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ピエゾステージ直動(1軸)

荷重制御ピエゾステージ MSP-E1C

株式会社メステック

荷重を0.01Nの分解能で制御するZ軸ステージ。

価格
公開価格なし(見積もり)
種類
直動(1軸)
向いている所
はんだバンプ接合や微小荷重の試験
カタログ
あり(PDF)

比較表での位置

荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cは、ピエゾステージのメーカー5社比較⁠の種類「直動(1軸)」の3製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 9製品比較表の製品
  • 3製品同じ種類
  • 2製品公開価格あり
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荷重制御ピエゾステージ MSP-E1C​の強みと方式

位置ではなく荷重を制御するZ軸のステージです。フォースセンサを内蔵し、レンジ5N、分解能0.01Nで押し込みを保ちます。

向いている所はんだバンプ接合や微小荷重の試験

種類:直動(1軸)

台を1方向へ真っすぐ動かす型です。弾性ヒンジで案内するので摩擦がありません。ストロークを短くすると共振周波数が上がり、長くすると下がります。

荷重制御ピエゾステージ MSP-E1C​の仕様

種類
直動(1軸)
動く軸
Z
ストローク
400μm(開ループ)
分解能
荷重で0.01N
共振周波数
—公式資料で確認できず
変位センサ
静電容量型、荷重センサ
許容荷重
搭載ワーク630g
価格
—公式資料で確認できず
外形・テーブル
—公式資料で確認できず
開口
—公式資料で確認できず
繰り返し位置決め
—公式資料で確認できず
質量
0.9kg

同じ種類の他社製品との違い

ピエゾステージの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. ピエゾアシストステージ MTPA-2401SPA有限会社メカノトランスフォーマ80,240円税別
  2. ハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20ソーラボジャパン株式会社176,445円

製品の特徴ごとの分類

荷重制御ピエゾステージ MSP-E1C株式会社メステック高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDPIジャパン株式会社ハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20ソーラボジャパン株式会社
種類直動(1軸)直動(1軸)手動併用(粗動+微動)
動く軸ZX—公式資料で確認できず
ストローク400μm(開ループ)15μm5mm
分解能荷重で0.01N0.1nm—公式資料で確認できず
共振周波数—公式資料で確認できず3200Hz(負荷なし)—公式資料で確認できず
変位センサ静電容量型、荷重センサ静電容量式—公式資料で確認できず
許容荷重搭載ワーク630gX方向に最大100Nの押す力—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず176,445円
外形・テーブル—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
開口—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
繰り返し位置決め—公式資料で確認できず±1nm—公式資料で確認できず
質量0.9kg250g—公式資料で確認できず

ピエゾステージの9製品を比較表で見る

荷重制御ピエゾステージ MSP-E1C​のよくある質問

Q.荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cはどんな人に向いている?
荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cは、はんだバンプ接合や微小荷重の試験に使う人向けです。位置ではなく荷重を制御するZ軸のステージです。フォースセンサを内蔵し、レンジ5N、分解能0.01Nで押し込みを保ちます。
Q.荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cはどんな方式?
荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cの種類は直動(1軸)⁠で⁠す⁠。台を1方向へ真っすぐ動かす型です。
Q.荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cの主な仕様は?
荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cの動く軸はZ、ストロークは400μm(開ループ)⁠で⁠す⁠。分解能は荷重で0.01N、変位センサは静電容量型、荷重センサです。
Q.荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cと高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDはどっちがいい?
はんだバンプ接合や微小荷重の試験なら荷重制御ピエゾステージ MSP-E1C、走査型顕微鏡や計測の高速な走査ならPIジャパンの高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDです。荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cの動く軸はZ、ストロークは400μm(開ループ)⁠で⁠す⁠。PIジャパンの高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDの動く軸はX、ストロークは15μmです。
Q.荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cの質量は?
荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cの質量は0.9kgです。PIジャパンの高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDの質量は250gです。
Q.荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cの許容荷重は?
荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cの許容荷重は搭載ワーク630gです。PIジャパンの高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDの許容荷重はX方向に最大100Nの押す力です。
Q.荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cとハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20はどっちがいい?
はんだバンプ接合や微小荷重の試験なら荷重制御ピエゾステージ MSP-E1C、手動とピエゾを併用する光学実験ならソーラボジャパンのハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20です。荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cの動く軸はZ、ストロークは400μm(開ループ)⁠で⁠す⁠。ソーラボジャパンのハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20の価格は176,445円、ストロークは5mmです。
Q.荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cのほかにメステックのピエゾステージはある?
あります。メステックのピエゾステージには、荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cのほかにピエゾステージ MPS-C1XC(動く軸はX)があります。
Q.荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cはどこのメーカー?
荷重制御ピエゾステージ MSP-E1Cは株式会社メステックの製品です。埼玉県和光市の会社で、ピエゾアクチュエータ・ピエゾドライバ・静電容量型変位計を企画から製造まで自社で開発しています。

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