口コミを書く
イメージ

スプレーコーター半導体レジスト用

スプレーコーター DC210

株式会社三明

500mm角に塗るデスクトップ型のスプレーコーターです。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
半導体レジスト用
向いている所
500mm角までの基板やガラスの塗布
カタログ
あり（PDF）
公式の製品ページを見るカタログ（PDF）比較表で見る

比較表での位置

スプレーコーター DC210は、スプレーコーターのメーカー11社比較⁠の種類「半導体レジスト用」の3製品の1つとして載っています。

  • 11社掲載社数
  • 14製品比較表の製品
  • 3製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
比較表を見る

スプレーコーター DC210​の強みと方式

同じシリーズで塗布範囲を500mm角まで広げた機種です。カタログでは小さい機種と同じノズルと膜厚の幅を案内していて、大きい基板に移せます。重さは300kgあるので、置き場所と搬入を先に見ておきます。

向いている所500mm角までの基板やガラスの塗布

種類：半導体レジスト用

凹凸のあるウェーハや基板にレジストを塗る機種です。スピンコータで塗りにくい段差・トレンチ・貫通穴の基板に使います。

スプレーコーター DC210​の仕様

種類
半導体レジスト用
霧にするしかた
外部混合渦流式二流体ノズル
塗布範囲
500mm角
膜厚
100nm〜500μm（薬液による）
基材・用途
ガラス基板へのAG・AR・AF
液の送り方・液量
—公式資料で確認できず
外形寸法
H1000×W1200×D1200mm
電源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
質量
300kg
ノズル・軸の速度
—公式資料で確認できず
試料台の加熱
—公式資料で確認できず
特長
凹凸の立体構造に均一塗布

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

スプレーコーター DC210株式会社三明スプレーコータ SC-80EX株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズスプレーコーター API-240MP株式会社API技研
種類半導体レジスト用半導体レジスト用生産用
霧にするしかた外部混合渦流式二流体ノズルスプレー塗布方式、薬液用に最大2ノズル2流体ノズルLPVN
塗布範囲500mm角—公式資料で確認できず600×400mm
膜厚100nm〜500μm（薬液による）—公式資料で確認できず数nm〜数十μm（同社の技術全体）
基材・用途ガラス基板へのAG・AR・⁠⁠⁠⁠⁠⁠AF直径100〜200mmのウェーハ—公式資料で確認できず
液の送り方・液量—公式資料で確認できず低粘度レジストを重ね塗りして厚膜に自動液供給機構付きDLCSヘッド
外形寸法H1000×W1200×D1200mm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量300kg—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ノズル・軸の速度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
試料台の加熱—公式資料で確認できずウェーハ温調機能付き—公式資料で確認できず
特長凹凸の立体構造に均一塗布ロボットアーム搬送自由曲面に塗るモデルあり

スプレーコーターの14製品を比較表で見る

スプレーコーター DC210​のよくある質問

Q.スプレーコーター DC210はどんな人に向いている？
スプレーコーター DC210は、500mm角までの基板やガラスの塗布に使う人向けです。スプレーコーター DC210は、同じシリーズで塗布範囲を500mm角まで広げた機種です。
Q.スプレーコーター DC210の強みは？
カタログでは小さい機種と同じノズルと膜厚の幅を案内していて、大きい基板に移せます。重さは300kgあるので、置き場所と搬入を先に見ておきます。
Q.スプレーコーター DC210はどんな方式？
スプレーコーター DC210の種類は半導体レジスト用です。凹凸のあるウェーハや基板にレジストを塗る機種です。
Q.スプレーコーター DC210の主な仕様は？
スプレーコーター DC210の霧にするしかたは外部混合渦流式二流体ノズル、塗布範囲は500mm角です。膜厚は100nm〜500μm（薬液による）、基材・用途はガラス基板へのAG・AR・AFです。
Q.スプレーコーター DC210とスプレーコータ SC-80EXはどっちがいい？
500mm角までの基板やガラスの塗布ならスプレーコーター DC210、段差や貫通のあるウェーハの量産ならSCREENセミコンダクターソリューションズのスプレーコータ SC-80EXです。スプレーコーター DC210の霧にするしかたは外部混合渦流式二流体ノズル、塗布範囲は500mm角です。SCREENセミコンダクターソリューションズのスプレーコータ SC-80EXの霧にするしかたはスプレー塗布方式、薬液用に最大2ノズル、基材・用途は直径100〜200mmのウェーハです。
Q.スプレーコーター DC210の質量は？
スプレーコーター DC210の質量は300kgです。イーエッチシーの卓上型スプレーコーター MSP-200の質量は約35kgです。
Q.スプレーコーター DC210の外形寸法は？
スプレーコーター DC210の外形寸法はH1000×W1200×D1200mmです。柳田技研の水平式連続両面スプレーコーター FSC-800の外形寸法はL1,990×W2,350×H2,000（本体）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.スプレーコーター DC210とスプレーコーター API-240MPはどっちがいい？
500mm角までの基板やガラスの塗布ならスプレーコーター DC210、止めずに液を足して塗り続ける量産ならAPI技研のスプレーコーター API-240MPです。スプレーコーター DC210の霧にするしかたは外部混合渦流式二流体ノズル、塗布範囲は500mm角です。API技研のスプレーコーター API-240MPの霧にするしかたは2流体ノズルLPVN、塗布範囲は600×400mmです。
Q.スプレーコーター DC210のほかに三明のスプレーコーターはある？
あります。三明のスプレーコーターには、スプレーコーター DC210のほかにスプレーコーター DC111（霧にするしかたは外部混合渦流式二流体ノズル）があります。
Q.スプレーコーター DC210はどこのメーカー？
スプレーコーター DC210は株式会社三明の製品です。三明の主な製品分野はスプレーコーター・ナノインプリント装置です。

口コミ

スプレーコーター DC210の口コミは、まだありません。
使ったことがある方は、満足度・コスト・納期などを☆で教えてください。製品を選ぶ人の参考になります。

    最初の口コミを書く

    口コミの掲載基準・削除のご依頼

    同じ分類のほかの型番

    イメージ
    スプレーコーター

    スプレーコータ SC-80EX

    株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

    ウェーハをロボットアームで運ぶ、半導体向けのスプレーコータです。

    比較表で見る

    同じメーカーのほかの製品株式会社三明

    出典
    1. 株式会社三明 公式
    比較記事にしてほしい製品の依頼はこちら👉