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基板やウェーハ、フィルムに液を霧にして薄く塗るスプレーコーターを選ぶ、研究開発・生産技術・設備・購買の担当の方へ

スプレーコーターのメーカー11社比較【2026年】

スプレーコーターは、液を霧にして、
基板やフィルムに薄く塗る装置です。

ABOUT

スプレーコーターとは

比較表を見る ↓

スプレーコーターとは、液を細かい霧にして基板やフィルムに吹き付け、
薄い膜を作る塗布装置です。
スプレー塗布装置とも呼びます。
ノズルか基板を動かして、
決めた範囲だけに塗ります。

製品の特長

  • 凹凸にも塗れる(段差・トレンチ・曲面)
  • 決めた範囲だけに塗れる(必要な面にだけ吹く)
  • 薄い膜から厚い膜まで作れる(機種で幅が違う)

使うメリット

  • スピンコータより薬液が少なく済む(SC-80EXなど)
  • 基板を回さずに塗れる(大きい基板・四角い基板)
  • 少量で試せる(RPS200Sは5cc程度から)

選ぶときに注意すること

  1. ミストが出るので排気をつなぐ。RPS200Sは5〜7m3/min、DC111は2300リットル/分を使う
  2. 圧縮エアの配管を先に確かめる。RPS200Sは0.5〜0.8MPaを使う
  3. 膜厚の幅は薬液で変わる。三明も薬液の条件でレンジが変わると書いている
  4. 塗れる粘度はノズルで決まる。MSP-200の標準ノズルは1000mPa・sくらいまで
  5. 値段は公開されていない。仕様と一緒に見積もりで確かめる

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。値段を公開している会社は無い。

LIST

スプレーコーターの比較表

スプレーコーター14製品の比較
製品・メーカーコスト製品の強み仕様公式ページ

研究開発用

7製品
株式会社イーエッチシー卓上型スプレーコーター MSP-200机に載せて塗る小さな基板の試作口コミを書く要見積

重さ約35kgの、机に載せて使う大きさです。スプレー部は塗る材料に合わせて選ぶ作りで、標準はいけうちのノズルです。塗布パターンをプログラムで決め、塗布範囲はMSP-100より各軸100mm広げています。

種類
研究開発用
霧にするしかた
いけうちのノズルSETOV C(材料で選定)
塗布範囲
200×200mm
液の送り方・液量
噴霧流量5.0〜30L/hour
外形寸法
W501×D650×H580mm
電源
AC100〜230V、約300W
質量
約35kg
ノズル・軸の速度
各軸1〜300mm/sec
試料台の加熱
100℃までの温調(オプション)
特長
64パターンをプログラム
記載なし
膜厚・基材・用途
公式ページへ詳細・仕様
株式会社SIJテクノロジSIJ型スプレーコーター数nmの超薄膜を試す研究開発口コミを書く要見積

インクジェットの技術をもとに霧を作る、ほかの機種とは作りの違うスプレーコーターです。数nmの薄膜から数μmまで塗れます。塗布範囲や寸法は公式ページに出ていないので、問い合わせて確かめます。

種類
研究開発用
霧にするしかた
スーパーインクジェット技術
膜厚
数nm〜数μm
記載なし
塗布範囲・基材・用途・液の送り方・液量・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱・特長
公式ページへ詳細・仕様
株式会社SIJテクノロジエアー駆動型スプレーコーター数十μmまでの厚膜を試す研究開発口コミを書く要見積

エアーが渦を巻く気流を作り、霧の広がりを抑える2流体の機種です。数μmから数十μmの厚い膜を作れます。同じ会社のSIJ型より厚い側を受け持ちます。

種類
研究開発用
霧にするしかた
2流体のエアー
膜厚
数μm〜数十μm
記載なし
塗布範囲・基材・用途・液の送り方・液量・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱・特長
公式ページへ詳細・仕様
株式会社エーシングテクノロジーズスプレーコーター(小型実験用)電池の膜や分散液を試す研究開発口コミを書く要見積

エアレスの特殊ノズルで塗る機種で、燃料電池の触媒膜や全固体電池の膜を用途に挙げた会社です。粒子を液に分散させた材料も、ノズルを詰まらせずに塗る作りです。小型の実験機から始めて、大型の生産機に広げられます。

