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高周波電源低い周波数（400kHz〜4MHz）

2MHz高周波電源 TXM 5000W

株式会社アドテックプラズマテクノロジー

2MHz・定格5000Wの高周波電源。

価格
公開価格なし（見積もり）
周波数帯
低い周波数（400kHz〜4MHz）
向いている所
2MHzで大きな出力を使うプロセス
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比較表での位置

2MHz高周波電源 TXM 5000Wは、高周波電源のメーカー6社比較⁠の周波数帯が低い周波数（400kHz〜4MHz）の2製品の1つとして載っています。

  • 6社掲載社数
  • 12製品比較表の製品
  • 2製品同じ周波数帯
  • 0製品公開価格あり
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2MHz高周波電源 TXM 5000W​の強みと方式

2MHzで5000Wを出せる、TXMシリーズの大きいほうの型です。三相AC200-240Vで動き、冷却は強制空冷と水冷を併用します。パルスと周波数可変はオプションで付けられます。

向いている所2MHzで大きな出力を使うプロセス

周波数帯：低い周波数（400kHz〜4MHz）

400kHz・2MHz・4MHzの型です。ダイヘンはこの3つの周波数をMGA・WGA・TGAの各シリーズで500W～20kWまでそろえています。表では、京三のHFK15TPが400kHzの空冷機、アドテックのTXMが2MHzで5000Wの水冷併用機です。

2MHz高周波電源 TXM 5000W​の仕様

周波数帯
低い周波数（400kHz〜4MHz）
周波数
2MHz
定格出力
5,000W
入力電源
三相AC200-240V
冷却方式
強制空冷+⁠⁠⁠水冷
外形寸法
幅430mm×奥行650mm×高さ221mm
価格
—公式資料で確認できず
質量
56kg
出力コネクタ
—公式資料で確認できず
パルス出力
オプションで付けられる

TXMシリーズは2500Wと5000W。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

2MHz高周波電源 TXM 5000W株式会社アドテックプラズマテクノロジーRFジェネレータ HFK15TP株式会社京三製作所RF電源 RP-1K02アリオス株式会社
周波数帯低い周波数（400kHz〜4MHz）低い周波数（400kHz〜4MHz）13.56MHz
周波数2MHz400kHz13.56MHz±1kHz
定格出力5,000W1.50kW10W〜1kW、1kW連続
入力電源三相AC200-240V単相200-220V、2.0kVA以下三相AC200〜260V、1.5kW最大
冷却方式強制空冷+⁠⁠⁠⁠⁠⁠水冷強制空冷強制空冷
外形寸法幅430mm×奥行650mm×高さ221mm幅480mm×高さ88mm×奥行430mm—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量56kg14kg15kg
出力コネクタ—公式資料で確認できずC型N型
パルス出力オプションで付けられる—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

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2MHz高周波電源 TXM 5000W​のよくある質問

Q.2MHz高周波電源 TXM 5000Wはどんな人に向いている？
2MHz高周波電源 TXM 5000Wは、2MHzで大きな出力を使うプロセスに使う人向けです。2MHz高周波電源 TXM 5000Wは、2MHzで5000Wを出せる、TXMシリーズの大きいほうの型です。
Q.2MHz高周波電源 TXM 5000Wの強みは？
2MHz高周波電源 TXM 5000Wは、三相AC200-240Vで動き、冷却は強制空冷と水冷を併用します。パルスと周波数可変はオプションで付けられます。
Q.2MHz高周波電源 TXM 5000Wはどんな方式？
2MHz高周波電源 TXM 5000Wの周波数帯は低い周波数（400kHz〜4MHz）で⁠す⁠。400kHz・2MHz・4MHzの型です。
Q.2MHz高周波電源 TXM 5000Wの主な仕様は？
2MHz高周波電源 TXM 5000Wの周波数は2MHz、定格出力は5,000Wです。入力電源は三相AC200-240V、冷却方式は強制空冷+水冷です。
Q.2MHz高周波電源 TXM 5000WとRFジェネレータ HFK15TPはどっちがいい？
2MHzで大きな出力を使うプロセスなら2MHz高周波電源 TXM 5000W、400kHzを空冷の小型機で使う装置なら京三製作所のRFジェネレータ HFK15TPです。2MHz高周波電源 TXM 5000Wの周波数は2MHz、定格出力は5,000Wです。京三製作所のRFジェネレータ HFK15TPの周波数は400kHz、定格出力は1.50kWです。
Q.2MHz高周波電源 TXM 5000Wの質量は？
2MHz高周波電源 TXM 5000Wの質量は56kgです。京三製作所のRFジェネレータ HFK15TPの質量は14kgです。
Q.2MHz高周波電源 TXM 5000Wの外形寸法は？
2MHz高周波電源 TXM 5000Wの外形寸法は幅430mm×奥行650mm×高さ221mmです。京三製作所のRFジェネレータ HFK15TPの外形寸法は幅480mm×高さ88mm×奥行430mmです。
Q.2MHz高周波電源 TXM 5000WとRF電源 RP-1K02はどっちがいい？
2MHzで大きな出力を使うプロセスなら2MHz高周波電源 TXM 5000W、スパッタやCVDの開発で1kWを使うならアリオスのRF電源 RP-1K02です。2MHz高周波電源 TXM 5000Wの周波数は2MHz、定格出力は5,000Wです。アリオスのRF電源 RP-1K02の周波数は13.56MHz±1kHz、定格出力は10W〜1kW、1kW連続です。
Q.2MHz高周波電源 TXM 5000Wのほかにアドテックプラズマテクノロジーの高周波電源はある？
あります。アドテックプラズマテクノロジーの高周波電源には、2MHz高周波電源 TXM 5000Wのほかに27.12MHz高周波電源 TXR 10000W（周波数は27.12MHz）があります。
Q.2MHz高周波電源 TXM 5000Wはどこのメーカー？
2MHz高周波電源 TXM 5000Wは株式会社アドテックプラズマテクノロジーの製品です。液晶基板や半導体の製造装置に載せるプラズマ用高周波電源とマッチングユニットを作っています。

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