半導体やFPDの製造装置、スパッタリングやプラズマCVDの装置に載せる高周波電源（RF電源）を選ぶ、設備・開発・購買の担当の方へ

高周波電源のメーカー6社比較【2026年】

高周波電源は、プラズマを作るために、
決まった周波数の高周波電力を送る電源です。

ABOUT

高周波電源とは

比較表を見る ↓

高周波電源とは、半導体やFPDの製造装置、スパッタリングやプラズマCVDで、
プラズマを作るための高周波電力を送る電源です。
RF電源、RFジェネレータとも呼びます。

製品の特長

周波数で分かれる（表では400kHzから60MHzまで）
定格出力の幅が広い（表では300Wから10000Wまで）
空冷と水冷併用がある（表の水冷は3kW以上の型）

使うメリット

効率の高い型で電気を減らせる（ダイヘンのRGA標準タイプは変換効率75%）
反射に強い型を選べる（アドテックのTXはAB級リニアAMP）
外から出力を制御できる（アルバックのRFS-Nはアナログとシリアル通信）

選ぶときに注意すること

水冷併用の型は冷却水を用意する。RFS-1350Nは流量6L/min
三相の型は、工場側の電源を先に確かめる
RFのトラブルで多いのはマッチングボックスの焼損。不調なら素子を見る
高周波ノイズは接地では止まらない。シールドと配線を見直す

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。整合の仕組みとノイズ対策はノダRFテクノロジーズ、トラブルの傾向はアリオスの解説による。