種類
研究開発用
霧にするしかた
エアレス、特殊ノズル
基材・用途
燃料電池触媒膜、全固体電池膜、太陽電池膜
液の送り方・液量
ナノ粒子、マイクロ粒子の分散液
特長
小型実験用から大型生産装置まで
記載なし
塗布範囲・膜厚・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ詳細・仕様
株式会社API技研スプレーコーター API-40RS研究開発から小規模生産の条件出し口コミを書く要見積

液送りとノズルを自社で作り込んだ研究開発機です。塗布条件を細かく決めて記録し、外に出せるので、条件の再現と品質管理に使えます。粘度に左右されない体積制御の液送で、材料を替えても再現しやすいです。

種類
研究開発用
霧にするしかた
2流体ノズルLPVN
塗布範囲
最大200×200mm
膜厚
数nm〜数十μm(同社の技術全体)
液の送り方・液量
DLCS(体積制御の液送)
特長
塗布条件の記録と出力
記載なし
基材・用途・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ詳細・仕様
テスター産業株式会社スプレー塗工装置 PI-1250塗料・インキの試験用の塗工口コミを書く要見積

試験機メーカーが塗料・インキ試験の製品として作るスプレー塗工装置です。アプリケータ式の自動塗工装置に、スプレーの方式を足したものです。パルスと連続を切り替えられ、重ね塗りの条件も変えられます。

種類
研究開発用
霧にするしかた
3流体エアスプレーノズル
塗布範囲
最大300×300mm
基材・用途
真空吸着で固定
外形寸法
約W100×D100×H190cm
電源
AC100V
質量
約250kg
特長
パルス、連続、重ね塗布
記載なし
膜厚・液の送り方・液量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ詳細・仕様
トソモ株式会社スプレーコーター iPREC RPS200S少ない材料で試す燃料電池の電極口コミを書く要見積

ブース・制御・吸着・加熱を1台にまとめたパッケージ機です。電気と圧縮エアと排気ダクトをつなげば動き、5cc程度の材料から試せます。沈降防止装置があるので、燃料電池の触媒のようなスラリーにも使えます。

種類
研究開発用
霧にするしかた
エア駆動式エアスプレーガン
塗布範囲
250×250mm
膜厚
サブミクロン領域から
基材・用途
フィルムも吸着して固定
液の送り方・液量
5cc程度の少量から
外形寸法
幅600×奥行750×高さ2010mm
電源
AC100V、15A
ノズル・軸の速度
最大390mm/秒
試料台の加熱
ステージ加熱あり
特長
スラリーの沈降防止装置
記載なし
質量
公式ページへ詳細・仕様

半導体レジスト用

3製品
株式会社三明スプレーコーター DC111MEMSの立体構造へのレジスト塗布口コミを書く要見積

トレンチやキャビティの中まで塗れる、MEMSと半導体研究向けの機種です。100nmから500μmまで塗れ、スピンコーターで塗りにくい傾斜面にも膜を作れます。試料台のヒーターで100℃まで温められます。

種類
半導体レジスト用
霧にするしかた
外部混合渦流式二流体ノズル
塗布範囲
220mm角
膜厚
100nm〜500μm(薬液による)
基材・用途
ウエハーなどの試料基板、MEMS
液の送り方・液量
エア圧送とマイクロニードルで制御
外形寸法
H1000×W650×D680mm
電源
AC100V、1800W
質量
100kg
ノズル・軸の速度
10〜300mm/秒
試料台の加熱
最大100℃
特長
埋め込み塗布と倣わせ塗布
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)
株式会社三明スプレーコーター DC210500mm角までの基板やガラスの塗布口コミを書く要見積

同じシリーズで塗布範囲を500mm角まで広げた機種です。カタログでは小さい機種と同じノズルと膜厚の幅を案内していて、大きい基板に移せます。重さは300kgあるので、置き場所と搬入を先に見ておきます。

種類
半導体レジスト用
霧にするしかた
外部混合渦流式二流体ノズル
塗布範囲
500mm角
膜厚
100nm〜500μm(薬液による)
基材・用途
ガラス基板へのAG・AR・AF
外形寸法
H1000×W1200×D1200mm
質量
300kg
特長
凹凸の立体構造に均一塗布
記載なし
液の送り方・液量・電源・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズスプレーコータ SC-80EX段差や貫通のあるウェーハの量産口コミを書く要見積

