYL06050
  6. 駿河精機 KYL06050 カタログ
  7. テクノハンズ 超音波モータ 直動・XYステージ
  8. PIジャパン V-731 High-Precision XY Stage
  9. THK 中抜きXYステージ DX
  10. THK 中抜きXYステージ DX小型
  11. 神津精機 注文方法
  12. 駿河精機 手動直動XY軸ステージ
掲載基準

光学実験・検査装置・微細加工で、部品・センサ・ワークの位置を水平のX・Yの2方向で合わせるXYステージ(手動・電動)で、メーカーが自社の製品として作り、公式サイトで今案内していて、仕様を公式で確かめられた型式です。海外のメーカーは、日本の会社が日本語の公式サイトで案内しているものに限ります。1社1〜2型式に絞りました。X軸だけ・Z軸・回転・傾斜のステージ、θ軸の付いたアライメントステージ、工作機械用のNC円テーブル(NC円テーブルの比較で扱う)、リニアガイドやリニアモータの単体、直交ロボット一式、代理店や商社が売る他社製品、販売終了品は除いています。シグマ光機は製品のページがこちらから開けず、ミラック光学は公式サイトがエラーで開けず、日本トムソンは仕様が文字で取れず、ソーラボジャパンは製品のページの中身が取れないため、今回は載せていません。ヒーハイストはθ軸の付いたアライメントステージだけなので、ミスミは商社として他社の製品も売るため、オーテックスは海外ブランドの輸入販売のため、載せていません。THKのDX0505は、仕様の数字が会員向けのカタログにあるため、移動量と構造だけ載せています。値段は税抜と税区分の書いていないものが混ざるので、安め・高めの判定はしていません。

XYステージを作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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