精密ステージとは？X軸・Z軸・回転の種類と選び方（移動量・分解能・繰返し精度・耐荷重）

精密ステージとは

精密ステージは、光学部品・センサ・カメラ・ワークを載せて、1方向に動かしたり回したりして位置や角度を合わせる台です。光学実験や検査装置、組立装置で使います。

比較ページには、メーカーが自社で作る精密ステージを、各社の代表の型式の単位で載せています。水平の2方向を1台で動かす型は、XYステージで比べています。

3つの種類

• X軸：水平の1方向へ動かします。例は中央精機の LS-112、駿河精機の KXL06050、テクノハンズの XDT70-105 ⁠⁠です。
• Z軸：上下に動かします。例は神津精機の ZA07A-X103、中央精機の LV-112、PI の L-310、ヒーハイストの DLB型 です。
• 回転：角度を変えます。例は神津精機の RA07A-W02、駿河精機の KRE06360、テクノハンズの θDT70、PI の L-611 ⁠⁠です。

分解能と繰返し精度

分解能は1回の指令で動く小ささで、繰返し精度は同じ位置へ戻るときのばらつきです。別の数字なので、両方を確かめます。

• 神津精機の ZA07A-X103 は、分解能が0.5μm、繰返し精度が±0.3μm以下です。
• 駿河精機の KXL06050 は、分解能が2μm、繰返し精度が±0.5μm以内です。
• PI の L-310 は、分解能が0.2μm、繰返し精度が0.4μmです。
• 回転の型では、駿河精機の KRE06360 は、繰返し精度が±0.05°以内です。

耐荷重と移動量

Z軸の型は自重も持ち上げるので、X軸の型より耐荷重が小さくなることがあります。

• 中央精機の40mm×140mmの手動の型は、X軸の LS-112 が39.2N、Z軸の LV-112 が19.6Nです。
• 駿河精機の KXL06050 は、耐荷重が117.6Nで移動量が50mmです。
• ヒーハイストの DLB型 は、耐荷重が4,900Nで移動量が3mmです。
• テクノハンズの XDT70-105 は、約13gの超小型で移動量が10mmです。

値段

値段を公式に出しているのは、神津精機・中央精機・駿河精機です。税区分の記載はありません。

• 手動の型は、中央精機の LS-112 が22,000円、LV-112 が25,000円です。
• 自動の型は、駿河精機の KRE06360 が105,000円、KXL06050 が115,000円です。
• 神津精機の ZA07A-X103 は174,000円、RA07A-W02 は226,000円です。

PI・テクノハンズ・ヒーハイストは、製品ページに値段を出していません。自動の型は、コントローラ・ドライバ・ケーブルの代金が別にかかります。