顕微鏡観察・半導体・光学の現場で、試料やミラーをnm単位で動かすピエゾステージを選ぶ、研究・開発・設備・購買の担当の方へ

ピエゾステージのメーカー5社比較【2026年】

ピエゾステージは、圧電素子の伸び縮みで、
載せた物をnm単位で動かす台です。

ABOUT

ピエゾステージとは

比較表を見る ↓

ピエゾステージとは、圧電素子（ピエゾ素子）の伸び縮みで台を動かし、
試料やミラーをnm単位で位置決めする装置です。
ナノポジショニングステージとも呼びます。

製品の特長

圧電素子で動かす（モータやねじの摩擦がない）
弾性ヒンジで案内する（ガタがなく真っすぐ動く）
センサ内蔵の型は閉ループで動く（静電容量式が多い）

使うメリット

nm単位で止められる（P-752.1CDの分解能は0.1nm）
速く動かせる（P-752.1CDの共振周波数は3200Hz）
すべり面がなく、摩耗しにくい（弾性ヒンジで案内する）

選ぶときに注意すること

ストロークは短い。mm単位で動かすなら手動併用の型かモータのステージを選ぶ
載せる物が重いと共振周波数が下がる。負荷ありの値も確かめる
コントローラやドライバを別に用意する型が多い
開ループでは位置がずれる。繰り返し精度が要るならセンサ内蔵の型にする

※仕様と価格は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。メカノトランスフォーマの価格は税別、ソーラボの価格に税区分の記載はない。