LIST

高周波電源の比較表

高周波電源12製品の比較
製品・メーカー	コスト	製品の強み	仕様	公式ページ
低い周波数（400kHz〜4MHz） 2製品
株式会社アドテックプラズマテクノロジー2MHz高周波電源 TXM 5000W2MHzで大きな出力を使うプロセス口コミを書く	要見積	2MHzで5000Wを出せる、TXMシリーズの大きいほうの型です。三相AC200-240Vで動き、冷却は強制空冷と水冷を併用します。パルスと周波数可変はオプションで付けられます。	周波数帯低い周波数（400kHz〜4MHz）周波数 2MHz 定格出力 5,000W 入力電源三相AC200-240V 冷却方式強制空冷+⁠⁠⁠水冷外形寸法幅430mm×奥行650mm×高さ221mm 質量 56kg パルス出力オプションで付けられる記載なし出力コネクタ	公式ページへ詳細・仕様
株式会社京三製作所RFジェネレータ HFK15TP400kHzを空冷の小型機で使う装置口コミを書く	要見積	400kHzを単相200-220Vの空冷で動かせる型です。高さ88mmと低く、14kgで済みます。出力はMOS-FET方式です。	周波数帯低い周波数（400kHz〜4MHz）周波数 400kHz 定格出力 1.50kW 入力電源単相200-220V、2.0kVA以下冷却方式強制空冷外形寸法幅480mm×高さ88mm×奥行430mm 質量 14kg 出力コネクタ C型記載なしパルス出力	公式ページへ詳細・仕様
13.56MHz 8製品
アリオス株式会社RF電源 RP-1K02スパッタやCVDの開発で1kWを使う口コミを書く	要見積	オール・ソリッドステートで1kWを連続で出せる空冷機です。RFスパッタリングやプラズマCVDのプラズマ発生に使えます。出力は外部入力によるリニア制御で動かせます。	周波数帯 13.56MHz 周波数 13.56MHz±1kHz 定格出力 10W〜1kW、1kW連続入力電源三相AC200〜260V、1.5kW最大冷却方式強制空冷質量 15kg 出力コネクタ N型記載なし外形寸法・パルス出力	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
アリオス株式会社RF電源 RP-301研究室の小型プラズマ源と組み合わせる口コミを書く	要見積	単相AC100Vから使える300W機で、質量は2.9kgです。手動の実験用プラズマ源から自動制御のプラズマ源まで使えると案内しています。保護機能として、高反射のときは出力を制限します。	周波数帯 13.56MHz 周波数 13.56MHz±1kHz 定格出力 10〜300W、300W連続入力電源単相AC100〜240V、450W最大冷却方式強制空冷質量 2.9kg 出力コネクタ BNC型記載なし外形寸法・パルス出力	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
株式会社アルバック高周波電源 RFS-1310N整合の制御を電源に任せたい装置口コミを書く	要見積	電源の本体にオートマッチングコントローラの機能を持つ型です。専用のマッチングボックスとつなげば、電力の制御と整合の制御を電源側でまとめられます。冷却水を使わずに1000Wを出せます。	周波数帯 13.56MHz 周波数 13.56MHz 定格出力 1000W 入力電源単相AC200V-220V、1.8kVA以下冷却方式強制空冷、冷却水不要外形寸法幅240mm×奥行495mm×高さ150mm 質量約11kg 出力コネクタ N型記載なしパルス出力	公式ページへ詳細・仕様
株式会社アルバック高周波電源 RFS-1350N5000Wで整合も電源で制御する装置口コミを書く	要見積	5000Wの出力でも、電源の本体でマッチングボックスの制御までまとめられます。適合規格にCE、KC、RoHSを載せています。冷却水は6L/minを流します。	周波数帯 13.56MHz 周波数 13.56MHz 定格出力 5000W 入力電源 3相AC200V-220V、8kVA以下冷却方式強制空冷+水冷、流量6L/min 外形寸法幅480mm×奥行500mm×高さ150mm 質量約23kg 出力コネクタ DIN 7/16 記載なしパルス出力	公式ページへ詳細・仕様
株式会社京三製作所RFジェネレータ RFK35TS3.5kWを小さく収めたい水冷の装置口コミを書く	要見積	3.5kWを質量15kg、奥行377mmに収めた水冷の型です。京三の高周波電源はD級RFアンプを心臓部にしています。冷却水は4L/分を流します。	周波数帯 13.56MHz 周波数 13.56MHz 定格出力 3.5kW 入力電源三相200-220V、4.7kVA以下冷却方式水冷、4L/分外形寸法幅215mm×高さ133mm×奥行377mm 質量 15kg 出力コネクタ HN型記載なしパルス出力	公式ページへ詳細・仕様
株式会社ダイヘン13.56MHz高周波電源 RGA-5013.56MHzで省電力を重く見る装置口コミを書く	要見積	ダイヘンの標準タイプで、省電力設計をうたう小型の型です。5kWで高さ133mmに収まるので、ラックの段数を抑えられます。パルスは1Hzから100kHzまで使えます。	周波数帯 13.56MHz 周波数 13.56MHz 定格出力 5kW 冷却方式強制空冷+⁠⁠⁠水冷外形寸法幅420mm×奥行440mm×高さ133mm 質量 39kg パルス出力 1Hz-100kHz、1レベル記載なし入力電源・出力コネクタ	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
株式会社ノダRFテクノロジーズ高周波電源 NR1N-xx冷却水なしで1kWを使う装置口コミを書く	要見積	高効率アンプを使った空冷の1kW機です。冷却水の配管を引かずに置けます。オプションで同時励起を選べます。	周波数帯 13.56MHz 周波数 13.56MHz 定格出力 1kW 入力電源三相AC200V、2.5kVA 冷却方式空冷式外形寸法奥行410mm×幅480mm×高さ146mm 出力コネクタ HN型記載なし質量・パルス出力	公式ページへ詳細・仕様
株式会社ノダRFテクノロジーズ高周波電源 NR3N-xx3kWを細いラックに収めたい装置口コミを書く	要見積	高効率アンプを使った、幅215mmの3kW機です。幅が狭く、ラックの場所をとりません。冷却は水冷と空冷を併用するので、冷却水の配管を用意します。	周波数帯 13.56MHz 周波数 13.56MHz 定格出力 3kW 入力電源三相AC200V、4kVA 冷却方式水冷空冷併用式外形寸法奥行480mm×幅215mm×高さ146mm 出力コネクタ HN型記載なし質量・パルス出力	公式ページへ詳細・仕様
高い周波数（27.12MHz以上） 2製品
株式会社アドテックプラズマテクノロジー27.12MHz高周波電源 TXR 10000W27.12MHzで大きな出力を使う装置口コミを書く	要見積	27.12MHzで10000Wを出せる型で、この表で定格出力がもっとも大きい製品です。通信はEtherCATも選べるので、装置側の制御に合わせやすくなります。質量は81kgあり、冷却は強制空冷と水冷を併用します。	周波数帯高い周波数（27.12MHz以上）周波数 27.12MHz 定格出力 10,000W 入力電源三相AC200-240V 冷却方式強制空冷+⁠⁠⁠水冷外形寸法幅430mm×奥行700mm×高さ265mm 質量 81kg パルス出力オプションで付けられる記載なし出力コネクタ	公式ページへ詳細・仕様
株式会社ダイヘン60MHz高周波電源 AGAシリーズ60MHzを使う先端の半導体プロセス口コミを書く	要見積	この表で周波数がもっとも高い60MHzのシリーズです。3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも使えると案内しています。2レベルのパルスを1Hzから100kHzで出せます。	周波数帯高い周波数（27.12MHz以上）周波数 60MHz 定格出力 500W、1kW、2kW、3kW、5kW 外形寸法幅215mm・420mm、高さ133mm・222mm、奥行430mm・500mm パルス出力 1Hz-100kHz、2レベル記載なし入力電源・冷却方式・質量・出力コネクタ	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）

