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高周波電源高い周波数（27.12MHz以上）

27.12MHz高周波電源 TXR 10000W

株式会社アドテックプラズマテクノロジー

27.12MHz・定格10000Wの高周波電源。

価格
公開価格なし（見積もり）
周波数帯
高い周波数（27.12MHz以上）
向いている所
27.12MHzで大きな出力を使う装置
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比較表での位置

27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wは、高周波電源のメーカー6社比較⁠の周波数帯が高い周波数（27.12MHz以上）の2製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 12製品比較表の製品
  • 2製品同じ周波数帯
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27.12MHz高周波電源 TXR 10000W​の強みと方式

27.12MHzで10000Wを出せる型で、この表で定格出力がもっとも大きい製品です。通信はEtherCATも選べるので、装置側の制御に合わせやすくなります。質量は81kgあり、冷却は強制空冷と水冷を併用します。

向いている所27.12MHzで大きな出力を使う装置

周波数帯：高い周波数（27.12MHz以上）

27.12MHz・40.68MHz・60MHzの型です。表では、アドテックのTXRが27.12MHzで10000W、ダイヘンのAGAシリーズが60MHzで5kWまで出します。ダイヘンは60MHzのAGAを3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも案内しています。

27.12MHz高周波電源 TXR 10000W​の仕様

周波数帯
高い周波数（27.12MHz以上）
周波数
27.12MHz
定格出力
10,000W
入力電源
三相AC200-240V
冷却方式
強制空冷+⁠⁠⁠水冷
外形寸法
幅430mm×奥行700mm×高さ265mm
価格
—公式資料で確認できず
質量
81kg
出力コネクタ
—公式資料で確認できず
パルス出力
オプションで付けられる

TXRシリーズの13.56MHzは300W・600W・1000W・3000W。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

27.12MHz高周波電源 TXR 10000W株式会社アドテックプラズマテクノロジー60MHz高周波電源 AGAシリーズ株式会社ダイヘンRFジェネレータ HFK15TP株式会社京三製作所
周波数帯高い周波数（27.12MHz以上）高い周波数（27.12MHz以上）低い周波数（400kHz〜4MHz）
周波数27.12MHz60MHz400kHz
定格出力10,000W500W、1kW、2kW、3kW、5kW1.50kW
入力電源三相AC200-240V—公式資料で確認できず単相200-220V、2.0kVA以下
冷却方式強制空冷+⁠⁠⁠⁠⁠⁠水冷—公式資料で確認できず強制空冷
外形寸法幅430mm×奥行700mm×高さ265mm幅215mm・420mm、高さ133mm・222mm、奥行430mm・500mm幅480mm×高さ88mm×奥行430mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量81kg—公式資料で確認できず14kg
出力コネクタ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずC型
パルス出力オプションで付けられる1Hz-100kHz、2レベル—公式資料で確認できず

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27.12MHz高周波電源 TXR 10000W​のよくある質問

Q.27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wはどんな人に向いている？
27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wは、27.12MHzで大きな出力を使う装置に使う人向けです。27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wは、27.12MHzで10000Wを出せる型で、この表で定格出力がもっとも大きい製品です。
Q.27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの強みは？
27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの通信はEtherCATも選べるので、装置側の制御に合わせやすくなります。質量は81kgあり、冷却は強制空冷と水冷を併用します。
Q.27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wはどんな方式？
27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの周波数帯は高い周波数（27.12MHz以上）で⁠す⁠。27.12MHz・40.68MHz・60MHzの型です。
Q.27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの主な仕様は？
27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの周波数は27.12MHz、定格出力は10,000Wです。入力電源は三相AC200-240V、冷却方式は強制空冷+水冷です。
Q.27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wと60MHz高周波電源 AGAシリーズはどっちがいい？
27.12MHzで大きな出力を使う装置なら27.12MHz高周波電源 TXR 10000W、60MHzを使う先端の半導体プロセスならダイヘンの60MHz高周波電源 AGAシリーズです。27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの周波数は27.12MHz、定格出力は10,000Wです。ダイヘンの60MHz高周波電源 AGAシリーズの周波数は60MHz、定格出力は500W、1kW、2kW、3kW、5kWです。
Q.27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの質量は？
27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの質量は81kgです。京三製作所のRFジェネレータ HFK15TPの質量は14kgです。
Q.27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの外形寸法は？
27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの外形寸法は幅430mm×奥行700mm×高さ265mmです。ダイヘンの60MHz高周波電源 AGAシリーズの外形寸法は幅215mm・420mm、高さ133mm・222mm、奥行430mm・500mmです。
Q.27.12MHz高周波電源 TXR 10000WとRFジェネレータ HFK15TPはどっちがいい？
27.12MHzで大きな出力を使う装置なら27.12MHz高周波電源 TXR 10000W、400kHzを空冷の小型機で使う装置なら京三製作所のRFジェネレータ HFK15TPです。27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの周波数は27.12MHz、定格出力は10,000Wです。京三製作所のRFジェネレータ HFK15TPの周波数は400kHz、定格出力は1.50kWです。
Q.27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wのほかにアドテックプラズマテクノロジーの高周波電源はある？
あります。アドテックプラズマテクノロジーの高周波電源には、27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wのほかに2MHz高周波電源 TXM 5000W（周波数は2MHz）があります。
Q.27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wはどこのメーカー？
27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wは株式会社アドテックプラズマテクノロジーの製品です。液晶基板や半導体の製造装置に載せるプラズマ用高周波電源とマッチングユニットを作っています。

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