XYZステージとは？光学実験・検査装置で使うXYZステージの種類（手動・電動・ピエゾ）と、移動量・耐荷重・価格の選び方

XYZステージとは

XYZステージは、光学部品・センサ・カメラを載せて、水平のX・Yと高さのZの3方向に動かし、位置を合わせる台です。水平2方向だけ動くXYステージに、高さの調整を足した形です。

比較ページには、メーカーが自社で作るXYZステージを、代表の型式の単位で載せています。

4つの種類

• 手動・アリ溝：溝に沿って滑らせる案内で、値段を抑えられます。例は中央精機のLT-412とツクモ工学のX15-102です
• 手動・ベアリング案内：クロスローラやリニアベアリングの案内で、動きが軽くなります。例は駿河精機のB71-60、ツクモ工学のXC4-60CM、ソーラボのMT3/M、アリオスのXYZ70114-50です
• 電動：モータでボールねじを回します。例は駿河精機のKWL06050です
• ピエゾ：ピエゾ素子で動かし、ナノメートルの細かさで合わせます。例はPIジャパンのP-611.3Sです

移動量の違い

• 中央精機のLT-412は、±10mm動きます
• ソーラボのMT3/Mは、12.7mm動きます
• 駿河精機のKWL06050は、50mm動きます
• ユタカ製作所のテーブルは、XYが±50mm、Zが300mm動きます
• PIジャパンのP-611.3Sは、100μm動きます

耐荷重の見方

• 中央精機のLT-413は4.9N、LT-412は19.6Nです
• ツクモ工学のX15-102は24.5Nです
• 駿河精機のKWL06050は7kgfです
• ユタカ製作所のテーブルは、最大120kgです
• 耐荷重を超えて載せると、精度が落ちます

値段

• 手動のアリ溝は、中央精機のLT-412が43,000円、ツクモ工学のX15-102が44,000円です
• 手動のベアリング案内は、駿河精機のB71-60が95,000円、ツクモ工学のXC4-60CMが116,000円です
• ソーラボのMT3/Mは、169,122円（税抜）⁠で⁠⁠⁠⁠す
• 電動の駿河精機KWL06050は、364,000円〜⁠⁠⁠です
• 大型のユタカ製作所のテーブルは、1,498,000円〜⁠⁠⁠です