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スプレーコーター半導体レジスト用

スプレーコータ SC-80EX

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

直径100〜200mmのウェーハに塗るスプレーコータです。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
半導体レジスト用
向いている所
段差や貫通のあるウェーハの量産
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比較表での位置

スプレーコータ SC-80EXは、スプレーコーターのメーカー11社比較⁠の種類「半導体レジスト用」の3製品の1つとして載っています。

  • 11社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 3製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
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スプレーコータ SC-80EX​の強みと方式

ウェーハをロボットアームで運ぶ、半導体向けのスプレーコータです。スピンコータで塗りにくい段差基板や貫通基板に、レジストや保護膜を塗れます。研究開発から量産まで装置の構成を変えられます。

向いている所段差や貫通のあるウェーハの量産

種類：半導体レジスト用

凹凸のあるウェーハや基板にレジストを塗る機種です。スピンコータで塗りにくい段差・トレンチ・貫通穴の基板に使います。

スプレーコータ SC-80EX​の仕様

種類
半導体レジスト用
霧にするしかた
スプレー塗布方式、薬液用に最大2ノズル
塗布範囲
—公式資料で確認できず
膜厚
—公式資料で確認できず
基材・用途
直径100〜200mmのウェーハ
液の送り方・液量
低粘度レジストを重ね塗りして厚膜に
外形寸法
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
ノズル・軸の速度
—公式資料で確認できず
試料台の加熱
ウェーハ温調機能付き
特長
ロボットアーム搬送

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

スプレーコータ SC-80EX株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズスプレーコーター DC111株式会社三明スプレーコーター DC210株式会社三明
種類半導体レジスト用半導体レジスト用半導体レジスト用
霧にするしかたスプレー塗布方式、薬液用に最大2ノズル外部混合渦流式二流体ノズル外部混合渦流式二流体ノズル
塗布範囲—公式資料で確認できず220mm角500mm角
膜厚—公式資料で確認できず100nm〜500μm（薬液による）100nm〜500μm（薬液による）
基材・用途直径100〜200mmのウェーハウエハーなどの試料基板、MEMSガラス基板へのAG・AR・⁠⁠⁠⁠⁠⁠AF
液の送り方・液量低粘度レジストを重ね塗りして厚膜にエア圧送とマイクロニードルで制御—公式資料で確認できず
外形寸法—公式資料で確認できずH1000×W650×D680mmH1000×W1200×D1200mm
電源—公式資料で確認できずAC100V、1800W—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず100kg300kg
ノズル・軸の速度—公式資料で確認できず10〜300mm/秒—公式資料で確認できず
試料台の加熱ウェーハ温調機能付き最大100℃—公式資料で確認できず
特長ロボットアーム搬送埋め込み塗布と倣わせ塗布凹凸の立体構造に均一塗布

スプレーコーターの14製品を比較表で見る

スプレーコータ SC-80EX​のよくある質問

Q.スプレーコータ SC-80EXはどんな人に向いている？
スプレーコータ SC-80EXは、段差や貫通のあるウェーハの量産に使う人向けです。スプレーコータ SC-80EXは、ウェーハをロボットアームで運ぶ、半導体向けのスプレーコータです。
Q.スプレーコータ SC-80EXの強みは？
スプレーコータ SC-80EXは、スピンコータで塗りにくい段差基板や貫通基板に、レジストや保護膜を塗れます。研究開発から量産まで装置の構成を変えられます。
Q.スプレーコータ SC-80EXはどんな方式？
スプレーコータ SC-80EXの種類は半導体レジスト用です。凹凸のあるウェーハや基板にレジストを塗る機種です。
Q.スプレーコータ SC-80EXの主な仕様は？
スプレーコータ SC-80EXの霧にするしかたはスプレー塗布方式、薬液用に最大2ノズル、基材・用途は直径100〜200mmのウェーハです。液の送り方・液量は低粘度レジストを重ね塗りして厚膜に、試料台の加熱はウェーハ温調機能付きです。
Q.スプレーコータ SC-80EXとスプレーコーター DC111はどっちがいい？
段差や貫通のあるウェーハの量産ならスプレーコータ SC-80EX、MEMSの立体構造へのレジスト塗布なら三明のスプレーコーター DC111です。スプレーコータ SC-80EXの霧にするしかたはスプレー塗布方式、薬液用に最大2ノズル、基材・用途は直径100〜200mmのウェーハです。三明のスプレーコーター DC111の霧にするしかたは外部混合渦流式二流体ノズル、塗布範囲は220mm角です。
Q.スプレーコータ SC-80EXの特長は？
スプレーコータ SC-80EXの特長はロボットアーム搬送です。三明のスプレーコーター DC111の特長は埋め込み塗布と倣わせ塗布です。
Q.スプレーコータ SC-80EXとスプレーコーター DC210はどっちがいい？
段差や貫通のあるウェーハの量産ならスプレーコータ SC-80EX、500mm角までの基板やガラスの塗布なら三明のスプレーコーター DC210です。スプレーコータ SC-80EXの霧にするしかたはスプレー塗布方式、薬液用に最大2ノズル、基材・用途は直径100〜200mmのウェーハです。三明のスプレーコーター DC210の霧にするしかたは外部混合渦流式二流体ノズル、塗布範囲は500mm角です。
Q.スプレーコータ SC-80EXはどこのメーカー？
スプレーコータ SC-80EXは株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズの製品です。SCREENセミコンダクターソリューションズの主な製品分野はスピンコータ・半導体洗浄装置・スプレーコーター・ウエハ検査装置です。

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    出典
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