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ピエゾステージ直動（1軸）

ピエゾステージ MPS-C1XC

株式会社メステック

閉ループ1200μm、分解能4nmの1軸ステージ。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
直動（1軸）
向いている所
干渉計ミラーや顕微鏡ワークの位置決め
カタログ
あり（PDF）
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比較表での位置

ピエゾステージ MPS-C1XCは、ピエゾステージのメーカー5社比較⁠の種類「直動（1軸）」の3製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 9製品比較表の製品
  • 3製品同じ種類
  • 2製品公開価格あり
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ピエゾステージ MPS-C1XC​の強みと方式

閉ループで1200μm動く、ストロークの長い1軸ステージです。変位センサなしのMPS-C1Xもあります。ストロークが長いぶん共振周波数は100Hzです。

向いている所干渉計ミラーや顕微鏡ワークの位置決め

種類：直動（1軸）

台を1方向へ真っすぐ動かす型です。弾性ヒンジで案内するので摩擦がありません。ストロークを短くすると共振周波数が上がり、長くすると下がります。

ピエゾステージ MPS-C1XC​の仕様

種類
直動（1軸）
動く軸
X
ストローク
1200μm（閉ループ）
分解能
4nm（閉ループ）
共振周波数
100Hz
変位センサ
静電容量型
許容荷重
10N
価格
—公式資料で確認できず
外形・テーブル
—公式資料で確認できず
開口
—公式資料で確認できず
繰り返し位置決め
±12.5nm
質量
1.3kg

同じ種類の他社製品との違い

ピエゾステージの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. ピエゾアシストステージ MTPA-2401SPA有限会社メカノトランスフォーマ80,240円税別
  2. ハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20ソーラボジャパン株式会社176,445円

製品の特徴ごとの分類

ピエゾステージ MPS-C1XC株式会社メステック高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDPIジャパン株式会社ハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20ソーラボジャパン株式会社
種類直動（1軸）直動（1軸）手動併用（粗動＋微動）
動く軸XX—公式資料で確認できず
ストローク1200μm（閉ループ）15μm5mm
分解能4nm（閉ループ）0.1nm—公式資料で確認できず
共振周波数100Hz3200Hz（負荷なし）—公式資料で確認できず
変位センサ静電容量型静電容量式—公式資料で確認できず
許容荷重10NX方向に最大100Nの押す力—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず176,445円
外形・テーブル—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
開口—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
繰り返し位置決め±12.5nm±1nm—公式資料で確認できず
質量1.3kg250g—公式資料で確認できず

ピエゾステージの9製品を比較表で見る

ピエゾステージ MPS-C1XC​のよくある質問

Q.ピエゾステージ MPS-C1XCはどんな人に向いている？
ピエゾステージ MPS-C1XCは、干渉計ミラーや顕微鏡ワークの位置決めに使う人向けです。ピエゾステージ MPS-C1XCは、閉ループで1200μm動く、ストロークの長い1軸ステージです。
Q.ピエゾステージ MPS-C1XCの強みは？
ピエゾステージ MPS-C1XCは、変位センサなしのMPS-C1Xもあります。ストロークが長いぶん共振周波数は100Hzです。
Q.ピエゾステージ MPS-C1XCはどんな方式？
ピエゾステージ MPS-C1XCの種類は直動（1軸）⁠で⁠す⁠。台を1方向へ真っすぐ動かす型です。
Q.ピエゾステージ MPS-C1XCの主な仕様は？
ピエゾステージ MPS-C1XCの動く軸はX、ストロークは1200μm（閉ループ）⁠で⁠す⁠。分解能は4nm（閉ループ）、共振周波数は100Hzです。
Q.ピエゾステージ MPS-C1XCと高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDはどっちがいい？
干渉計ミラーや顕微鏡ワークの位置決めならピエゾステージ MPS-C1XC、走査型顕微鏡や計測の高速な走査ならPIジャパンの高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDです。ピエゾステージ MPS-C1XCの動く軸はX、ストロークは1200μm（閉ループ）⁠で⁠す⁠。PIジャパンの高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDの動く軸はX、ストロークは15μmです。
Q.ピエゾステージ MPS-C1XCの質量は？
ピエゾステージ MPS-C1XCの質量は1.3kgです。PIジャパンの高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDの質量は250gです。
Q.ピエゾステージ MPS-C1XCの変位センサは？
ピエゾステージ MPS-C1XCの変位センサは静電容量型です。PIジャパンの高精度ナノポジショニングステージ P-752.1CDの変位センサは静電容量式です。
Q.ピエゾステージ MPS-C1XCとハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20はどっちがいい？
干渉計ミラーや顕微鏡ワークの位置決めならピエゾステージ MPS-C1XC、手動とピエゾを併用する光学実験ならソーラボジャパンのハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20です。ピエゾステージ MPS-C1XCの動く軸はX、ストロークは1200μm（閉ループ）⁠で⁠す⁠。ソーラボジャパンのハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20の価格は176,445円、ストロークは5mmです。
Q.ピエゾステージ MPS-C1XCのほかにメステックのピエゾステージはある？
あります。メステックのピエゾステージには、ピエゾステージ MPS-C1XCのほかに荷重制御ピエゾステージ MSP-E1C（動く軸はZ）があります。
Q.ピエゾステージ MPS-C1XCはどこのメーカー？
ピエゾステージ MPS-C1XCは株式会社メステックの製品です。埼玉県和光市の会社で、ピエゾアクチュエータ・ピエゾドライバ・静電容量型変位計を企画から製造まで自社で開発しています。

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