低い周波数（400kHz〜4MHz）2製品

株式会社アドテックプラズマテクノロジー

2MHz高周波電源 TXM 5000W

2MHzで大きな出力を使うプロセス

2MHzで5000Wを出せる、TXMシリーズの大きいほうの型です。三相AC200-240Vで動き、冷却は強制空冷と水冷を併用します。パルスと周波数可変はオプションで付けられます。

コスト要見積

周波数帯: 低い周波数（400kHz〜4MHz）
周波数: 2MHz
定格出力: 5,000W
入力電源: 三相AC200-240V
冷却方式: 強制空冷+⁠⁠⁠水冷
外形寸法: 幅430mm×奥行650mm×高さ221mm
質量: 56kg
パルス出力: オプションで付けられる
記載なし: 出力コネクタ

400kHzを空冷の小型機で使う装置

400kHzを単相200-220Vの空冷で動かせる型です。高さ88mmと低く、14kgで済みます。出力はMOS-FET方式です。

コスト要見積

周波数帯: 低い周波数（400kHz〜4MHz）
周波数: 400kHz
定格出力: 1.50kW
入力電源: 単相200-220V、2.0kVA以下
冷却方式: 強制空冷
外形寸法: 幅480mm×高さ88mm×奥行430mm
質量: 14kg
出力コネクタ: C型
記載なし: パルス出力

13.56MHz8製品

スパッタやCVDの開発で1kWを使う

オール・ソリッドステートで1kWを連続で出せる空冷機です。RFスパッタリングやプラズマCVDのプラズマ発生に使えます。出力は外部入力によるリニア制御で動かせます。

コスト要見積

周波数帯: 13.56MHz
周波数: 13.56MHz±1kHz
定格出力: 10W〜1kW、1kW連続
入力電源: 三相AC200〜260V、1.5kW最大
冷却方式: 強制空冷
質量: 15kg
出力コネクタ: N型
記載なし: 外形寸法・パルス出力

研究室の小型プラズマ源と組み合わせる

単相AC100Vから使える300W機で、質量は2.9kgです。手動の実験用プラズマ源から自動制御のプラズマ源まで使えると案内しています。保護機能として、高反射のときは出力を制限します。

コスト要見積

周波数帯: 13.56MHz
周波数: 13.56MHz±1kHz
定格出力: 10〜300W、300W連続
入力電源: 単相AC100〜240V、450W最大
冷却方式: 強制空冷
質量: 2.9kg
出力コネクタ: BNC型
記載なし: 外形寸法・パルス出力

整合の制御を電源に任せたい装置

電源の本体にオートマッチングコントローラの機能を持つ型です。専用のマッチングボックスとつなげば、電力の制御と整合の制御を電源側でまとめられます。冷却水を使わずに1000Wを出せます。

コスト要見積

周波数帯: 13.56MHz
周波数: 13.56MHz
定格出力: 1000W
入力電源: 単相AC200V-220V、1.8kVA以下
冷却方式: 強制空冷、冷却水不要
外形寸法: 幅240mm×奥行495mm×高さ150mm
質量: 約11kg
出力コネクタ: N型
記載なし: パルス出力

5000Wで整合も電源で制御する装置

5000Wの出力でも、電源の本体でマッチングボックスの制御までまとめられます。適合規格にCE、KC、RoHSを載せています。冷却水は6L/minを流します。

コスト要見積

周波数帯: 13.56MHz
周波数: 13.56MHz
定格出力: 5000W
入力電源: 3相AC200V-220V、8kVA以下
冷却方式: 強制空冷+水冷、流量6L/min
外形寸法: 幅480mm×奥行500mm×高さ150mm
質量: 約23kg
出力コネクタ: DIN 7/16
記載なし: パルス出力

3.5kWを小さく収めたい水冷の装置

3.5kWを質量15kg、奥行377mmに収めた水冷の型です。京三の高周波電源はD級RFアンプを心臓部にしています。冷却水は4L/分を流します。

コスト要見積

周波数帯: 13.56MHz
周波数: 13.56MHz
定格出力: 3.5kW
入力電源: 三相200-220V、4.7kVA以下
冷却方式: 水冷、4L/分
外形寸法: 幅215mm×高さ133mm×奥行377mm
質量: 15kg
出力コネクタ: HN型
記載なし: パルス出力