ウェーハをロボットアームで運ぶ、半導体向けのスプレーコータです。スピンコータで塗りにくい段差基板や貫通基板に、レジストや保護膜を塗れます。研究開発から量産まで装置の構成を変えられます。

種類
半導体レジスト用
霧にするしかた
スプレー塗布方式、薬液用に最大2ノズル
基材・用途
直径100〜200mmのウェーハ
液の送り方・液量
低粘度レジストを重ね塗りして厚膜に
試料台の加熱
ウェーハ温調機能付き
特長
ロボットアーム搬送
記載なし
塗布範囲・膜厚・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度
公式ページへ詳細・仕様

生産用

4製品
株式会社API技研スプレーコーター API-240MP止めずに液を足して塗り続ける量産口コミを書く要見積

生産を止めずに液を足せるヘッドを積んだ量産機です。塗布範囲は600×400mmで、曲面に塗るモデルも選べます。ワークに合わせたフルカスタムや、ロールtoロールの通過型も別に作っています。

種類
生産用
霧にするしかた
2流体ノズルLPVN
塗布範囲
600×400mm
膜厚
数nm〜数十μm(同社の技術全体)
液の送り方・液量
自動液供給機構付きDLCSヘッド
特長
自由曲面に塗るモデルあり
記載なし
基材・用途・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ詳細・仕様
株式会社ファイコーポレーション全自動スプレーコータープリント基板のレジストインク塗布口コミを書く要見積

プリント基板のレジストインクを塗る全自動機で、半自動機もあります。同社の従来品より塗着効率を約2倍に上げ、少量多品種も流せます。仕様は案件ごとに決めるので、基板サイズを伝えて確かめます。

種類
生産用
霧にするしかた
エアー式と静電式の機種を案内
基材・用途
プリント基板のレジストインク
特長
塗着効率が同社従来品の約2倍
記載なし
塗布範囲・膜厚・液の送り方・液量・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ詳細・仕様
株式会社ファーネススプレーコーター配線板のレジストや部品の保護膜口コミを書く要見積

プリント配線板の製造装置を長く作ってきた会社のスプレーコーターです。レジストのほか、自動車部品の防錆やフィルムの機能性コートも用途にしています。型式や数値は公式ページに出ていないので、ワークを伝えて確かめます。

種類
生産用
基材・用途
金属、プラスチック、ガラス、セラミックス
特長
プリント配線板のレジスト塗布
記載なし
霧にするしかた・塗布範囲・膜厚・液の送り方・液量・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ詳細・仕様
有限会社柳田技研水平式連続両面スプレーコーター FSC-800重い基板の両面に続けて塗る口コミを書く要見積

水平に運ぶので重い基板でも落とさず、1つのガンで表と裏の両面に塗ります。処理量は1.5枚/minで、ワークの幅や膜厚を変えながら小ロットを流せます。ガンをワークに近づける近距離塗布で、塗着効率を上げています。

種類
生産用
霧にするしかた
エアー霧化式スプレーガン
塗布範囲
300×300〜650×800mm(ワーク)
基材・用途
大型基板、高多層基板、重量基板
外形寸法
L1,990×W2,350×H2,000(本体)
電源
AC200V、5.5kW
特長
処理量1.5枚/min
記載なし
膜厚・液の送り方・液量・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ詳細・仕様

研究開発用7製品

株式会社イーエッチシー

卓上型スプレーコーター MSP-200

机に載せて塗る小さな基板の試作

重さ約35kgの、机に載せて使う大きさです。スプレー部は塗る材料に合わせて選ぶ作りで、標準はいけうちのノズルです。塗布パターンをプログラムで決め、塗布範囲はMSP-100より各軸100mm広げています。

コスト要見積

種類
研究開発用
霧にするしかた
いけうちのノズルSETOV C(材料で選定)
塗布範囲
200×200mm
液の送り方・液量
噴霧流量5.0〜30L/hour
外形寸法
W501×D650×H580mm
電源
AC100〜230V、約300W
質量
約35kg
ノズル・軸の速度
各軸1〜300mm/sec
試料台の加熱
100℃までの温調(オプション)
特長
64パターンをプログラム
記載なし
膜厚・基材・用途
公式ページへ
株式会社SIJテクノロジ

