イメージピエゾアクチュエータステージ一体型
ピエゾステージ MHS-F4
メス株式会社メステックメステックのヒンジガイド付きピエゾステージで、80μmの型です。
- 価格
- 公開価格なし(見積もり)
- 種類
- ステージ一体型
- 向いている所
- ミラーや試料を真っすぐ動かす
- カタログ
- あり(PDF)
ピエゾステージ MHS-F4の強みと方式
一体の弾性ヒンジでガイドした中に積層素子を入れ、80μmを真っすぐ動かすステージです。分解能は0.4nmで、剛性は10N/μmあります。末尾Cの型は静電容量型の変位センサを内蔵し、閉ループで動かせます。
向いている所ミラーや試料を真っすぐ動かす
種類:ステージ一体型
弾性ヒンジのガイドと積層素子を一つにまとめ、台を真っすぐ動かすステージの型です。摩擦がなく、ナノメートルの分解能で動きます。変位センサを入れて閉ループで動かせる型もあります。
ピエゾステージ MHS-F4の仕様
- 種類
- ステージ一体型
- 変位量
- 80μm
- 発生力
- 圧縮100N(許容外力)
- 駆動電圧
- -10〜150V
- 共振周波数
- 1100Hz
- 寸法
- —公式資料で確認できず
- 価格
- —公式資料で確認できず
- 静電容量
- 6.4μF
- 使用温度
- —公式資料で確認できず
- 特長
- ヒンジのガイド、分解能0.4nm
MHS-Fシリーズは20・40・80・120μmの4型で、末尾Cは変位センサ付きです。
ピエゾステージ MHS-F4のよくある質問
Q.ピエゾステージ MHS-F4はどんな人に向いている?
ピエゾステージ MHS-F4は、ミラーや試料を真っすぐ動かす人向けです。ピエゾステージ MHS-F4は、一体の弾性ヒンジでガイドした中に積層素子を入れ、80μmを真っすぐ動かすステージです。
Q.ピエゾステージ MHS-F4の強みは?
ピエゾステージ MHS-F4の分解能は0.4nmで、剛性は10N/μmあります。末尾Cの型は静電容量型の変位センサを内蔵し、閉ループで動かせます。
Q.ピエゾステージ MHS-F4はどんな方式?
ピエゾステージ MHS-F4の種類はステージ一体型です。弾性ヒンジのガイドと積層素子を一つにまとめ、台を真っすぐ動かすステージの型です。
Q.ピエゾステージ MHS-F4の主な仕様は?
ピエゾステージ MHS-F4の変位量は80μm、発生力は圧縮100N(許容外力)です。駆動電圧は-10〜150V、共振周波数は1100Hzです。
Q.ピエゾステージ MHS-F4と積層圧電アクチュエータ AE0505D16DFはどっちがいい?
ミラーや試料を真っすぐ動かすならピエゾステージ MHS-F4、装置に組み込む小型の位置決めならトーキンの積層圧電アクチュエータ AE0505D16DFです。ピエゾステージ MHS-F4の変位量は80μm、発生力は圧縮100N(許容外力)です。トーキンの積層圧電アクチュエータ AE0505D16DFの変位量は17.4μm、発生力は850Nです。
Q.ピエゾステージ MHS-F4の静電容量は?
ピエゾステージ MHS-F4の静電容量は6.4μFです。トーキンの積層圧電アクチュエータ AE0505D16DFの静電容量は1.40μFです。
Q.ピエゾステージ MHS-F4の特長は?
ピエゾステージ MHS-F4の特長はヒンジのガイド、分解能0.4nmです。トーキンの積層圧電アクチュエータ AE0505D16DFの特長は樹脂外装、漏れ電流100μA以下で保持です。
Q.ピエゾステージ MHS-F4と積層型圧電アクチュエータ SA0707-150-16Mはどっちがいい?
ミラーや試料を真っすぐ動かすならピエゾステージ MHS-F4、力の要る加振・バルブ駆動なら富士セラミックスの積層型圧電アクチュエータ SA0707-150-16Mです。ピエゾステージ MHS-F4の変位量は80μm、発生力は圧縮100N(許容外力)です。富士セラミックスの積層型圧電アクチュエータ SA0707-150-16Mの変位量は16μm、発生力は1900Nです。
Q.ピエゾステージ MHS-F4はどこのメーカー?
ピエゾステージ MHS-F4は株式会社メステックの製品です。埼玉県和光市の会社で、ピエゾアクチュエータ・ピエゾドライバ・静電容量型変位計を企画から製造まで自社で開発しています。
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