スプレーコーターとは？研究開発用・半導体レジスト用・生産用の種類と、塗布範囲・膜厚・価格の選び方

スプレーコーターとは

スプレーコーターは、液を細かい霧にして基板やフィルムに吹き付け、薄い膜を作る塗布装置です。スプレー塗布装置とも呼びます。ノズルか基板を動かして、決めた範囲だけに塗ります。

比較ページには、日本の会社が自社で作るスプレーコーターを、塗布範囲・膜厚・液量で並べています。

3つの種類

• 研究開発用は、少ない材料で条件を試す機種です。例はAPI技研のAPI-40RS、トソモのRPS200S、イーエッチシーのMSP-200です
• 半導体レジスト用は、凹凸のある基板にレジストを塗る機種です。例は三明のDC111、SCREENのSC-80EXです
• 生産用は、基板やパネルを流して塗る機種です。例はAPI技研のAPI-240MP、柳田技研のFSC-800です

スピンコーターとの違い

• スピンコーターは基板を回して液を広げ、スプレーコーターは霧を吹いて塗ります
• 段差や貫通のある基板には、スプレーが向きます。SCREENはスピンコータより少ない薬液で塗れると書いています
• 平らな基板に薄く塗るだけなら、スピンコーターで足ります

塗布範囲と膜厚

• 塗布範囲は、MSP-200が200mm角、RPS200Sが250mm角、PI-1250が300mm角です
• 大きい側は、DC210が500mm角、API-240MPが600×400mmです
• 膜厚は、SIJテクノロジのSIJ型が数nmから数μm、三明のDC111が100nmから500μmです
• 膜厚の幅は薬液で変わります。材料を持ち込んで試してから決めます

用意するもの

• 電源、圧縮エア、排気の3つを先に確かめます
• RPS200Sは、AC100Vと0.5〜0.8MPaのエア、5〜7m3/minの排気を使います
• DC111は、AC100Vの1800Wと2300リットル/分の排気を使います
• FSC-800は、AC200Vの5.5kWを使います

試し塗りと手入れ

• トソモはデモ機の塗布テストを有料で受けます。三明はサンプルテストと貸し出し用のデモ機を案内しています
• 粒子が沈むスラリーは、沈降防止の機構がある機種を選びます。RPS200Sには沈降防止装置があります
• API技研のLPVNノズルは、分解して洗えます