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ピエゾステージ開口付き

開口付きピエゾステージ PK2L150-100U

神津精機株式会社

70×70mmの開口を持つ、X・Y各100μmの開口付きステージ。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
開口付き
向いている所
顕微鏡の試料台やパネルの位置合わせ
カタログ
あり（PDF）
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比較表での位置

開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uは、ピエゾステージのメーカー5社比較⁠の種類「開口付き」の2製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 9製品比較表の製品
  • 2製品同じ種類
  • 2製品公開価格あり
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開口付きピエゾステージ PK2L150-100U​の強みと方式

中央に70×70mmの穴が開いたXYステージで、下から光を通せます。ストロークはX・Y各100μm、分解能は2nmです。静電容量式の変位センサを内蔵し、コントローラと組んで閉ループで動かします。

向いている所顕微鏡の試料台やパネルの位置合わせ

種類：開口付き

台の中央に穴が開いた型です。穴から光を通せるので、透過の観察や露光に使えます。外形が大きくなるので、置く場所の寸法まで確かめます。

開口付きピエゾステージ PK2L150-100U​の仕様

種類
開口付き
動く軸
X・Y
ストローク
X・Y各100μm
分解能
2nm
共振周波数
420Hz（負荷なし）
変位センサ
静電容量式
許容荷重
10N
価格
—公式資料で確認できず
外形・テーブル
150×150mm
開口
70×70mm
繰り返し位置決め
±2nm
質量
1200g

同じ種類の他社製品との違い

ピエゾステージの価格公開価格のある2製品・安い順
  1. ピエゾアシストステージ MTPA-2401SPA有限会社メカノトランスフォーマ80,240円税別
  2. ハイブリッド型移動ステージ NFL5DP20ソーラボジャパン株式会社176,445円

製品の特徴ごとの分類

開口付きピエゾステージ PK2L150-100U神津精機株式会社XYピエゾスキャナー P-734.2CDPIジャパン株式会社チップチルトステージ MTS2A23H6mf6000有限会社メカノトランスフォーマ
種類開口付き開口付きチルト（角度）
動く軸X・YX・Yθx・⁠⁠⁠⁠⁠⁠θy
ストロークX・Y各100μmX・Y各100μm±6.5mrad
分解能2nm0.3nm1.0μrad以下
共振周波数420Hz（負荷なし）500Hz（負荷なし）5kHz以上（負荷なし）
変位センサ静電容量式静電容量式SGS
許容荷重10NZ方向に最大20Nの押す力0.2g
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形・テーブル150×150mm—公式資料で確認できず直径30.0mm
開口70×70mm56×56mm—公式資料で確認できず
繰り返し位置決め±2nm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量1200g1040g50g

ピエゾステージの9製品を比較表で見る

開口付きピエゾステージ PK2L150-100U​のよくある質問

Q.開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uはどんな人に向いている？
開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uは、顕微鏡の試料台やパネルの位置合わせに使う人向けです。開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uは、中央に70×70mmの穴が開いたXYステージで、下から光を通せます。
Q.開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uの強みは？
開口付きピエゾステージ PK2L150-100UのストロークはX・Y各100μm、分解能は2nmです。静電容量式の変位センサを内蔵し、コントローラと組んで閉ループで動かします。
Q.開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uはどんな方式？
開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uの種類は開口付きです。台の中央に穴が開いた型です。
Q.開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uの主な仕様は？
開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uの動く軸はX・Y、ストロークはX・Y各100μmです。分解能は2nm、共振周波数は420Hz（負荷なし）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.開口付きピエゾステージ PK2L150-100UとXYピエゾスキャナー P-734.2CDはどっちがいい？
顕微鏡の試料台やパネルの位置合わせなら開口付きピエゾステージ PK2L150-100U、透過の光を使う顕微鏡の走査ならPIジャパンのXYピエゾスキャナー P-734.2CDです。開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uの動く軸はX・Y、ストロークはX・Y各100μmです。PIジャパンのXYピエゾスキャナー P-734.2CDの動く軸はX・Y、ストロークはX・Y各100μmです。
Q.開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uの質量は？
開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uの質量は1200gです。PIジャパンのXYピエゾスキャナー P-734.2CDの質量は1040gです。
Q.開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uの変位センサは？
開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uの変位センサは静電容量式です。PIジャパンのXYピエゾスキャナー P-734.2CDの変位センサは静電容量式です。
Q.開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uとチップチルトステージ MTS2A23H6mf6000はどっちがいい？
顕微鏡の試料台やパネルの位置合わせなら開口付きピエゾステージ PK2L150-100U、レーザー光通信のビーム操作ならメカノトランスフォーマのチップチルトステージ MTS2A23H6mf6000です。開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uの動く軸はX・Y、ストロークはX・Y各100μmです。メカノトランスフォーマのチップチルトステージ MTS2A23H6mf6000の動く軸はθx・θy、ストロークは±6.5mradです。
Q.開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uのほかに神津精機のピエゾステージはある？
あります。神津精機のピエゾステージには、開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uのほかにチルトステージ PT1T60-500S（動く軸はチルト）があります。
Q.開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uはどこのメーカー？
開口付きピエゾステージ PK2L150-100Uは神津精機株式会社の製品です。登記上の本店は〒215-0033 神奈川県川崎市麻生区栗木2丁目6番15号。神奈川県川崎市の、実験研究機器や産業用の精密位置決め装置（ステージ）のメーカーです。

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    1. 神津精機株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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