SIJ型スプレーコーター

数nmの超薄膜を試す研究開発

インクジェットの技術をもとに霧を作る、ほかの機種とは作りの違うスプレーコーターです。数nmの薄膜から数μmまで塗れます。塗布範囲や寸法は公式ページに出ていないので、問い合わせて確かめます。

コスト要見積

種類
研究開発用
霧にするしかた
スーパーインクジェット技術
膜厚
数nm〜数μm
記載なし
塗布範囲・基材・用途・液の送り方・液量・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱・特長
公式ページへ
株式会社SIJテクノロジ

エアー駆動型スプレーコーター

数十μmまでの厚膜を試す研究開発

エアーが渦を巻く気流を作り、霧の広がりを抑える2流体の機種です。数μmから数十μmの厚い膜を作れます。同じ会社のSIJ型より厚い側を受け持ちます。

コスト要見積

種類
研究開発用
霧にするしかた
2流体のエアー
膜厚
数μm〜数十μm
記載なし
塗布範囲・基材・用途・液の送り方・液量・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱・特長
公式ページへ
株式会社エーシングテクノロジーズ

スプレーコーター(小型実験用)

電池の膜や分散液を試す研究開発

エアレスの特殊ノズルで塗る機種で、燃料電池の触媒膜や全固体電池の膜を用途に挙げた会社です。粒子を液に分散させた材料も、ノズルを詰まらせずに塗る作りです。小型の実験機から始めて、大型の生産機に広げられます。

コスト要見積

種類
研究開発用
霧にするしかた
エアレス、特殊ノズル
基材・用途
燃料電池触媒膜、全固体電池膜、太陽電池膜
液の送り方・液量
ナノ粒子、マイクロ粒子の分散液
特長
小型実験用から大型生産装置まで
記載なし
塗布範囲・膜厚・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ
株式会社API技研

スプレーコーター API-40RS

研究開発から小規模生産の条件出し

液送りとノズルを自社で作り込んだ研究開発機です。塗布条件を細かく決めて記録し、外に出せるので、条件の再現と品質管理に使えます。粘度に左右されない体積制御の液送で、材料を替えても再現しやすいです。

コスト要見積

種類
研究開発用
霧にするしかた
2流体ノズルLPVN
塗布範囲
最大200×200mm
膜厚
数nm〜数十μm(同社の技術全体)
液の送り方・液量
DLCS(体積制御の液送)
特長
塗布条件の記録と出力
記載なし
基材・用途・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ
テスター産業株式会社

スプレー塗工装置 PI-1250

塗料・インキの試験用の塗工

試験機メーカーが塗料・インキ試験の製品として作るスプレー塗工装置です。アプリケータ式の自動塗工装置に、スプレーの方式を足したものです。パルスと連続を切り替えられ、重ね塗りの条件も変えられます。

コスト要見積

種類
研究開発用
霧にするしかた
3流体エアスプレーノズル
塗布範囲
最大300×300mm
基材・用途
真空吸着で固定
外形寸法
約W100×D100×H190cm
電源
AC100V
質量
約250kg
特長
パルス、連続、重ね塗布
記載なし
膜厚・液の送り方・液量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ
トソモ株式会社

スプレーコーター iPREC RPS200S

少ない材料で試す燃料電池の電極

ブース・制御・吸着・加熱を1台にまとめたパッケージ機です。電気と圧縮エアと排気ダクトをつなげば動き、5cc程度の材料から試せます。沈降防止装置があるので、燃料電池の触媒のようなスラリーにも使えます。

コスト要見積

種類
研究開発用
霧にするしかた
エア駆動式エアスプレーガン
塗布範囲
250×250mm
膜厚
サブミクロン領域から
基材・用途
フィルムも吸着して固定
液の送り方・液量
5cc程度の少量から
外形寸法
幅600×奥行750×高さ2010mm
電源
AC100V、15A
ノズル・軸の速度
最大390mm/秒
試料台の加熱
ステージ加熱あり
特長
スラリーの沈降防止装置
記載なし
質量
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半導体レジスト用3製品