LIST

ピエゾステージの比較表

ピエゾステージ9製品の比較
製品・メーカー	コスト	製品の強み	仕様	公式ページ
直動（1軸） 3製品
PIジャパン株式会社高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CD走査型顕微鏡や計測の高速な走査口コミを書く	要見積	ストロークを15μmに絞り、0.1nmのシステム分解能と負荷なし3200Hzの共振周波数を出す直動型です。繰り返し位置決めは±1nmです。	種類直動（1軸）動く軸 X ストローク 15μm 分解能 0.1nm 共振周波数 3200Hz（負荷なし）変位センサ静電容量式許容荷重 X方向に最大100Nの押す力繰り返し位置決め ±1nm 質量 250g 記載なし外形・テーブル・開口	公式ページへ詳細・仕様
株式会社メステックピエゾステージ MPS-C1XC干渉計ミラーや顕微鏡ワークの位置決め口コミを書く	要見積	閉ループで1200μm動く、ストロークの長い1軸ステージです。変位センサなしのMPS-C1Xもあります。ストロークが長いぶん共振周波数は100Hzです。	種類直動（1軸）動く軸 X ストローク 1200μm（閉ループ）分解能 4nm（閉ループ）共振周波数 100Hz 変位センサ静電容量型許容荷重 10N 繰り返し位置決め ±12.5nm 質量 1.3kg 記載なし外形・テーブル・開口	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
株式会社メステック荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cはんだバンプ接合や微小荷重の試験口コミを書く	要見積	位置ではなく荷重を制御するZ軸のステージです。フォースセンサを内蔵し、レンジ5N、分解能0.01Nで押し込みを保ちます。	種類直動（1軸）動く軸 Z ストローク 400μm（開ループ）分解能荷重で0.01N 変位センサ静電容量型、荷重センサ許容荷重搭載ワーク630g 質量 0.9kg 記載なし共振周波数・外形・テーブル・開口・繰り返し位置決め	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
手動併用（粗動＋微動） 2製品
ソーラボジャパン株式会社ハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20手動とピエゾを併用する光学実験口コミを書く	176,445円	差動マイクロメータとピエゾを1台に付けた、移動量5mmのフレクシャーステージです。カートから買える価格を公式に出しています。インチ規格の型です。	種類手動併用（粗動＋微動）ストローク 5mm 記載なし動く軸・分解能・共振周波数・変位センサ・許容荷重・外形・テーブル・開口・繰り返し位置決め・質量	公式ページへ詳細・仕様
有限会社メカノトランスフォーマピエゾアシストステージ MTPA-2401SPA手で寄せてから微動で合わせる位置決め口コミを書く	80,240円税別	マイクロメータで±6.5mm寄せ、内蔵のピエゾで30μm以上を20nm以下の分解能で詰める手動ステージです。価格を公式に出しています。微動の操作には専用のコントローラを使います。	種類手動併用（粗動＋微動）ストローク粗動±6.5mm、微動30μm以上分解能微動20nm以下外形・テーブル 40×40mm 記載なし動く軸・共振周波数・変位センサ・許容荷重・開口・繰り返し位置決め・質量	公式ページへ詳細・仕様
開口付き 2製品
神津精機株式会社開口付きピエゾステージ PK2L150-100U顕微鏡の試料台やパネルの位置合わせ口コミを書く	要見積	中央に70×70mmの穴が開いたXYステージで、下から光を通せます。ストロークはX・Y各100μm、分解能は2nmです。静電容量式の変位センサを内蔵し、コントローラと組んで閉ループで動かします。	種類開口付き動く軸 X・Y ストローク X・Y各100μm 分解能 2nm 共振周波数 420Hz（負荷なし）変位センサ静電容量式許容荷重 10N 外形・テーブル 150×150mm 開口 70×70mm 繰り返し位置決め ±2nm 質量 1200g	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
PIジャパン株式会社XYピエゾスキャナー P-734.2CD透過の光を使う顕微鏡の走査口コミを書く	要見積	中央の56×56mmの開口と、0.3nmのシステム分解能を1台で持つXYスキャナーです。X・Y各100μmを動かし、静電容量センサで台の位置を直接測ります。	種類開口付き動く軸 X・Y ストローク X・Y各100μm 分解能 0.3nm 共振周波数 500Hz（負荷なし）変位センサ静電容量式許容荷重 Z方向に最大20Nの押す力開口 56×56mm 質量 1040g 記載なし外形・テーブル・繰り返し位置決め	公式ページへ詳細・仕様
チルト（角度） 2製品
神津精機株式会社チルトステージ PT1T60-500S光学ミラーの角度の微調整口コミを書く	要見積	光学ミラーの傾きを合わせるチルト型です。振れ角は500秒、分解能は0.02秒で、負荷なしの共振周波数は1800Hzあります。静電容量式の変位センサを内蔵します。	種類チルト（角度）動く軸チルトストローク 500秒分解能 0.02秒共振周波数 1800Hz（負荷なし）変位センサ静電容量式許容荷重 10N 繰り返し位置決め ±0.02秒質量 300g 記載なし外形・テーブル・開口	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
有限会社メカノトランスフォーマチップチルトステージ MTS2A23H6mf6000レーザー光通信のビーム操作口コミを書く	要見積	負荷なしの共振周波数が5kHz以上ある、θxとθyのチップチルト型です。質量50g、直径30.0mmと小さく、衛星通信のレーザー光の向きを振る用途で作られています。載せられるのは0.2gまでです。	種類チルト（角度）動く軸 θx・θy ストローク ±6.5mrad 分解能 1.0μrad以下共振周波数 5kHz以上（負荷なし）変位センサ SGS 許容荷重 0.2g 外形・テーブル直径30.0mm 質量 50g 記載なし開口・繰り返し位置決め	公式ページへ詳細・仕様

直動（1軸）3製品

PIジャパン株式会社

高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CD

走査型顕微鏡や計測の高速な走査

ストロークを15μmに絞り、0.1nmのシステム分解能と負荷なし3200Hzの共振周波数を出す直動型です。繰り返し位置決めは±1nmです。

コスト要見積

種類: 直動（1軸）
動く軸: X
ストローク: 15μm
分解能: 0.1nm
共振周波数: 3200Hz（負荷なし）
変位センサ: 静電容量式
許容荷重: X方向に最大100Nの押す力
繰り返し位置決め: ±1nm
質量: 250g
記載なし: 外形・テーブル・開口

