XYZステージピエゾ（フレクシャー案内）

NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3S

Q: NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sはどんな方式？

NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sの方式はピエゾ（フレクシャー案内）です。電圧で伸びるピエゾ素子で動かし、たわむ金属のフレクシャーで案内する型です。

PIジャパン株式会社

移動量100μm・分解能0.2nmのピエゾのXYZステージです。

価格: 公開価格なし（見積もり）
方式: ピエゾ（フレクシャー案内）
向いている所: ナノメートルの位置合わせ

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比較表での位置

NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sは、XYZステージのメーカー7社比較⁠の方式がピエゾ（フレクシャー案内）の1製品の1つとして載っています。

7社掲載社数
10製品比較表の製品
1製品同じ方式
8製品公開価格あり

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NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sの強みと方式

ピエゾアクチュエータで動かす、立方体の小さな型です。フレクシャーガイドにガタが無く、分解能は0.2nmです。動く範囲は閉ループで100μmなので、大きく動かすステージとは使い分けます。

向いている所ナノメートルの位置合わせ

方式：ピエゾ（フレクシャー案内）

電圧で伸びるピエゾ素子で動かし、たわむ金属のフレクシャーで案内する型です。ガタが無く、ナノメートルの細かさで動かせます。動く範囲はμmの単位で狭く、手動や電動の型と重ねて使います。

NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sの仕様

方式: ピエゾ（フレクシャー案内）
ステージ面: —公式資料で確認できず
移動量: 100μm
案内: フレクシャーガイド
送り・駆動: ピエゾアクチュエータ
精度・分解能: 分解能0.2nm（開ループ）
耐荷重: —公式資料で確認できず
価格: —公式資料で確認できず
質量: —公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

XYZステージの価格公開価格のある8製品・安い順

製品の特徴ごとの分類

	NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3SPIジャパン株式会社	手動XYZ軸テーブル有限会社ユタカ製作所	XYZ軸ステージ LT-412中央精機株式会社
方式	ピエゾ（フレクシャー案内）	案内の種類を公式に書いていないもの	手動・アリ溝
ステージ面	—公式資料で確認できず	天板440mm×440mm	40mm×40mm
移動量	100μm	XY±50mm、Z300mm	±10mm
案内	フレクシャーガイド	—公式資料で確認できず	アリ溝（D-T方式）
送り・駆動	ピエゾアクチュエータ	手動ハンドル、XYは1回転5mm、Zは1回転0.4mm	ラックピニオン、ツマミ1回転で約18mm
精度・分解能	分解能0.2nm（開ループ）	Zは0.1mm単位の目盛	真直度0.03mm
耐荷重	—公式資料で確認できず	120kg	19.6N
価格	—公式資料で確認できず	1,498,000円〜	43,000円
質量	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	0.67kg

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NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sのよくある質問

Q.NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sはどんな人に向いている？

NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sは、ナノメートルの位置合わせに使う人向けです。NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sは、ピエゾアクチュエータで動かす、立方体の小さな型です。

Q.NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sの強みは？

NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sは、フレクシャーガイドにガタが無く、分解能は0.2nmです。動く範囲は閉ループで100μmなので、大きく動かすステージとは使い分けます。

Q.NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sはどんな方式？

NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sの方式はピエゾ（フレクシャー案内）⁠で⁠す⁠。電圧で伸びるピエゾ素子で動かし、たわむ金属のフレクシャーで案内する型です。

Q.NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sの主な仕様は？

NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sの移動量は100μm、案内はフレクシャーガイドです。送り・駆動はピエゾアクチュエータ、精度・分解能は分解能0.2nm（開ループ）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

Q.NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sと手動XYZ軸テーブルはどっちがいい？

ナノメートルの位置合わせならNanoCube XYZナノポジショナー P-611.3S、重い物を載せて高さまで合わせるならユタカ製作所の手動XYZ軸テーブルです。NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sの移動量は100μm、案内はフレクシャーガイドです。ユタカ製作所の手動XYZ軸テーブルの価格は1,498,000円〜、ステージ面は天板440mm×440mmです。

Q.NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3SとXYZ軸ステージ LT-412はどっちがいい？

ナノメートルの位置合わせならNanoCube XYZナノポジショナー P-611.3S、カメラやセンサの位置決めなら中央精機のXYZ軸ステージ LT-412です。NanoCube XYZナノポジショナー P-611.3Sの移動量は100μm、案内はフレクシャーガイドです。中央精機のXYZ軸ステージ LT-412の価格は43,000円、ステージ面は40mm×40mmです。