株式会社三明

スプレーコーター DC111

MEMSの立体構造へのレジスト塗布

トレンチやキャビティの中まで塗れる、MEMSと半導体研究向けの機種です。100nmから500μmまで塗れ、スピンコーターで塗りにくい傾斜面にも膜を作れます。試料台のヒーターで100℃まで温められます。

コスト要見積

種類
半導体レジスト用
霧にするしかた
外部混合渦流式二流体ノズル
塗布範囲
220mm角
膜厚
100nm〜500μm(薬液による)
基材・用途
ウエハーなどの試料基板、MEMS
液の送り方・液量
エア圧送とマイクロニードルで制御
外形寸法
H1000×W650×D680mm
電源
AC100V、1800W
質量
100kg
ノズル・軸の速度
10〜300mm/秒
試料台の加熱
最大100℃
特長
埋め込み塗布と倣わせ塗布
公式ページへ
株式会社三明

スプレーコーター DC210

500mm角までの基板やガラスの塗布

同じシリーズで塗布範囲を500mm角まで広げた機種です。カタログでは小さい機種と同じノズルと膜厚の幅を案内していて、大きい基板に移せます。重さは300kgあるので、置き場所と搬入を先に見ておきます。

コスト要見積

種類
半導体レジスト用
霧にするしかた
外部混合渦流式二流体ノズル
塗布範囲
500mm角
膜厚
100nm〜500μm(薬液による)
基材・用途
ガラス基板へのAG・AR・AF
外形寸法
H1000×W1200×D1200mm
質量
300kg
特長
凹凸の立体構造に均一塗布
記載なし
液の送り方・液量・電源・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

スプレーコータ SC-80EX

段差や貫通のあるウェーハの量産

ウェーハをロボットアームで運ぶ、半導体向けのスプレーコータです。スピンコータで塗りにくい段差基板や貫通基板に、レジストや保護膜を塗れます。研究開発から量産まで装置の構成を変えられます。

コスト要見積

種類
半導体レジスト用
霧にするしかた
スプレー塗布方式、薬液用に最大2ノズル
基材・用途
直径100〜200mmのウェーハ
液の送り方・液量
低粘度レジストを重ね塗りして厚膜に
試料台の加熱
ウェーハ温調機能付き
特長
ロボットアーム搬送
記載なし
塗布範囲・膜厚・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度
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生産用4製品

株式会社API技研

スプレーコーター API-240MP

止めずに液を足して塗り続ける量産

生産を止めずに液を足せるヘッドを積んだ量産機です。塗布範囲は600×400mmで、曲面に塗るモデルも選べます。ワークに合わせたフルカスタムや、ロールtoロールの通過型も別に作っています。

コスト要見積

種類
生産用
霧にするしかた
2流体ノズルLPVN
塗布範囲
600×400mm
膜厚
数nm〜数十μm(同社の技術全体)
液の送り方・液量
自動液供給機構付きDLCSヘッド
特長
自由曲面に塗るモデルあり
記載なし
基材・用途・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ
株式会社ファイコーポレーション

全自動スプレーコーター

プリント基板のレジストインク塗布

プリント基板のレジストインクを塗る全自動機で、半自動機もあります。同社の従来品より塗着効率を約2倍に上げ、少量多品種も流せます。仕様は案件ごとに決めるので、基板サイズを伝えて確かめます。

コスト要見積

種類
生産用
霧にするしかた
エアー式と静電式の機種を案内
基材・用途
プリント基板のレジストインク
特長
塗着効率が同社従来品の約2倍
記載なし
塗布範囲・膜厚・液の送り方・液量・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ
株式会社ファーネス

スプレーコーター

配線板のレジストや部品の保護膜

プリント配線板の製造装置を長く作ってきた会社のスプレーコーターです。レジストのほか、自動車部品の防錆やフィルムの機能性コートも用途にしています。型式や数値は公式ページに出ていないので、ワークを伝えて確かめます。

コスト要見積

種類
生産用
基材・用途
金属、プラスチック、ガラス、セラミックス
特長
プリント配線板のレジスト塗布
記載なし
霧にするしかた・塗布範囲・膜厚・液の送り方・液量・外形寸法・電源・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ
有限会社柳田技研

