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高周波電源13.56MHz

RF電源 RP-1K02

アリオス株式会社

13.56MHz・1kW連続のRF電源。

価格
公開価格なし（見積もり）
周波数帯
13.56MHz
向いている所
スパッタやCVDの開発で1kWを使う
カタログ
あり（PDF）
公式の製品ページを見るカタログ（PDF）比較表で見る

比較表での位置

RF電源 RP-1K02は、高周波電源のメーカー6社比較⁠の周波数帯「13.56MHz」の8製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 12製品比較表の製品
  • 8製品同じ周波数帯
  • 0製品公開価格あり
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RF電源 RP-1K02​の強みと方式

オール・ソリッドステートで1kWを連続で出せる空冷機です。RFスパッタリングやプラズマCVDのプラズマ発生に使えます。出力は外部入力によるリニア制御で動かせます。

向いている所スパッタやCVDの開発で1kWを使う

周波数帯：13.56MHz

載せた6社すべてが公式に出している周波数です。表では300WのRP-301から5kWのRGA-50・RFS-1350Nまであり、ダイヘンのRGAシリーズは30kWまで出しています。アルバックのRFS-Nは、電源の本体で整合の制御までまとめられます。

RF電源 RP-1K02​の仕様

周波数帯
13.56MHz
周波数
13.56MHz±1kHz
定格出力
10W〜1kW、1kW連続
入力電源
三相AC200〜260V、1.5kW最大
冷却方式
強制空冷
外形寸法
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
質量
15kg
出力コネクタ
N型
パルス出力
—公式資料で確認できず

自動マッチングボックスMB-1K02と組み合わせる。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

RF電源 RP-1K02アリオス株式会社高周波電源 RFS-1310N株式会社アルバック高周波電源 RFS-1350N株式会社アルバック
周波数帯13.56MHz13.56MHz13.56MHz
周波数13.56MHz±1kHz13.56MHz13.56MHz
定格出力10W〜1kW、1kW連続1000W5000W
入力電源三相AC200〜260V、1.5kW最大単相AC200V-220V、1.8kVA以下3相AC200V-220V、8kVA以下
冷却方式強制空冷強制空冷、冷却水不要強制空冷+水冷、流量6L/min
外形寸法—公式資料で確認できず幅240mm×奥行495mm×高さ150mm幅480mm×奥行500mm×高さ150mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量15kg約11kg約23kg
出力コネクタN型N型DIN 7/16
パルス出力—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

高周波電源の12製品を比較表で見る

RF電源 RP-1K02​のよくある質問

Q.RF電源 RP-1K02はどんな人に向いている？
RF電源 RP-1K02は、スパッタやCVDの開発で1kWを使う人向けです。RF電源 RP-1K02は、オール・ソリッドステートで1kWを連続で出せる空冷機です。
Q.RF電源 RP-1K02の強みは？
RF電源 RP-1K02は、RFスパッタリングやプラズマCVDのプラズマ発生に使えます。出力は外部入力によるリニア制御で動かせます。
Q.RF電源 RP-1K02はどんな方式？
RF電源 RP-1K02の周波数帯は13.56MHzです。載せた6社すべてが公式に出している周波数です。
Q.RF電源 RP-1K02の主な仕様は？
RF電源 RP-1K02の周波数は13.56MHz±1kHz、定格出力は10W〜1kW、1kW連続です。入力電源は三相AC200〜260V、1.5kW最大、冷却方式は強制空冷です。
Q.RF電源 RP-1K02と高周波電源 RFS-1310Nはどっちがいい？
スパッタやCVDの開発で1kWを使うならRF電源 RP-1K02、整合の制御を電源に任せたい装置ならアルバックの高周波電源 RFS-1310Nです。RF電源 RP-1K02の周波数は13.56MHz±1kHz、定格出力は10W〜1kW、1kW連続です。アルバックの高周波電源 RFS-1310Nの周波数は13.56MHz、定格出力は1000Wです。
Q.RF電源 RP-1K02の質量は？
RF電源 RP-1K02の質量は15kgです。アルバックの高周波電源 RFS-1310Nの質量は約11kgです。
Q.RF電源 RP-1K02の出力コネクタは？
RF電源 RP-1K02の出力コネクタはN型です。アルバックの高周波電源 RFS-1310Nの出力コネクタはN型です。
Q.RF電源 RP-1K02と高周波電源 RFS-1350Nはどっちがいい？
スパッタやCVDの開発で1kWを使うならRF電源 RP-1K02、5000Wで整合も電源で制御する装置ならアルバックの高周波電源 RFS-1350Nです。RF電源 RP-1K02の周波数は13.56MHz±1kHz、定格出力は10W〜1kW、1kW連続です。アルバックの高周波電源 RFS-1350Nの周波数は13.56MHz、定格出力は5000Wです。
Q.RF電源 RP-1K02のほかにアリオスの高周波電源はある？
あります。アリオスの高周波電源には、RF電源 RP-1K02のほかにRF電源 RP-301（周波数は13.56MHz±1kHz）があります。
Q.RF電源 RP-1K02はどこのメーカー？
RF電源 RP-1K02はアリオス株式会社の製品です。アリオスの主な製品分野は高周波電源・XYZステージです。

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    1. アリオス株式会社 公式
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