GUIDE / XY-STAGEXYステージとは?
XYステージとは?光学実験・検査装置で使うXYステージの種類(手動・ねじ送り・ダイレクト駆動)と、精度・移動量・価格の選び方
載せた

この
XYステージは、
XYステージとは
XYステージは、
比較ページには、
3つの種類
- 手動:マイクロ
メータ ヘッド やツマミを 手で回して 動かします。例は 神津精機 の YM07A-S1 と、 中央精機 の LD-412 です - ねじ
送り:モータで ボールねじを 回して テーブルを 送ります。例は 神津精機 の YA07A-R202、 中央精機 の ALD-510-H1P、 駿河精機の KYL06050、 THK の DX0505 です - ダイレクト
駆動:ねじを 使わず、 リニアモータや 超音波 モータで テーブルを 直接動かします。 例は PI の V-731 と、 テクノハンズ の XYDT70-105 です
案内の違い
- 駿河精機は
手動ステージの 案内を、 高剛性・高精度の リニアボールガイド、 高精度の クロスローラガイド、 低価格の アリ式に 分けています - クロスローラは、
ころが 線で当たるので、 ボールの 点の当たりより 剛性が 高くなります - 中央精機
の LD-412 は、 アリ溝の 案内を ラックピニオンで 送るので、 大きく 動かせます
繰返し位置決め精度と耐荷重
- 中央精機
の ALD-510-H1P は、 繰り返し精度が ±0.0007mmで、 392Nまで 載せられます - 神津精機
の YA07A-R202 は、 繰返し位置決め精度が ±0.2μm以下です - 駿河精機の
KYL06050 は、 繰返し位置決め精度が ±0.5μm以内で、 98Nまで 載せられます - PI の V-731 は、
一方向の繰返し精度が ±0.05μmです - 手動の
型は繰返し精度を 出していません。 耐荷重は、 中央精機 の LD-412 が 39.2N、 神津精機 の YM07A-S1 が 53.9Nです
移動量と大きさ
- 小さい
型では、 神津精機 の YM07A-S1 が ±6.5mm、 テクノハンズ の XYDT70-105 が 10mm 動きます - テクノハンズ
の XYDT70-105 は重さ 約26gで、 テーブルは 22×26mmです - 大きい型では、
中央精機 の ALD-510-H1P が ±50mm、 PI の V-731 が 205mm×205mmの 範囲を 動きます - 下からも
照らしたり 観察したりするなら、 THK の DX のような 中抜きの 型を選びます
値段
- 値段を
公式に 出しているのは、 神津精機・ 中央精機・ 駿河精機です - 中央精機
の LD-412 は 26,000円、 神津精機 の YM07A-S1 は 102,000円(税抜)、 YA07A-R202 は 314,000円(税抜)です - 駿河精機の
KYL06050 は 230,000円〜、 中央精機 の ALD-510-H1P は 900,000円です - 電動の型は、
コントローラ・ ドライバ・ ケーブルを 別に買います


