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ピエゾアクチュエータステージ一体型

ピエゾステージ MHS-F4

株式会社メステック

メステックのヒンジガイド付きピエゾステージで、80μmの型です。

価格
公開価格なし(見積もり)
種類
ステージ一体型
向いている所
ミラーや試料を真っすぐ動かす
カタログ
あり(PDF)

比較表での位置

ピエゾステージ MHS-F4は、ピエゾアクチュエータのメーカー6社比較⁠の種類「ステージ一体型」の1製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 7製品比較表の製品
  • 1製品同じ種類
  • 2製品公開価格あり
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ピエゾステージ MHS-F4​の強みと方式

一体の弾性ヒンジでガイドした中に積層素子を入れ、80μmを真っすぐ動かすステージです。分解能は0.4nmで、剛性は10N/μmあります。末尾Cの型は静電容量型の変位センサを内蔵し、閉ループで動かせます。

向いている所ミラーや試料を真っすぐ動かす

種類:ステージ一体型

弾性ヒンジのガイドと積層素子を一つにまとめ、台を真っすぐ動かすステージの型です。摩擦がなく、ナノメートルの分解能で動きます。変位センサを入れて閉ループで動かせる型もあります。

ピエゾステージ MHS-F4​の仕様

種類
ステージ一体型
変位量
80μm
発生力
圧縮100N(許容外力)
駆動電圧
-10〜150V
共振周波数
1100Hz
寸法
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
静電容量
6.4μF
使用温度
—公式資料で確認できず
特長
ヒンジのガイド、分解能0.4nm

MHS-Fシリーズは20・40・80・120μmの4型で、末尾Cは変位センサ付きです。

同じ種類の他社製品との違い

ピエゾアクチュエータの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. 増幅機構付きピエゾアクチュエータ APF705ソーラボジャパン株式会社115,743円税抜
  2. メカトランス MTA02S600F2有限会社メカノトランスフォーマ148,500円税別

製品の特徴ごとの分類

ピエゾステージ MHS-F4株式会社メステック積層圧電アクチュエータ AE0505D16DF株式会社トーキン積層型圧電アクチュエータ SA0707-150-16M株式会社富士セラミックス
種類ステージ一体型積層型(素子)積層型(素子)
変位量80μm17.4μm16μm
発生力圧縮100N(許容外力)850N1900N
駆動電圧-10〜150V最大150VDC0〜150V
共振周波数1100Hz69kHz64kHz
寸法—公式資料で確認できず断面5×5mm、全長20mm断面7×7mm、全長20mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
静電容量6.4μF1.40μF1.36μF
使用温度—公式資料で確認できず-25〜+85℃-20〜+100℃
特長ヒンジのガイド、分解能0.4nm樹脂外装、漏れ電流100μA以下で保持樹脂外装、特注品も受注

ピエゾアクチュエータの7製品を比較表で見る

ピエゾステージ MHS-F4​のよくある質問

Q.ピエゾステージ MHS-F4はどんな人に向いている?
ピエゾステージ MHS-F4は、ミラーや試料を真っすぐ動かす人向けです。ピエゾステージ MHS-F4は、一体の弾性ヒンジでガイドした中に積層素子を入れ、80μmを真っすぐ動かすステージです。
Q.ピエゾステージ MHS-F4の強みは?
ピエゾステージ MHS-F4の分解能は0.4nmで、剛性は10N/μmあります。末尾Cの型は静電容量型の変位センサを内蔵し、閉ループで動かせます。
Q.ピエゾステージ MHS-F4はどんな方式?
ピエゾステージ MHS-F4の種類はステージ一体型です。弾性ヒンジのガイドと積層素子を一つにまとめ、台を真っすぐ動かすステージの型です。
Q.ピエゾステージ MHS-F4の主な仕様は?
ピエゾステージ MHS-F4の変位量は80μm、発生力は圧縮100N(許容外力)⁠で⁠す⁠。駆動電圧は-10〜150V、共振周波数は1100Hzです。
Q.ピエゾステージ MHS-F4と積層圧電アクチュエータ AE0505D16DFはどっちがいい?
ミラーや試料を真っすぐ動かすならピエゾステージ MHS-F4、装置に組み込む小型の位置決めならトーキンの積層圧電アクチュエータ AE0505D16DFです。ピエゾステージ MHS-F4の変位量は80μm、発生力は圧縮100N(許容外力)⁠で⁠す⁠。トーキンの積層圧電アクチュエータ AE0505D16DFの変位量は17.4μm、発生力は850Nです。
Q.ピエゾステージ MHS-F4の静電容量は?
ピエゾステージ MHS-F4の静電容量は6.4μFです。トーキンの積層圧電アクチュエータ AE0505D16DFの静電容量は1.40μFです。
Q.ピエゾステージ MHS-F4の特長は?
ピエゾステージ MHS-F4の特長はヒンジのガイド、分解能0.4nmです。トーキンの積層圧電アクチュエータ AE0505D16DFの特長は樹脂外装、漏れ電流100μA以下で保持です。
Q.ピエゾステージ MHS-F4と積層型圧電アクチュエータ SA0707-150-16Mはどっちがいい?
ミラーや試料を真っすぐ動かすならピエゾステージ MHS-F4、力の要る加振・バルブ駆動なら富士セラミックスの積層型圧電アクチュエータ SA0707-150-16Mです。ピエゾステージ MHS-F4の変位量は80μm、発生力は圧縮100N(許容外力)⁠で⁠す⁠。富士セラミックスの積層型圧電アクチュエータ SA0707-150-16Mの変位量は16μm、発生力は1900Nです。
Q.ピエゾステージ MHS-F4はどこのメーカー?
ピエゾステージ MHS-F4は株式会社メステックの製品です。埼玉県和光市の会社で、ピエゾアクチュエータ・ピエゾドライバ・静電容量型変位計を企画から製造まで自社で開発しています。

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