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半導体装置・光学機器・精密機械の位置決めや加振に、電圧で伸び縮みするピエゾアクチュエータ(圧電アクチュエータ)を選ぶ、設計・開発・購買の担当の方へ

ピエゾアクチュエータのメーカー6社比較【2026年】

ピエゾアクチュエータは、電圧をかけると伸び縮みする圧電素子で、
物を細かく動かしたり押したりする部品です。

ABOUT

ピエゾアクチュエータとは

比較表を見る ↓

ピエゾアクチュエータとは、電圧をかけると伸び縮みする圧電素子を使って、
物を細かく動かしたり押したりする部品です。
積層型・予圧ケース型・変位拡大型・ステージ型があります。
圧電アクチュエータ・積層圧電素子とも呼びます。

製品の特長

  • 動きが細かい(ナノメートルの分解能で位置決めできる)
  • 応答が速い(自己共振周波数の1/3程度まで駆動できる)
  • 力が大きい(小さな素子で数百〜数千Nを出す)

使うメリット

  • 摩擦や歯車がない(バックラッシュが出ない)
  • 止めているときの電気が少ない(漏れ電流100μA以下で保持)
  • 磁気を出さない(電磁モーターと違いノイズを出さない)

選ぶときに注意すること

  1. 動きは数μmから40μm程度。大きく動かすなら変位拡大型にする
  2. 曲げ・引張・ねじり・偏荷重は避ける。引く力が要るなら予圧ケース型にする
  3. 湿気に弱い。保管は-5〜+40℃・40%R.H.⁠⁠⁠以下
  4. 駆動には専用のピエゾドライバ(高電圧アンプ)を別に用意する
  5. 精度が要るなら、変位センサ付きの型で閉ループにする

※仕様と価格は各メーカーの公式の製品ページ・データシートによる(価格はメカノトランスフォーマの税別価格、ソーラボジャパンの定価(税抜))。仕組みと使い方はトーキン・メカノトランスフォーマの資料による。

LIST

ピエゾアクチュエータの比較表

ピエゾアクチュエータ7製品の比較
製品・メーカーコスト製品の強み仕様公式ページ

積層型(素子)

2製品
株式会社トーキン積層圧電アクチュエータ AE0505D16DF装置に組み込む小型の位置決め口コミを書く要見積

5mm角の断面に積層素子を収めた樹脂外装の素子で、150VDCで17.4μm伸び、850Nの力を出します。共振周波数は69kHzで、光学系の位置制御やバルブの駆動に使えます。電圧を保つあいだの漏れ電流は100μA以下です。

種類
積層型(素子)
変位量
17.4μm
発生力
850N
駆動電圧
最大150VDC
共振周波数
69kHz
寸法
断面5×5mm、全長20mm
静電容量
1.40μF
使用温度
-25〜+85℃
特長
樹脂外装、漏れ電流100μA以下で保持
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)
株式会社富士セラミックス積層型圧電アクチュエータ SA0707-150-16M力の要る加振・バルブ駆動口コミを書く要見積

7mm角の断面で1900Nの力を出す樹脂外装の積層素子です。0〜150Vで16μm伸び、共振周波数は64kHzです。使用温度は-20〜+100℃で、標準品のほかに特注品も受けています。

種類
積層型(素子)
変位量
16μm
発生力
1900N
駆動電圧
0〜150V
共振周波数
64kHz
寸法
断面7×7mm、全長20mm
静電容量
1.36μF
使用温度
-20〜+100℃
特長
樹脂外装、特注品も受注
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)

予圧ケース型

2製品
株式会社トーキン積層圧電アクチュエータ ASB170C801FD0LF85℃までの装置に組み込む駆動源口コミを書く要見積

積層素子を金属ケースに封入し、予圧機構を中に持たせた型です。150VDCで17μm伸び、800Nの力を出し、フランジでそのまま装置に留められます。使用温度は-25〜+85℃です。

