整合器のメーカー7社比較【2026年】

値段を公式に出しているメーカーは、この表にありません。ダイヘンの13.56MHz自動整合器はカスタム品と書かれていて、周波数と通過電力を伝えて見積もりをとります。ノダRFテクノロジーズの手動整合器 NM05ML-xx は、自動整合器より安く作れるとメーカーが書いています。

電源と負荷のインピーダンスを合わせて、反射波電力を減らすためです。プラズマは状態で負荷が変わるので、合わないと電力が負荷に入りません。ミクロ電子の手動EHチューナ TM-5000/M は、負荷VSWR＝7を1.2以下まで整合します。

使う電源の周波数と作りが違います。高周波はダイヘンのRGAシリーズの13.56MHzやアドテックプラズマテクノロジーのAMVGシリーズの380kHz～40.68MHzで、マイクロ波は日本高周波やニッシンの2450MHz帯です。マイクロ波は導波管や同軸に入れる作りになります。

導波管に付ける可動部の数と置き方の違いです。日本高周波の3Eマイクロ波自動整合器はE面に3個の可動短絡器を置きます。4Eの AMC-0801 は負荷VSWR10以下の全位相を途切れずに整合し、ニッシンの Piat-XX-2PM-CE はEHスタブ方式です。

モータで自動で追いかけるか、人が見て動かすかの違いです。負荷が工程の途中で動くなら自動を選びます。手動はプラズマアプリケーションズの DST-2450200-01 のように小型軽量で低価格の型があり、試験の装置に合います。

高周波の自動はダイヘンのRGAシリーズとアドテックプラズマテクノロジーのAMVGシリーズが30kWまで受けます。マイクロ波は日本高周波の2機種が5kWまで、ニッシンのPiatはVSWR5以下で6000Wまでです。小電力ならプラズマアプリケーションズの200Wの同軸の型があります。

公式の値は、ダイヘンの13.56MHzが3秒以内、2.45GHzが2秒以内、日本高周波の AMC-0801 が2秒以内、ニッシンのPiatが2秒以下です。ダイヘンの値はダミーロードでの自社試験の結果なので、実際の負荷では確かめます。

高周波の型はコネクタと出力の形を見ます。ノダRFの NM3A-xx は入力がHN型で出力が銅板です。マイクロ波の導波管の型はフランジを見ます。日本高周波の3Eは TBR-2A2相当、ミクロ電子の TM-5000/M は FUDR22（BRJ-2）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

型によって違います。ダイヘンの2.45GHz自動整合器は水冷で、日本高周波の2機種とニッシンのPiatは自然空冷で水を引かずに使えます。ノダRFの NM3A-xx は2kW～3kWで空冷と水冷を併用します。

動かせる型があります。アドテックプラズマテクノロジーのAMVGシリーズはパソコンで操作と計測ができ、日本高周波の3EはRS-232CとアナログI/Oを持ちます。プラズマアプリケーションズの ADS-2450200-01 はシーケンサにつなげ、スラグ位置を10個まで覚えます。