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整合器高周波の自動整合器

自動整合器 NM3A-xx

株式会社ノダRFテクノロジーズ

13.56MHz・3000Wの自動整合器。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
高周波の自動整合器
向いている所
装置のそばで調整したい13.56MHz
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比較表での位置

自動整合器 NM3A-xxは、整合器のメーカー7社比較⁠の種類「高周波の自動整合器」の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
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  • 3製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
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自動整合器 NM3A-xx​の強みと方式

手元で調整できるハンディーコントローラが付くのがこの型の違いです。同じ系列に1000Wと2000Wの型があり、3000Wまでの高周波電源に合わせて選べます。バリコンは真空バリコンで、2kWより上は空冷と水冷を併用します。

向いている所装置のそばで調整したい13.56MHz

種類：高周波の自動整合器

380kHzから60MHzまでの高周波電源と電極の間に入れ、バリコンをモータで動かして合わせる型です。プラズマの状態で負荷が動いても、自動で追いかけます。半導体や液晶の製造装置に多く使います。

自動整合器 NM3A-xx​の仕様

種類
高周波の自動整合器
周波数
13.56MHz
通過電力
3000W
整合のしくみ
真空バリコン
整合の精度
—公式資料で確認できず
整合速度
—公式資料で確認できず
接続
入力HN型、出力は銅板
冷却
空冷水冷併用（2kW～3kW）
価格
—公式資料で確認できず
大きさ
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
操作・制御
ハンディーコントローラ付属
電源
AC100～200V、単相

同じ系列にNM1A-xx（1000W）⁠・NM2A-xx（2000W）

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

自動整合器 NM3A-xx株式会社ノダRFテクノロジーズ自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズ株式会社アドテックプラズマテクノロジー13.56MHz自動整合器 RGAシリーズ株式会社ダイヘン
種類高周波の自動整合器高周波の自動整合器高周波の自動整合器
周波数13.56MHz380kHz～40.68MHz13.56MHz
通過電力3000W300W～30kW500W～30kW
整合のしくみ真空バリコン—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
整合の精度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず1%以内（電力比）
整合速度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず3秒以内
接続入力HN型、出力は銅板—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
冷却空冷水冷併用（2kW～3kW）—公式資料で確認できず水冷、強制空冷
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
操作・制御ハンディーコントローラ付属パソコンで操作・計測、AMVソフト標準PC接続でモニタ、整合パラメータ設定
電源AC100～200V、単相単相AC100-200V（50-60Hz）、DC24V—公式資料で確認できず

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自動整合器 NM3A-xx​のよくある質問

Q.自動整合器 NM3A-xxはどんな人に向いている？
自動整合器 NM3A-xxは、装置のそばで調整したい13.56MHzに使う人向けです。自動整合器 NM3A-xxは、手元で調整できるハンディーコントローラが付くのがこの型の違いです。
Q.自動整合器 NM3A-xxの強みは？
自動整合器 NM3A-xxは、同じ系列に1000Wと2000Wの型があり、3000Wまでの高周波電源に合わせて選べます。バリコンは真空バリコンで、2kWより上は空冷と水冷を併用します。
Q.自動整合器 NM3A-xxはどんな方式？
自動整合器 NM3A-xxの種類は高周波の自動整合器です。380kHzから60MHzまでの高周波電源と電極の間に入れ、バリコンをモータで動かして合わせる型です。
Q.自動整合器 NM3A-xxの主な仕様は？
自動整合器 NM3A-xxの周波数は13.56MHz、通過電力は3000Wです。整合のしくみは真空バリコン、接続は入力HN型、出力は銅板です。
Q.自動整合器 NM3A-xxと自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズはどっちがいい？
装置のそばで調整したい13.56MHzなら自動整合器 NM3A-xx、380kHz～40.68MHzの広い周波数ならアドテックプラズマテクノロジーの自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズです。自動整合器 NM3A-xxの周波数は13.56MHz、通過電力は3000Wです。アドテックプラズマテクノロジーの自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの周波数は380kHz～40.68MHz、通過電力は300W～30kWです。
Q.自動整合器 NM3A-xxの冷却は？
自動整合器 NM3A-xxの冷却は空冷水冷併用（2kW～3kW）⁠で⁠す⁠。ダイヘンの13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの冷却は水冷、強制空冷です。
Q.自動整合器 NM3A-xxの操作・制御は？
自動整合器 NM3A-xxの操作・制御はハンディーコントローラ付属です。アドテックプラズマテクノロジーの自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの操作・制御はパソコンで操作・計測、AMVソフト標準です。
Q.自動整合器 NM3A-xxと13.56MHz自動整合器 RGAシリーズはどっちがいい？
装置のそばで調整したい13.56MHzなら自動整合器 NM3A-xx、13.56MHzの大電力プラズマならダイヘンの13.56MHz自動整合器 RGAシリーズです。自動整合器 NM3A-xxの周波数は13.56MHz、通過電力は3000Wです。ダイヘンの13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの周波数は13.56MHz、通過電力は500W～30kWです。
Q.自動整合器 NM3A-xxのほかにノダRFテクノロジーズの整合器はある？
あります。ノダRFテクノロジーズの整合器には、自動整合器 NM3A-xxのほかに手動整合器 NM05ML-xx（周波数は13.56MHz）があります。
Q.自動整合器 NM3A-xxはどこのメーカー？
自動整合器 NM3A-xxは株式会社ノダRFテクノロジーズの製品です。13.56MHzの高周波電源と自動整合器・手動整合器を作っています。

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