種類
予圧ケース型
変位量
17μm
発生力
800N
駆動電圧
最大150VDC
共振周波数
20kHz
寸法
全長32.4mm、フランジ付き
静電容量
1.5μF
使用温度
-25〜+85℃
特長
金属ケース封入、予圧機構を内蔵
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)
PIジャパン株式会社予圧付きピエゾアクチュエータ P-840.20引く力も要る精密位置決め口コミを書く要見積

積層素子をステンレスの筐体に予圧付きで収め、押す力1000Nに加えて引く力50Nまで受けられる型です。0〜100Vで30μm動き、共振周波数は14kHzです。素子は湿気に強いPICMAを使っています。

種類
予圧ケース型
変位量
30μm
発生力
押す力1000N
駆動電圧
0〜100V
共振周波数
14kHz
寸法
全長50mm
静電容量
3μF
使用温度
-20〜80℃
特長
ステンレス筐体、引く力50N
公式ページへ詳細・仕様

変位拡大型

2製品
ソーラボジャパン株式会社増幅機構付きピエゾアクチュエータ APF705光学実験で数百μm動かす口コミを書く115,743円税抜

オープンフレームのフレクシャー筐体で素子の動きを増幅し、560μm動かす型です。正の電圧で負荷を内側に引き、引く力は25Nです。変位は筐体の中の素子が出すので、バックラッシュがありません。

種類
変位拡大型
変位量
560μm
発生力
引く力25N、押す力20N
駆動電圧
-30〜150V
共振周波数
315Hz
寸法
18.0×10.0×55.0mm
静電容量
8.0μF
特長
フレクシャー筐体、正電圧で引く
記載なし
使用温度
公式ページへ詳細・仕様
有限会社メカノトランスフォーマメカトランス MTA02S600F2薄い隙間で大きく動かす口コミを書く148,500円税別

厚さ2mmの板の中に変位拡大機構を持ち、DC100Vで600μm動く型です。積層素子だけでは数十μmの動きを、てこの原理で大きくしています。力は2Nなので、軽いものを大きく動かす所に向きます。

種類
変位拡大型
変位量
600μm
発生力
2N
駆動電圧
DC100V(推奨)
共振周波数
600Hz
寸法
44×2×40mm
静電容量
0.420μF
特長
てこの原理で変位を拡大
記載なし
使用温度
公式ページへ詳細・仕様

ステージ一体型

1製品
株式会社メステックピエゾステージ MHS-F4ミラーや試料を真っすぐ動かす口コミを書く要見積

一体の弾性ヒンジでガイドした中に積層素子を入れ、80μmを真っすぐ動かすステージです。分解能は0.4nmで、剛性は10N/μmあります。末尾Cの型は静電容量型の変位センサを内蔵し、閉ループで動かせます。

種類
ステージ一体型
変位量
80μm
発生力
圧縮100N(許容外力)
駆動電圧
-10〜150V
共振周波数
1100Hz
静電容量
6.4μF
特長
ヒンジのガイド、分解能0.4nm
記載なし
寸法・使用温度
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)

積層型(素子)2製品

株式会社トーキン

積層圧電アクチュエータ AE0505D16DF

装置に組み込む小型の位置決め

5mm角の断面に積層素子を収めた樹脂外装の素子で、150VDCで17.4μm伸び、850Nの力を出します。共振周波数は69kHzで、光学系の位置制御やバルブの駆動に使えます。電圧を保つあいだの漏れ電流は100μA以下です。

コスト要見積

種類
積層型(素子)
変位量
17.4μm
発生力
850N
駆動電圧
最大150VDC
共振周波数
69kHz
寸法
断面5×5mm、全長20mm
静電容量
1.40μF
使用温度
-25〜+85℃
特長
樹脂外装、漏れ電流100μA以下で保持
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株式会社富士セラミックス

積層型圧電アクチュエータ SA0707-150-16M

力の要る加振・バルブ駆動

7mm角の断面で1900Nの力を出す樹脂外装の積層素子です。0〜150Vで16μm伸び、共振周波数は64kHzです。使用温度は-20〜+100℃で、標準品のほかに特注品も受けています。