干渉計ミラーや顕微鏡ワークの位置決め

閉ループで1200μm動く、ストロークの長い1軸ステージです。変位センサなしのMPS-C1Xもあります。ストロークが長いぶん共振周波数は100Hzです。

コスト要見積

種類: 直動（1軸）
動く軸: X
ストローク: 1200μm（閉ループ）
分解能: 4nm（閉ループ）
共振周波数: 100Hz
変位センサ: 静電容量型
許容荷重: 10N
繰り返し位置決め: ±12.5nm
質量: 1.3kg
記載なし: 外形・テーブル・開口

はんだバンプ接合や微小荷重の試験

位置ではなく荷重を制御するZ軸のステージです。フォースセンサを内蔵し、レンジ5N、分解能0.01Nで押し込みを保ちます。

コスト要見積

種類: 直動（1軸）
動く軸: Z
ストローク: 400μm（開ループ）
分解能: 荷重で0.01N
変位センサ: 静電容量型、荷重センサ
許容荷重: 搭載ワーク630g
質量: 0.9kg
記載なし: 共振周波数・外形・テーブル・開口・繰り返し位置決め

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手動併用（粗動＋微動）2製品

ソーラボジャパン株式会社

ハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20

手動とピエゾを併用する光学実験

差動マイクロメータとピエゾを1台に付けた、移動量5mmのフレクシャーステージです。カートから買える価格を公式に出しています。インチ規格の型です。

コスト176,445円

種類: 手動併用（粗動＋微動）
ストローク: 5mm
記載なし: 動く軸・分解能・共振周波数・変位センサ・許容荷重・外形・テーブル・開口・繰り返し位置決め・質量

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有限会社メカノトランスフォーマ

ピエゾアシストステージ MTPA-2401SPA

手で寄せてから微動で合わせる位置決め

マイクロメータで±6.5mm寄せ、内蔵のピエゾで30μm以上を20nm以下の分解能で詰める手動ステージです。価格を公式に出しています。微動の操作には専用のコントローラを使います。

コスト80,240円税別

種類: 手動併用（粗動＋微動）
ストローク: 粗動±6.5mm、微動30μm以上
分解能: 微動20nm以下
外形・テーブル: 40×40mm
記載なし: 動く軸・共振周波数・変位センサ・許容荷重・開口・繰り返し位置決め・質量

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開口付き2製品

神津精機株式会社

開口付きピエゾステージ PK2L150-100U

顕微鏡の試料台やパネルの位置合わせ

中央に70×70mmの穴が開いたXYステージで、下から光を通せます。ストロークはX・Y各100μm、分解能は2nmです。静電容量式の変位センサを内蔵し、コントローラと組んで閉ループで動かします。

コスト要見積

種類: 開口付き
動く軸: X・Y
ストローク: X・Y各100μm
分解能: 2nm
共振周波数: 420Hz（負荷なし）
変位センサ: 静電容量式
許容荷重: 10N
外形・テーブル: 150×150mm
開口: 70×70mm
繰り返し位置決め: ±2nm
質量: 1200g

透過の光を使う顕微鏡の走査

中央の56×56mmの開口と、0.3nmのシステム分解能を1台で持つXYスキャナーです。X・Y各100μmを動かし、静電容量センサで台の位置を直接測ります。

コスト要見積

種類: 開口付き
動く軸: X・Y
ストローク: X・Y各100μm
分解能: 0.3nm
共振周波数: 500Hz（負荷なし）
変位センサ: 静電容量式
許容荷重: Z方向に最大20Nの押す力
開口: 56×56mm
質量: 1040g
記載なし: 外形・テーブル・繰り返し位置決め

チルト（角度）2製品

光学ミラーの角度の微調整

光学ミラーの傾きを合わせるチルト型です。振れ角は500秒、分解能は0.02秒で、負荷なしの共振周波数は1800Hzあります。静電容量式の変位センサを内蔵します。

コスト要見積

種類: チルト（角度）
動く軸: チルト
ストローク: 500秒
分解能: 0.02秒
共振周波数: 1800Hz（負荷なし）
変位センサ: 静電容量式
許容荷重: 10N
繰り返し位置決め: ±0.02秒
質量: 300g
記載なし: 外形・テーブル・開口