水平式連続両面スプレーコーター FSC-800

重い基板の両面に続けて塗る

水平に運ぶので重い基板でも落とさず、1つのガンで表と裏の両面に塗ります。処理量は1.5枚/minで、ワークの幅や膜厚を変えながら小ロットを流せます。ガンをワークに近づける近距離塗布で、塗着効率を上げています。

コスト要見積

種類
生産用
霧にするしかた
エアー霧化式スプレーガン
塗布範囲
300×300〜650×800mm(ワーク)
基材・用途
大型基板、高多層基板、重量基板
外形寸法
L1,990×W2,350×H2,000(本体)
電源
AC200V、5.5kW
特長
処理量1.5枚/min
記載なし
膜厚・液の送り方・液量・質量・ノズル・軸の速度・試料台の加熱
公式ページへ
Q&A

スプレーコーター選びで、よくある疑問

購買担当の疑問スプレーコーターの価格は、いくら?

このページの14製品は、どれも値段を公式に出していません。どの会社も問い合わせで答える形なので、塗布範囲と欲しい機能を伝えて見積もりをとります。

設備担当の疑問スプレーコーターの種類と違いは?

使う場面で3つに分かれます。少ない材料で試す研究開発用(API-40RS、RPS200S、MSP-200)、凹凸のある基板にレジストを塗る半導体向け(DC111、SC-80EX)、基板を流して塗る生産用(API-240MP、FSC-800)です。

設備担当の疑問スピンコーターとスプレーコーターの違いは?

スピンコーターは基板を回して液を広げ、スプレーコーターは霧を吹いて塗ります。段差や貫通のある基板にはスプレーが向き、SCREENのSC-80EXはスピンコータより少ない薬液で塗れます。平らな基板に薄く塗るだけなら、スピンコーターで足ります。

設備担当の疑問膜厚はどこまで薄く・厚くできる?

SIJテクノロジのSIJ型は数nmから数μm、API技研は数nmから数十μmです。厚い側は三明のDC111で、100nmから500μmまで塗れます(薬液によります)。

工場長の疑問塗布範囲はどれくらい?

MSP-200は200mm、RPS200Sは250mm、PI-1250は300mm、DC210は500mm角です。API-240MPは600×400mmで、API技研には1.2m×1.5mの実績もあります。

設備担当の疑問凹凸のある基板や曲面にも塗れる?

塗れます。三明のDC111は埋め込み塗布と倣わせ塗布の2通りを選べます。API-240MPには自由曲面に塗るモデルがあります。

設備担当の疑問少ない材料で試せる?

トソモのRPS200Sは5cc程度から塗れます。API技研のMini-DLCSはシリンジを使うので、少量の材料の試験に向きます。

設備担当の疑問燃料電池や電池の電極に使える?

トソモのRPS200Sは、燃料電池のMEAの電極材料を塗る例を出しています。エーシングテクノロジーズは燃料電池の触媒膜と全固体電池の膜を用途にしています。粒子が沈むスラリーは、RPS200Sの沈降防止装置のような機構があると安定します。

施設管理の疑問置くには何を用意する?電源・エア・排気は?

電源、圧縮エア、排気の3つを用意します。RPS200SはAC100V、0.5〜0.8MPaのエア、5〜7m3/minの排気です。DC111はAC100Vの1800Wで排気は2300リットル/分、FSC-800はAC200Vの5.5kWです。

設備担当の疑問買う前に塗布テストはできる?

できる会社があります。トソモはデモ機で300×300mmまでの塗布テストを有料で受けます。三明はサンプルテストと貸し出し用のデモ機を案内しています。

施設管理の疑問ノズルの詰まりや手入れは?