コスト要見積

種類
積層型(素子)
変位量
16μm
発生力
1900N
駆動電圧
0〜150V
共振周波数
64kHz
寸法
断面7×7mm、全長20mm
静電容量
1.36μF
使用温度
-20〜+100℃
特長
樹脂外装、特注品も受注
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予圧ケース型2製品

株式会社トーキン

積層圧電アクチュエータ ASB170C801FD0LF

85℃までの装置に組み込む駆動源

積層素子を金属ケースに封入し、予圧機構を中に持たせた型です。150VDCで17μm伸び、800Nの力を出し、フランジでそのまま装置に留められます。使用温度は-25〜+85℃です。

コスト要見積

種類
予圧ケース型
変位量
17μm
発生力
800N
駆動電圧
最大150VDC
共振周波数
20kHz
寸法
全長32.4mm、フランジ付き
静電容量
1.5μF
使用温度
-25〜+85℃
特長
金属ケース封入、予圧機構を内蔵
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PIジャパン株式会社

予圧付きピエゾアクチュエータ P-840.20

引く力も要る精密位置決め

積層素子をステンレスの筐体に予圧付きで収め、押す力1000Nに加えて引く力50Nまで受けられる型です。0〜100Vで30μm動き、共振周波数は14kHzです。素子は湿気に強いPICMAを使っています。

コスト要見積

種類
予圧ケース型
変位量
30μm
発生力
押す力1000N
駆動電圧
0〜100V
共振周波数
14kHz
寸法
全長50mm
静電容量
3μF
使用温度
-20〜80℃
特長
ステンレス筐体、引く力50N
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変位拡大型2製品

ソーラボジャパン株式会社

増幅機構付きピエゾアクチュエータ APF705

光学実験で数百μm動かす

オープンフレームのフレクシャー筐体で素子の動きを増幅し、560μm動かす型です。正の電圧で負荷を内側に引き、引く力は25Nです。変位は筐体の中の素子が出すので、バックラッシュがありません。

コスト115,743円税抜

種類
変位拡大型
変位量
560μm
発生力
引く力25N、押す力20N
駆動電圧
-30〜150V
共振周波数
315Hz
寸法
18.0×10.0×55.0mm
静電容量
8.0μF
特長
フレクシャー筐体、正電圧で引く
記載なし
使用温度
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有限会社メカノトランスフォーマ

メカトランス MTA02S600F2

薄い隙間で大きく動かす

厚さ2mmの板の中に変位拡大機構を持ち、DC100Vで600μm動く型です。積層素子だけでは数十μmの動きを、てこの原理で大きくしています。力は2Nなので、軽いものを大きく動かす所に向きます。

コスト148,500円税別

種類
変位拡大型
変位量
600μm
発生力
2N
駆動電圧
DC100V(推奨)
共振周波数
600Hz
寸法
44×2×40mm
静電容量
0.420μF
特長
てこの原理で変位を拡大
記載なし
使用温度
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ステージ一体型1製品

株式会社メステック

ピエゾステージ MHS-F4

ミラーや試料を真っすぐ動かす

一体の弾性ヒンジでガイドした中に積層素子を入れ、80μmを真っすぐ動かすステージです。分解能は0.4nmで、剛性は10N/μmあります。末尾Cの型は静電容量型の変位センサを内蔵し、閉ループで動かせます。

コスト要見積

種類
ステージ一体型
変位量
80μm
発生力
圧縮100N(許容外力)
駆動電圧
-10〜150V
共振周波数
1100Hz
静電容量
6.4μF
特長
ヒンジのガイド、分解能0.4nm
記載なし
寸法・使用温度
公式ページへ
Q&A

ピエゾアクチュエータ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問ピエゾアクチュエータの価格は、いくら?

