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高周波電源高い周波数（27.12MHz以上）

60MHz高周波電源 AGAシリーズ

株式会社ダイヘン

60MHz・500W〜5kWの高周波電源シリーズ。

価格
公開価格なし（見積もり）
周波数帯
高い周波数（27.12MHz以上）
向いている所
60MHzを使う先端の半導体プロセス
カタログ
あり（PDF）
公式の製品ページを見るカタログ（PDF）比較表で見る

比較表での位置

60MHz高周波電源 AGAシリーズは、高周波電源のメーカー6社比較⁠の周波数帯が高い周波数（27.12MHz以上）の2製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 12製品比較表の製品
  • 2製品同じ周波数帯
  • 0製品公開価格あり
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60MHz高周波電源 AGAシリーズの強みと方式

この表で周波数がもっとも高い60MHzのシリーズです。3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも使えると案内しています。2レベルのパルスを1Hzから100kHzで出せます。

向いている所60MHzを使う先端の半導体プロセス

周波数帯：高い周波数（27.12MHz以上）

27.12MHz・40.68MHz・60MHzの型です。表では、アドテックのTXRが27.12MHzで10000W、ダイヘンのAGAシリーズが60MHzで5kWまで出します。ダイヘンは60MHzのAGAを3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも案内しています。

60MHz高周波電源 AGAシリーズの仕様

周波数帯
高い周波数（27.12MHz以上）
周波数
60MHz
定格出力
500W、1kW、2kW、3kW、5kW
入力電源
—公式資料で確認できず
冷却方式
—公式資料で確認できず
外形寸法
幅215mm・420mm、高さ133mm・222mm、奥行430mm・500mm
価格
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
出力コネクタ
—公式資料で確認できず
パルス出力
1Hz-100kHz、2レベル

公式ページとカタログで寸法が異なるため、公式ページの値を載せた。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

60MHz高周波電源 AGAシリーズ株式会社ダイヘン27.12MHz高周波電源 TXR 10000W株式会社アドテックプラズマテクノロジー2MHz高周波電源 TXM 5000W株式会社アドテックプラズマテクノロジー
周波数帯高い周波数（27.12MHz以上）高い周波数（27.12MHz以上）低い周波数（400kHz〜4MHz）
周波数60MHz27.12MHz2MHz
定格出力500W、1kW、2kW、3kW、5kW10,000W5,000W
入力電源—公式資料で確認できず三相AC200-240V三相AC200-240V
冷却方式—公式資料で確認できず強制空冷+⁠⁠⁠⁠⁠⁠水冷強制空冷+⁠⁠⁠⁠⁠⁠水冷
外形寸法幅215mm・420mm、高さ133mm・222mm、奥行430mm・500mm幅430mm×奥行700mm×高さ265mm幅430mm×奥行650mm×高さ221mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず81kg56kg
出力コネクタ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
パルス出力1Hz-100kHz、2レベルオプションで付けられるオプションで付けられる

高周波電源の12製品を比較表で見る

60MHz高周波電源 AGAシリーズのよくある質問

Q.60MHz高周波電源 AGAシリーズはどんな人に向いている？
60MHz高周波電源 AGAシリーズは、60MHzを使う先端の半導体プロセスに使う人向けです。60MHz高周波電源 AGAシリーズは、この表で周波数がもっとも高い60MHzのシリーズです。
Q.60MHz高周波電源 AGAシリーズの強みは？
60MHz高周波電源 AGAシリーズは、3D NANDやFinFETといった最先端プロセス向けにも使えると案内しています。2レベルのパルスを1Hzから100kHzで出せます。
Q.60MHz高周波電源 AGAシリーズはどんな方式？
60MHz高周波電源 AGAシリーズの周波数帯は高い周波数（27.12MHz以上）で⁠す⁠。27.12MHz・40.68MHz・60MHzの型です。
Q.60MHz高周波電源 AGAシリーズの主な仕様は？
60MHz高周波電源 AGAシリーズの周波数は60MHz、定格出力は500W、1kW、2kW、3kW、5kWです。外形寸法は幅215mm・420mm、高さ133mm・222mm、奥行430mm・500mm、パルス出力は1Hz-100kHz、2レベルです。
Q.60MHz高周波電源 AGAシリーズと27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wはどっちがいい？
60MHzを使う先端の半導体プロセスなら60MHz高周波電源 AGAシリーズ、27.12MHzで大きな出力を使う装置ならアドテックプラズマテクノロジーの27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wです。60MHz高周波電源 AGAシリーズの周波数は60MHz、定格出力は500W、1kW、2kW、3kW、5kWです。アドテックプラズマテクノロジーの27.12MHz高周波電源 TXR 10000Wの周波数は27.12MHz、定格出力は10,000Wです。
Q.60MHz高周波電源 AGAシリーズと2MHz高周波電源 TXM 5000Wはどっちがいい？
60MHzを使う先端の半導体プロセスなら60MHz高周波電源 AGAシリーズ、2MHzで大きな出力を使うプロセスならアドテックプラズマテクノロジーの2MHz高周波電源 TXM 5000Wです。60MHz高周波電源 AGAシリーズの周波数は60MHz、定格出力は500W、1kW、2kW、3kW、5kWです。アドテックプラズマテクノロジーの2MHz高周波電源 TXM 5000Wの周波数は2MHz、定格出力は5,000Wです。
Q.60MHz高周波電源 AGAシリーズのほかにダイヘンの高周波電源はある？
あります。ダイヘンの高周波電源には、60MHz高周波電源 AGAシリーズのほかに13.56MHz高周波電源 RGA-50（周波数は13.56MHz）があります。
Q.60MHz高周波電源 AGAシリーズはどこのメーカー？
60MHz高周波電源 AGAシリーズは株式会社ダイヘンの製品です。登記上の本店は〒532-0027 大阪府大阪市淀川区田川2丁目1番11号。ダイヘンの主な製品分野は溶接ポジショナー・高周波電源・搬送ロボット・溶接機です。

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    1. 株式会社ダイヘン 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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