13.56MHzで省電力を重く見る装置

ダイヘンの標準タイプで、省電力設計をうたう小型の型です。5kWで高さ133mmに収まるので、ラックの段数を抑えられます。パルスは1Hzから100kHzまで使えます。

コスト要見積

周波数帯: 13.56MHz
周波数: 13.56MHz
定格出力: 5kW
冷却方式: 強制空冷+⁠⁠⁠水冷
外形寸法: 幅420mm×奥行440mm×高さ133mm
質量: 39kg
パルス出力: 1Hz-100kHz、1レベル
記載なし: 入力電源・出力コネクタ

冷却水なしで1kWを使う装置

高効率アンプを使った空冷の1kW機です。冷却水の配管を引かずに置けます。オプションで同時励起を選べます。

コスト要見積

周波数帯: 13.56MHz
周波数: 13.56MHz
定格出力: 1kW
入力電源: 三相AC200V、2.5kVA
冷却方式: 空冷式
外形寸法: 奥行410mm×幅480mm×高さ146mm
出力コネクタ: HN型
記載なし: 質量・パルス出力

3kWを細いラックに収めたい装置

高効率アンプを使った、幅215mmの3kW機です。幅が狭く、ラックの場所をとりません。冷却は水冷と空冷を併用するので、冷却水の配管を用意します。

コスト要見積

周波数帯: 13.56MHz
周波数: 13.56MHz
定格出力: 3kW
入力電源: 三相AC200V、4kVA
冷却方式: 水冷空冷併用式
外形寸法: 奥行480mm×幅215mm×高さ146mm
出力コネクタ: HN型
記載なし: 質量・パルス出力

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高い周波数（27.12MHz以上）2製品

株式会社アドテックプラズマテクノロジー

27.12MHz高周波電源 TXR 10000W

27.12MHzで大きな出力を使う装置

27.12MHzで10000Wを出せる型で、この表で定格出力がもっとも大きい製品です。通信はEtherCATも選べるので、装置側の制御に合わせやすくなります。質量は81kgあり、冷却は強制空冷と水冷を併用します。

コスト要見積

周波数帯: 高い周波数（27.12MHz以上）
周波数: 27.12MHz
定格出力: 10,000W
入力電源: 三相AC200-240V
冷却方式: 強制空冷+⁠⁠⁠水冷
外形寸法: 幅430mm×奥行700mm×高さ265mm
質量: 81kg
パルス出力: オプションで付けられる
記載なし: 出力コネクタ

60MHzを使う先端の半導体プロセス

この表で周波数がもっとも高い60MHzのシリーズです。3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも使えると案内しています。2レベルのパルスを1Hzから100kHzで出せます。

コスト要見積

周波数帯: 高い周波数（27.12MHz以上）
周波数: 60MHz
定格出力: 500W、1kW、2kW、3kW、5kW
外形寸法: 幅215mm・420mm、高さ133mm・222mm、奥行430mm・500mm
パルス出力: 1Hz-100kHz、2レベル
記載なし: 入力電源・冷却方式・質量・出力コネクタ

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詳細・仕様カタログ（PDF）口コミを書く

出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/denki/rf-power-supply/／各社の公式資料（2026年11月7日確認）

Q&A

高周波電源選びで、よくある疑問

購買担当の疑問高周波電源の価格は、いくら？

表の12製品は、公式に価格を出していません。周波数・定格出力・冷却方式を決めて、メーカーに見積もりを取ります。

設備担当の疑問高周波電源の種類と違いは？

周波数で分かれます。400kHzから4MHzの低い周波数、13.56MHz、27.12MHz以上の高い周波数の3つです。ダイヘンは400kHzから60MHzまでをそろえ、ノダRFテクノロジーズの公式の一覧は13.56MHzの電源です。

設備担当の疑問13.56MHzの高周波電源は、どんな出力がある？

表では、アリオスのRP-301が300W、ノダRFのNR1N-xxとアルバックのRFS-1310Nが1kW、京三のRFK35TSが3.5kW、ダイヘンのRGA-50が5kWです。ダイヘンのRGAシリーズは30kWまであります。

設備担当の疑問400kHzや2MHzの高周波電源は、どこが作っている？

表では、京三のHFK15TPが400kHzで1.50kW、アドテックのTXMが2MHzで5000Wです。ダイヘンはMGAが400kHz、WGAが2MHz、TGAが4MHzで、どれも500W～20kWです。

施設管理の疑問空冷と水冷の違いは？

空冷は冷却水の配管を引かずに置けます。表では1kWのNR1N-xxや1000WのRFS-1310Nが空冷です。3kWのNR3N-xxや5000WのRFS-1350Nは水冷を併用し、RFS-1350Nは流量6L/minを流します。