値段を公式に出しているのは2社です。メカノトランスフォーマのメカトランス MTA02S600F2は148,500円(税別)、ソーラボジャパンのAPF705は115,743円(定価・税抜)⁠で⁠す⁠。トーキン・富士セラミックス・PIジャパン・メステックは見積です。

設備担当の疑問ピエゾアクチュエータの種類と違いは?

作りで4つに分かれます。素子そのものの積層型、金属ケースに予圧をかけて収めた型、てこで動きを大きくする変位拡大型、ガイドと一体にしたステージ型です。積層型は力が大きく、変位拡大型は大きく動き、ステージ型は真っすぐ動きます。

設備担当の疑問変位量はどれくらい?大きく動かすには?

積層素子だけなら数μmから40μm程度で、トーキンのAE0505D16DFは17.4μm、富士セラミックスのSA0707-150-16Mは16μmです。大きく動かすなら変位拡大型にします。メカトランス MTA02S600F2は600μm、ソーラボのAPF705は560μmです。

設備担当の疑問発生力とは?

最大の電圧をかけたときに、伸びを0に押さえ込むのに要る力のことです。富士セラミックスのSA0707-150-16Mは1900N、トーキンのAE0505D16DFは850Nです。変位拡大型は力が小さく、MTA02S600F2は2Nです。

設備担当の疑問駆動電圧は何V?

積層型は150Vまでの型が多く、トーキンと富士セラミックスは最大150V、PIジャパンのP-840.20は0〜100Vで動かします。ソーラボのAPF705は-30〜150V、メステックのMHS-F4は-10〜150Vです。駆動には専用のピエゾドライバを使います。

工場長の疑問引っ張る力や横からの力はかけられる?

積層素子は押す向きには強いものの、曲げ・引張・ねじり・偏荷重は避けます。引く力も要るなら予圧ケース型にします。PIジャパンのP-840.20は押す力1000Nに加えて、引く力50Nまで受けられます。

設備担当の疑問応答速度・共振周波数は?

トーキンのAEシリーズは自己共振周波数の1/3程度まで駆動でき、数十kHzまで応答します。共振周波数はAE0505D16DFが69kHz、P-840.20が14kHzで、変位拡大型のAPF705は315Hzまで下がります。

工場長の疑問ピエゾアクチュエータの寿命は?

トーキンのASBシリーズは、85℃・100Vの条件でMTTF 36,000時間です。寿命は電圧・温度・湿度で変わり、曲げや偏荷重の初期ストレスも寿命を縮めます。

施設管理の疑問保管や使う環境で気をつけることは?

湿気に弱いので、トーキンは-5〜+40℃・40%R.H.以下での保管を求めています。使用温度はトーキンが-25〜+85℃、富士セラミックスが-20〜+100℃、PIジャパンのP-840.20が-20〜80℃です。

設備担当の疑問ピエゾステージとは?

弾性ヒンジのガイドと積層素子を一つにした、台を真っすぐ動かす型です。メステックのMHS-F4は80μm動き、分解能は0.4nmです。MHS-Fシリーズは20μmから120μmまで選べ、変位センサ付きの型は閉ループで動かせます。

TYPES

ピエゾアクチュエータの種類の違い

積層型(素子)

薄い圧電素子を何十枚も重ねた素子そのものの型です。小さく、力が大きく、応答が速いのが持ち味です。伸びは数μmから数十μmで、引っ張る力や曲げには弱いので、押す向きで使います。

向いている使い方

  • 装置に組み込む小型の駆動源
  • バルブ・ポンプの駆動や加振
  • 光学部品の微小な位置合わせ

根拠:積層型圧電アクチュエータは、圧電素子を数10枚以上積層することによって低電圧で大きな変位量と発生力を得ることができます。(出典3)

この種類の2製品を表で見る

予圧ケース型

積層素子を金属ケースに入れ、ばねで予圧をかけた型です。素子が苦手な引く力や横からの力を受け、そのままねじやフランジで留められます。外の湿気や汚れからも素子を守ります。

