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整合器高周波の自動整合器

13.56MHz自動整合器 RGAシリーズ

株式会社ダイヘン

13.56MHz・500W~30kWの自動整合器。

価格
公開価格なし(見積もり)
種類
高周波の自動整合器
向いている所
13.56MHzの大電力プラズマ
カタログ
あり(PDF)

比較表での位置

13.56MHz自動整合器 RGAシリーズは、整合器のメーカー7社比較⁠の種類「高周波の自動整合器」の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 11製品比較表の製品
  • 3製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
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13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの強みと方式

許容通過電力は500Wから30kWまでと幅が広く、大電力の装置まで使えます。同じ13.56MHzの高周波電源RGAシリーズとそろえて組めます。仕様は個別対応のカスタム品なので、接続や寸法は問い合わせで決めます。

向いている所13.56MHzの大電力プラズマ

種類:高周波の自動整合器

380kHzから60MHzまでの高周波電源と電極の間に入れ、バリコンをモータで動かして合わせる型です。プラズマの状態で負荷が動いても、自動で追いかけます。半導体や液晶の製造装置に多く使います。

13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの仕様

種類
高周波の自動整合器
周波数
13.56MHz
通過電力
500W~30kW
整合のしくみ
—公式資料で確認できず
整合の精度
1%以内(電力比)
整合速度
3秒以内
接続
—公式資料で確認できず
冷却
水冷、強制空冷
価格
—公式資料で確認できず
大きさ
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
操作・制御
PC接続でモニタ、整合パラメータ設定
電源
—公式資料で確認できず

カタログに自動整合器はカスタム品とある

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

13.56MHz自動整合器 RGAシリーズ株式会社ダイヘン自動整合器 NM3A-xx株式会社ノダRFテクノロジーズ自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズ株式会社アドテックプラズマテクノロジー
種類高周波の自動整合器高周波の自動整合器高周波の自動整合器
周波数13.56MHz13.56MHz380kHz~40.68MHz
通過電力500W~30kW3000W300W~30kW
整合のしくみ—公式資料で確認できず真空バリコン—公式資料で確認できず
整合の精度1%以内(電力比)—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
整合速度3秒以内—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
接続—公式資料で確認できず入力HN型、出力は銅板—公式資料で確認できず
冷却水冷、強制空冷空冷水冷併用(2kW~3kW)—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
操作・制御PC接続でモニタ、整合パラメータ設定ハンディーコントローラ付属パソコンで操作・計測、AMVソフト標準
電源—公式資料で確認できずAC100~200V、単相単相AC100-200V(50-60Hz)、DC24V

整合器の11製品を比較表で見る

13.56MHz自動整合器 RGAシリーズのよくある質問

Q.13.56MHz自動整合器 RGAシリーズはどんな人に向いている?
13.56MHz自動整合器 RGAシリーズは、13.56MHzの大電力プラズマに使う人向けです。13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの許容通過電力は500Wから30kWまでと幅が広く、大電力の装置まで使えます。
Q.13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの強みは?
13.56MHz自動整合器 RGAシリーズは、同じ13.56MHzの高周波電源RGAシリーズとそろえて組めます。仕様は個別対応のカスタム品なので、接続や寸法は問い合わせで決めます。
Q.13.56MHz自動整合器 RGAシリーズはどんな方式?
13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの種類は高周波の自動整合器です。380kHzから60MHzまでの高周波電源と電極の間に入れ、バリコンをモータで動かして合わせる型です。
Q.13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの主な仕様は?
13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの周波数は13.56MHz、通過電力は500W~30kWです。整合の精度は1%以内(電力比)、整合速度は3秒以内です。
Q.13.56MHz自動整合器 RGAシリーズと自動整合器 NM3A-xxはどっちがいい?
13.56MHzの大電力プラズマなら13.56MHz自動整合器 RGAシリーズ、装置のそばで調整したい13.56MHzならノダRFテクノロジーズの自動整合器 NM3A-xxです。13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの周波数は13.56MHz、通過電力は500W~30kWです。ノダRFテクノロジーズの自動整合器 NM3A-xxの周波数は13.56MHz、通過電力は3000Wです。
Q.13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの冷却は?
13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの冷却は水冷、強制空冷です。ノダRFテクノロジーズの自動整合器 NM3A-xxの冷却は空冷水冷併用(2kW~3kW)⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの操作・制御は?
13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの操作・制御はPC接続でモニタ、整合パラメータ設定です。ノダRFテクノロジーズの自動整合器 NM3A-xxの操作・制御はハンディーコントローラ付属です。
Q.13.56MHz自動整合器 RGAシリーズと自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズはどっちがいい?
13.56MHzの大電力プラズマなら13.56MHz自動整合器 RGAシリーズ、380kHz~40.68MHzの広い周波数ならアドテックプラズマテクノロジーの自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズです。13.56MHz自動整合器 RGAシリーズの周波数は13.56MHz、通過電力は500W~30kWです。アドテックプラズマテクノロジーの自動インピーダンス整合装置 AMVGシリーズの周波数は380kHz~40.68MHz、通過電力は300W~30kWです。
Q.13.56MHz自動整合器 RGAシリーズのほかにダイヘンの整合器はある?
あります。ダイヘンの整合器には、13.56MHz自動整合器 RGAシリーズのほかに2.45GHz自動整合器 SMAシリーズ(周波数は2460±30MHz)があります。
Q.13.56MHz自動整合器 RGAシリーズはどこのメーカー?
13.56MHz自動整合器 RGAシリーズは株式会社ダイヘンの製品です。登記上の本店は〒532-0027 大阪府大阪市淀川区田川2丁目1番11号。ダイヘンの主な製品分野は搬送ロボット・溶接機・蓄電池・スコットトランスです。

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