施設管理の疑問入力電源は単相と三相のどちら？

型で決まります。アリオスのRP-301は単相AC100〜240V、京三のHFK15TPは単相200-220V、アルバックのRFS-1350NやノダRFのNR3N-xxは三相です。入力容量はRFS-1350Nで8kVA以下です。

設備担当の疑問高周波電源と整合器の関係は？

整合器は負荷に効率よく電力を送るため、インピーダンスを調整する装置です。ノダRFの電源は50Ωで最大効率になるように設計しています。アルバックのRFS-Nは電源の本体で整合の制御までまとめられます。

工場長の疑問反射電力で高周波電源は壊れる？

アドテックのTXシリーズは高反射に耐えるAB級リニアAMPを使い、アリオスのRPシリーズは高反射のときに出力を制限します。ノダRFの解説では、整合器の2つの可変素子を調整して反射電力を最小に下げます。

設備担当の疑問パルス出力はできる？

できる型があります。ダイヘンのRGA-50は1Hzから100kHzの1レベル、AGAシリーズは同じ範囲で2レベルです。アドテックのTXRとTXMはオプションで付けられます。

工場長の疑問高周波電源の寿命や故障は？

アリオスの解説では、RFは大電力を除きソリッドステートなので、寿命の問題はあまり心配ありません。トラブルで多いのはマッチングボックスの焼損です。不調のときは素子の焼損を見ます。

施設管理の疑問高周波ノイズが漏れたときの対策は？

ノダRFテクノロジーズの解説では、接地は高周波ノイズの対策になりません。導体で囲うシールド、配線の見直しを進め、それでも残るならフィルタで不要な周波数を切ります。

TYPES

高周波電源の周波数帯の違い

低い周波数（400kHz〜4MHz）

400kHz・2MHz・4MHzの型です。ダイヘンはこの3つの周波数をMGA・WGA・TGAの各シリーズで500W～20kWまでそろえています。表では、京三のHFK15TPが400kHzの空冷機、アドテックのTXMが2MHzで5000Wの水冷併用機です。

向いている使い方

プロセスで400kHzや2MHzを指定されている
他の周波数と組み合わせる装置を組む
400kHzを空冷の小型機で使いたい

根拠：ダイヘンの400kHz MGAシリーズは、500W～20kWで、パルス機能を搭載しています。（出典2）

この周波数帯の2製品を表で見る

13.56MHz

載せた6社すべてが公式に出している周波数です。表では300WのRP-301から5kWのRGA-50・RFS-1350Nまであり、ダイヘンのRGAシリーズは30kWまで出しています。アルバックのRFS-Nは、電源の本体で整合の制御までまとめられます。

向いている使い方

研究用のスパッタやプラズマ源に使う
量産の装置に1kWから5kWの電源を載せる
整合の制御を電源にまとめたい

根拠：ダイヘンの13.56MHz RGAシリーズは500W～30kWで、標準タイプと高機能タイプがあります。（出典3）

この周波数帯の8製品を表で見る

高い周波数（27.12MHz以上）

27.12MHz・40.68MHz・60MHzの型です。表では、アドテックのTXRが27.12MHzで10000W、ダイヘンのAGAシリーズが60MHzで5kWまで出します。ダイヘンは60MHzのAGAを3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも案内しています。

向いている使い方

プロセスで27.12MHz以上を指定されている
先端の半導体プロセスの開発
27.12MHzで大きな出力を使う

根拠：ダイヘンの60MHz AGAシリーズは、3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも対応しています。（出典4）

この周波数帯の2製品を表で見る

MAKERS

高周波電源の主なメーカー6社

半導体・FPDの製造装置やスパッタリング、プラズマCVDでプラズマを作る高周波電源（RF電源）を、自社で作る日本の会社の公式の製品ページで確かめて載せました。周波数は400kHzから60MHzまでです。金属を温める誘導加熱装置は誘導加熱装置のページ、電源と負荷を合わせる整合器は整合器のページ、2.45GHzのマイクロ波電源はこのページの対象外です。アイメックス、第一機電は加熱用の案内が中心なので除きました。サムウエイは公式の製品ページが保守中で確かめられず除きました。Advanced Energy、Comet、MKS Instruments、TRUMPFは、日本語の公式ページで製品と日本法人の両方を確かめられず除きました。

高周波電源を作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

高周波電源のメーカー6社比較【2026年】

高周波電源とは

製品の特長

使うメリット

選ぶときに注意すること