向いている使い方

  • 引く向きにも力がかかる所
  • ねじやフランジで装置に留めたい
  • 工場の装置に長く組み込む

根拠:予圧機構の内蔵ならびに取り付けアタッチメントにより、装置への組み込み性向上(出典2)

この種類の2製品を表で見る

変位拡大型

てこやたわむ枠(フレクシャー)で、素子の動きを数倍から数十倍に大きくする型です。数百μmから数mmまで動かせます。その分、力と共振周波数は下がります。

向いている使い方

  • 数百μm以上動かしたい
  • ミラーやシャッターを大きく振る
  • 軽いものを素早く押し出す

根拠:『てこの原理』⁠等⁠を利用して、この少ない変位を数倍から数十倍に拡大する変位拡大機構技術を保有しております。(出典6)

この種類の2製品を表で見る

ステージ一体型

弾性ヒンジのガイドと積層素子を一つにまとめ、台を真っすぐ動かすステージの型です。摩擦がなく、ナノメートルの分解能で動きます。変位センサを入れて閉ループで動かせる型もあります。

向いている使い方

  • 試料やミラーをナノメートルで送る
  • 顕微鏡・干渉計の位置合わせ
  • 走査やオートフォーカス

根拠:一体弾性ヒンジによるリニアガイド機構に積層圧電素子を内蔵したユニットです。(出典8)

この種類の1製品を表で見る
MAKERS

ピエゾアクチュエータの主なメーカー6社

ソーラボジャパン株式会社

オープンフレームのフレクシャー筐体で素子の動きを増幅し、560μm動かす型です。

東京都

株式会社トーキン

5mm角の断面に積層素子を収めた樹脂外装の素子で、150VDCで17.4μm伸び、850Nの力を出します。

宮城県

PIジャパン株式会社

積層素子をステンレスの筐体に予圧付きで収め、押す力1000Nに加えて引く力50Nまで受けられる型です。

神奈川県

株式会社富士セラミックス

7mm角の断面で1900Nの力を出す樹脂外装の積層素子です。

静岡県

有限会社メカノトランスフォーマ

厚さ2mmの板の中に変位拡大機構を持ち、DC100Vで600μm動く型です。

東京都

株式会社メステック

一体の弾性ヒンジでガイドした中に積層素子を入れ、80μmを真っすぐ動かすステージです。

埼玉県

出典
  1. トーキン 積層圧電アクチュエータ AEシリーズ データシート
  2. トーキン 積層圧電アクチュエータ ASBシリーズ データシート
  3. 富士セラミックス 積層型圧電アクチュエータ
  4. 富士セラミックス 積層型圧電アクチュエータ 標準品一覧
  5. PIジャパン P-840 プリロード型ピエゾアクチュエーター
  6. メカノトランスフォーマ メカトランスとは
  7. メカノトランスフォーマ メカトランス Aシリーズ
  8. メステック ピエゾアクチュエーター・ステージ MHS-F
  9. メステック 1・2・3軸ピエゾステージ
  10. ソーラボジャパン 増幅機構付きピエゾアクチュエーター
掲載基準

半導体装置・光学機器・精密機械の位置決め、加振、バルブやポンプの駆動に使う、電圧で伸び縮みする圧電素子のピエゾアクチュエータ(積層型・予圧付きのケース型・変位拡大型・ステージ一体型)で、自社で作るか自社グループのブランドで売る日本の会社が、公式サイトで今案内していて、型番ごとの仕様を公式で確かめられた製品。各社の代表の型を1社2製品まで載せています。モーターや空圧で動く電動アクチュエータ、超音波モーター、圧電素子を使ったブザー・センサ・振動子、駆動用のドライバとコントローラ単体は載せていません。神津精機のピエゾステージはカタログの表から型番ごとの値を読み取れず、ニッコーの圧電素子は型番ごとの仕様が公式に無く、太平洋セメントは今の製品ページが見つからないので、今回は載せていません。キーストンインターナショナルなど海外製品を売る商社の製品も除いています。

ピエゾアクチュエータを作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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