API技研のLPVNノズルは詰まりにくい流路で、分解して洗えます。トソモのガンは接液部の空間を小さくして、洗いやすくしています。エーシングテクノロジーズは、ノズルを詰まらせずに塗る特殊スプレーの技術を案内しています。

TYPES

スプレーコーターの種類の違い

研究開発用

少ない材料で塗布の条件を試す機種です。机に載せる卓上型から、ブース付きの床置き型まであります。塗布範囲は200〜300mm角が中心です。

向いている使い方

  • 新しい材料の条件を試す
  • 燃料電池や電池の膜を試作する
  • 塗料・インキの試験

根拠:わずか5cc程度の少量サンプルから塗布が可能。(出典4)

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半導体レジスト用

凹凸のあるウェーハや基板にレジストを塗る機種です。スピンコータで塗りにくい段差・トレンチ・貫通穴の基板に使います。

向いている使い方

  • MEMSの立体構造に塗る
  • 段差や貫通のあるウェーハ
  • 厚いレジストを塗る

根拠:独自のスプレー塗布技術により、スピンコータでは困難とされる凹凸のある段差基板や貫通基板に対して(出典12)

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生産用

基板やパネルを流して塗る機種です。液を自動で足す機構や、基板の両面に続けて塗る機構があります。プリント基板のレジストインクやガラスパネルの機能膜に使います。

向いている使い方

  • プリント基板のレジストインク
  • ガラスパネルの機能膜
  • 止めずに塗り続ける量産

根拠:生産を止めずに塗布液供給が可能となり、生産性が大幅に向上します。(出典2)

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MAKERS

スプレーコーターの主なメーカー11社

株式会社イーエッチシー

重さ約35kgの、机に載せて使う大きさです。

東京都

株式会社SIJテクノロジ

インクジェットの技術をもとに霧を作る、ほかの機種とは作りの違うスプレーコーターです。

茨城県

株式会社エーシングテクノロジーズ

エアレスの特殊ノズルで塗る機種で、燃料電池の触媒膜や全固体電池の膜を用途に挙げた会社です。

神奈川県

株式会社API技研

液送りとノズルを自社で作り込んだ研究開発機です。

新潟県

株式会社三明

トレンチやキャビティの中まで塗れる、MEMSと半導体研究向けの機種です。

静岡県

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

ウェーハをロボットアームで運ぶ、半導体向けのスプレーコータです。

京都府

テスター産業株式会社

試験機メーカーが塗料・インキ試験の製品として作るスプレー塗工装置です。

埼玉県

トソモ株式会社

ブース・制御・吸着・加熱を1台にまとめたパッケージ機です。

東京都

株式会社ファイコーポレーション

プリント基板のレジストインクを塗る全自動機で、半自動機もあります。

東京都

株式会社ファーネス

プリント配線板の製造装置を長く作ってきた会社のスプレーコーターです。

東京都

有限会社柳田技研

水平に運ぶので重い基板でも落とさず、1つのガンで表と裏の両面に塗ります。

埼玉県

出典
  1. API技研 研究開発用スプレーコーター
  2. API技研 生産用スプレーコーター
  3. API技研 技術紹介
  4. トソモ iPREC RPS200S
  5. トソモ iPREC よくあるご質問
  6. イーエッチシー MSP-200
  7. テスター産業 PI-1250
  8. SIJテクノロジ 製品情報
  9. 三明 スプレーコーター
  10. 三明 スプレーコーターのカタログ
  11. 三明電子産業 DC111
  12. SCREENセミコンダクターソリューションズ SC-80EX
  13. 柳田技研 FSC-800
  14. 柳田技研 装置の特徴
  15. ファイコーポレーション スプレーコーター
  16. エーシングテクノロジーズ 製品
  17. ファーネス スプレーコーター
掲載基準

研究開発と半導体・電子部品の製造で、基板・ウェーハ・フィルムなどに液を霧にして薄く塗るスプレーコーターを、日本の会社が自社で作り、公式の製品ページで今案内している機種に絞りました。塗料を吹く一般の塗装機械と手持ちのスプレーガン、ノズルやバルブだけの品は入れません。巻物に連続で塗る塗工機はコーター、バーで塗る品はバーコーター、回して塗る品はスピンコータの比較に分けています。除いた会社:三明の機種を売るナノテック(販売代理店)、製造元と型式の記載が無いダイトロン、自社製造を確かめられなかったナガセテクノエンジニアリング、事業内容が企画・提案・販売のネクス、ヒットコーポレーション、ブルーオーシャンテクノロジー、小物部品の塗装装置のエース設備、公式の製品ページをたどれなかった誠和ケミカル。

スプレーコーターを作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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