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有限会社メカノトランスフォーマ

チップチルトステージ MTS2A23H6mf6000

レーザー光通信のビーム操作

負荷なしの共振周波数が5kHz以上ある、θxとθyのチップチルト型です。質量50g、直径30.0mmと小さく、衛星通信のレーザー光の向きを振る用途で作られています。載せられるのは0.2gまでです。

コスト要見積

種類: チルト（角度）
動く軸: θx・θy
ストローク: ±6.5mrad
分解能: 1.0μrad以下
共振周波数: 5kHz以上（負荷なし）
変位センサ: SGS
許容荷重: 0.2g
外形・テーブル: 直径30.0mm
質量: 50g
記載なし: 開口・繰り返し位置決め

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出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/keisoku/piezo-stage/／各社の公式資料（2026年11月6日確認）

Q&A

ピエゾステージ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問ピエゾステージの価格は、いくら？

値段を公式に出しているのは2製品です。メカノトランスフォーマのMTPA-2401SPAが80,240円（税別）、ソーラボのNFL5DP20が176,445円です。神津精機・PIジャパン・メステックは公式に価格がなく、見積もりで確かめます。

設備担当の疑問ピエゾステージの種類は？

動き方と形で4つに分かれます。1方向に動かす直動、手動の粗動とピエゾの微動を持つ手動併用、中央に穴がある開口付き、角度を変えるチルトです。

設備担当の疑問ピエゾアクチュエータとの違いは？

アクチュエータは伸び縮みする素子やその入れ物で、案内は使う側で用意します。ステージは案内と台まで一体で、物を載せればそのまま動かせます。メステックのMPS-C1XCは弾性ヒンジの案内まで入っています。

設備担当の疑問モータの精密ステージとの違いは？

ストロークと細かさが違います。ピエゾのP-752.1CDは15μmを0.1nmの分解能で動かします。mm単位を動かすならモータの型か、手動併用のMTPA-2401SPAを選びます。

設備担当の疑問ストロークと分解能はどう選ぶ？

動かしたい幅を先に決めます。同じ会社でも、PIのP-752.1CDは15μmで0.1nm、P-734.2CDはX・Y各100μmで0.3nmと、長いほど分解能の数字は大きくなります。メステックのMPS-C1XCは1200μmで4nmです。

工場長の疑問共振周波数はなぜ大事？

速く動かしたときの追い付きやすさを決める数字です。P-752.1CDは負荷なしで3200Hz、MPS-C1XCは100Hzです。重い物を載せると下がるので、載せる重さでの値まで見ます。

設備担当の疑問変位センサはいる？

同じ位置に何度も戻すなら、センサ内蔵の型にします。圧電素子は同じ電圧でも位置がずれるからです。神津精機のPK2L150-100Uは静電容量式を内蔵し、-Nの付く型はセンサなしで開ループで動かします。

設備担当の疑問顕微鏡には、どの型を使う？

透過の光を使うなら開口付きです。PK2L150-100Uは70×70mm、P-734.2CDは56×56mmの穴があります。走査の速さを取るなら、直動のP-752.1CDがあります。

設備担当の疑問ミラーの角度を変えるには？

チルトの型を使います。神津精機のPT1T60-500Sは振れ角500秒、分解能0.02秒です。メカノトランスフォーマのMTS2A23H6mf6000は±6.5mradで、負荷なしの共振周波数が5kHz以上あり、載せられるのは0.2gまでです。

施設管理の疑問コントローラは別に必要？

センサ付きの型は専用のコントローラと組んで使います。メカノトランスフォーマのMTPA-2401SPAの微動には、1軸のMTSD2001（53,100円・税別）を使います。買う前に、ステージとコントローラの組み合わせを各社に確かめます。

