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GUIDE / XY-STAGE

XYステージとは?光学実験・検査装置で使うXYステージの種類(手動・ねじ送り・ダイレクト駆動)と、精度・移動量・価格の選び方

載せた物を水平のX・Yの2方向に動かして位置を合わせるXYステージの3つの種類、クロスローラ・リニアボールガイド・アリ溝の違い、繰返し位置決め精度と耐荷重、移動量と値段を、メーカーの公式資料をもとにまとめました。

2026年11月2日更新

この記事の答え

XYステージは、載せた物を水平のX・Yの2方向に動かして、位置を合わせるための台です。XYテーブル・2軸ステージとも呼びます。動かし方で、手で回す手動・モータでボールねじを回すねじ送り・リニアモータや超音波モータで直接動かすダイレクト駆動に分かれます。選ぶときは「手動か電動か」「どこまで細かく合わせるか」「何を載せて何mm動かすか」の3つを先に決めます。

XYステージとは

XYステージは、光学部品・センサ・カメラ・ワークを載せて、水平のX・Yの2方向に動かし、位置を合わせる台です。X軸のステージを2段に重ねた形が多く、光学実験から検査装置・微細加工の装置まで使います。

比較ページには、メーカーが自社で作るXYステージを、各社の代表の型式の単位で載せています。θ軸の付いたアライメントステージ、X軸だけのステージ、商社が売る他社製品は載せていません。

3つの種類

  • 手動:マイクロメータヘッドやツマミを手で回して動かします。例は神津精機の YM07A-S1 と、中央精機の LD-412 ⁠⁠です
  • ねじ送り:モータでボールねじを回してテーブルを送ります。例は神津精機の YA07A-R202、中央精機の ALD-510-H1P、駿河精機の KYL06050、THK の DX0505 ⁠⁠⁠です
  • ダイレクト駆動:ねじを使わず、リニアモータや超音波モータでテーブルを直接動かします。例は PI の V-731 と、テクノハンズの XYDT70-105 ⁠⁠です

案内の違い

  • 駿河精機は手動ステージの案内を、高剛性・高精度のリニアボールガイド、高精度のクロスローラガイド、低価格のアリ式に分けています
  • クロスローラは、ころが線で当たるので、ボールの点の当たりより剛性が高くなります
  • 中央精機の LD-412 は、アリ溝の案内をラックピニオンで送るので、大きく動かせます

繰返し位置決め精度と耐荷重

  • 中央精機の ALD-510-H1P は、繰り返し精度が±0.0007mmで、392Nまで載せられます
  • 神津精機の YA07A-R202 は、繰返し位置決め精度が±0.2μm以下です
  • 駿河精機の KYL06050 は、繰返し位置決め精度が±0.5μm以内で、98Nまで載せられます
  • PI の V-731 は、一方向の繰返し精度が±0.05μmです
  • 手動の型は繰返し精度を出していません。耐荷重は、中央精機の LD-412 が39.2N、神津精機の YM07A-S1 が53.9Nです

移動量と大きさ

  • 小さい型では、神津精機の YM07A-S1 が±6.5mm、テクノハンズの XYDT70-105 が10mm動きます
  • テクノハンズの XYDT70-105 は重さ約26gで、テーブルは22×26mmです
  • 大きい型では、中央精機の ALD-510-H1P が±50mm、PI の V-731 が205mm×205mmの範囲を動きます
  • 下からも照らしたり観察したりするなら、THK の DX のような中抜きの型を選びます

値段

  • 値段を公式に出しているのは、神津精機・中央精機・駿河精機です
  • 中央精機の LD-412 は26,000円、神津精機の YM07A-S1 は102,000円(税抜)、YA07A-R202 は314,000円(税抜)⁠で⁠⁠⁠⁠す
  • 駿河精機の KYL06050 は230,000円〜、中央精機の ALD-510-H1P は900,000円です
  • 電動の型は、コントローラ・ドライバ・ケーブルを別に買います
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