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整合器高周波の自動整合器

自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズ

株式会社アドテックプラズマテクノロジー

380kHz～40.68MHz・300W～30kWの自動整合装置。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
高周波の自動整合器
向いている所
380kHz～40.68MHzの広い周波数
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比較表での位置

自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズは、整合器のメーカー7社比較⁠の種類「高周波の自動整合器」の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
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  • 3製品同じ種類
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自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの強みと方式

周波数は380kHzから40.68MHzまで、通過電力は300Wから30kWまでの幅で選べます。パソコンで操作と計測ができるAMVソフトが標準で付きます。I/F・外観サイズ・整合範囲は要望に合わせてカスタムを相談できます。

向いている所380kHz～40.68MHzの広い周波数

種類：高周波の自動整合器

380kHzから60MHzまでの高周波電源と電極の間に入れ、バリコンをモータで動かして合わせる型です。プラズマの状態で負荷が動いても、自動で追いかけます。半導体や液晶の製造装置に多く使います。

自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの仕様

種類
高周波の自動整合器
周波数
380kHz～40.68MHz
通過電力
300W～30kW
整合のしくみ
—公式資料で確認できず
整合の精度
—公式資料で確認できず
整合速度
—公式資料で確認できず
接続
—公式資料で確認できず
冷却
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
大きさ
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
操作・制御
パソコンで操作・計測、AMVソフト標準
電源
単相AC100-200V（50-60Hz）、DC24V

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズ株式会社アドテックプラズマテクノロジー13.56MHz自動整合器 RGAシリーズ株式会社ダイヘン自動整合器 NM3A-xx株式会社ノダRFテクノロジーズ
種類高周波の自動整合器高周波の自動整合器高周波の自動整合器
周波数380kHz～40.68MHz13.56MHz13.56MHz
通過電力300W～30kW500W～30kW3000W
整合のしくみ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず真空バリコン
整合の精度—公式資料で確認できず1%以内（電力比）—公式資料で確認できず
整合速度—公式資料で確認できず3秒以内—公式資料で確認できず
接続—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず入力HN型、出力は銅板
冷却—公式資料で確認できず水冷、強制空冷空冷水冷併用（2kW～3kW）
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
操作・制御パソコンで操作・計測、AMVソフト標準PC接続でモニタ、整合パラメータ設定ハンディーコントローラ付属
電源単相AC100-200V（50-60Hz）、DC24V—公式資料で確認できずAC100～200V、単相

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自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズのよくある質問

Q.自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズはどんな人に向いている？
自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズは、380kHz～40.68MHzの広い周波数に使う人向けです。自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの周波数は380kHzから40.68MHzまで、通過電力は300Wから30kWまでの幅で選べます。
Q.自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの強みは？
自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズは、パソコンで操作と計測ができるAMVソフトが標準で付きます。I/F・外観サイズ・整合範囲は要望に合わせてカスタムを相談できます。
Q.自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズはどんな方式？
自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの種類は高周波の自動整合器です。380kHzから60MHzまでの高周波電源と電極の間に入れ、バリコンをモータで動かして合わせる型です。
Q.自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの主な仕様は？
自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの周波数は380kHz～40.68MHz、通過電力は300W～30kWです。操作・制御はパソコンで操作・計測、AMVソフト標準、電源は単相AC100-200V（50-60Hz）、DC24Vです。
Q.自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズと13.56MHz自動整合器 RGAシリーズはどっちがいい？
380kHz～40.68MHzの広い周波数なら自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズ、13.56MHzの大電力プラズマならダイヘンの13.56MHz自動整合器 RGAシリーズです。自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの周波数は380kHz～40.68MHz、通過電力は300W～30kWです。ダイヘンの13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの周波数は13.56MHz、通過電力は500W～30kWです。
Q.自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズと自動整合器 NM3A-xxはどっちがいい？
380kHz～40.68MHzの広い周波数なら自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズ、装置のそばで調整したい13.56MHzならノダRFテクノロジーズの自動整合器 NM3A-xxです。自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの周波数は380kHz～40.68MHz、通過電力は300W～30kWです。ノダRFテクノロジーズの自動整合器 NM3A-xxの周波数は13.56MHz、通過電力は3000Wです。
Q.自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズはどこのメーカー？
自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズは株式会社アドテックプラズマテクノロジーの製品です。アドテックプラズマテクノロジーの主な製品分野は整合器です。

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