TYPES

ピエゾステージの種類の違い

直動（1軸）

台を1方向へ真っすぐ動かす型です。弾性ヒンジで案内するので摩擦がありません。ストロークを短くすると共振周波数が上がり、長くすると下がります。

向いている使い方

走査型顕微鏡の走査
干渉計ミラーの位置制御
微小荷重の押し込み試験

根拠：ピエゾアクチューエータを駆動源としストローク1500µm を発生します（出典6）

この種類の3製品を表で見る

手動併用（粗動＋微動）

マイクロメータで大きく寄せ、ピエゾで細かく詰める型です。mm単位とnm単位の両方を1台で扱えます。コントローラを別に用意する型があります。

向いている使い方

光学部品の位置合わせ
手で寄せてからの微調整
小さな実験装置

根拠：ステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構を（出典8）

この種類の2製品を表で見る

開口付き

台の中央に穴が開いた型です。穴から光を通せるので、透過の観察や露光に使えます。外形が大きくなるので、置く場所の寸法まで確かめます。

向いている使い方

顕微鏡の試料台
半導体やFPDの検査
露光装置

根拠：顕微鏡試料テーブル Microscope tables（出典1）

この種類の2製品を表で見る

チルト（角度）

台の傾きを変える型です。ストロークは長さではなく秒やmradで書きます。軽いミラーを速く振る用途に向きます。

向いている使い方

光学ミラーの角度合わせ
レーザーの向きの制御
光通信のビーム操作

根拠：光学ミラー用 For optical mirror tilting チルトタイプ（出典2）

この種類の2製品を表で見る

MAKERS

ピエゾステージの主なメーカー5社

ソーラボジャパン株式会社

差動マイクロメータとピエゾを1台に付けた、移動量5mmのフレクシャーステージです。

東京都

ハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20

PIジャパン株式会社

ストロークを15μmに絞り、0.1nmのシステム分解能と負荷なし3200Hzの共振周波数を出す直動型です。

神奈川県

有限会社メカノトランスフォーマ

マイクロメータで±6.5mm寄せ、内蔵のピエゾで30μm以上を20nm以下の分解能で詰める手動ステージです。

東京都

株式会社メステック

閉ループで1200μm動く、ストロークの長い1軸ステージです。

埼玉県

出典

掲載基準

顕微鏡観察・半導体・光学の位置決めに使うピエゾステージ（直動・手動併用・開口付き・チルト）で、自社で作るか自社グループのブランドで売る日本の会社が、公式サイトで今案内していて、型番の仕様を公式で確かめられた製品です。素子だけの型とケース入りの型はピエゾアクチュエータ、モータで動かす型は精密ステージ、3軸を1台で動かす型はXYZステージのページで比べ、同じ型番は重ねません。海外ブランドの輸入販売元は載せていません。THKプレシジョンは公式サイトの仕様を確かめられなかったため載せていません。ソーラボのNFL5DP20は、公式の製品ページで取れた移動量と価格だけを載せました。

ピエゾステージを作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

ピエゾステージのメーカー5社比較【2026年】

ピエゾステージとは

製品の特長

使うメリット

選ぶときに注意すること

ピエゾステージの比較表

直動（1軸）

手動併用（粗動＋微動）

開口付き

チルト（角度）

ピエゾステージ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問ピエゾステージの価格は、いくら？

設備担当の疑問ピエゾステージの種類は？

設備担当の疑問ピエゾアクチュエータとの違いは？

設備担当の疑問モータの精密ステージとの違いは？

設備担当の疑問ストロークと分解能はどう選ぶ？

工場長の疑問共振周波数はなぜ大事？

設備担当の疑問変位センサはいる？

設備担当の疑問顕微鏡には、どの型を使う？

設備担当の疑問ミラーの角度を変えるには？

施設管理の疑問コントローラは別に必要？

ピエゾステージの種類の違い

直動（1軸）

手動併用（粗動＋微動）

開口付き

チルト（角度）

ピエゾステージの主なメーカー5社

神津精機株式会社

ソーラボジャパン株式会社

PIジャパン株式会社

有限会社メカノトランスフォーマ

株式会社メステック

引用