イメージイメージ比較表での位置
スプレーコーター DC111は、
- 11社掲載社数
- 14製品比較表の製品
- 3製品同じ種類
- 0製品公開価格あり
スプレーコーター DC111の強みと方式
トレンチや
向いている所MEMSの
種類：半導体レジスト用
凹凸の
スプレーコーター DC111の仕様
- 種類
- 半導体
レジスト用 - 霧に
するしかた - 外部混合渦流式二流体
ノズル - 塗布範囲
- 220mm角
- 膜厚
- 100nm〜500μm
（薬液による） - 基材・用途
- ウエハーなどの
試料基板、 MEMS - 液の
送り方・液量 - エア圧送と
マイクロニードル で制御 - 外形寸法
- H1000×
W650× D680mm - 電源
- AC100V、
1800W - 価格
- —公式資料で
確認できず - 質量
- 100kg
- ノズル・軸の速度
- 10〜300mm/秒
- 試料台の加熱
- 最大100℃
- 特長
- 埋め込み塗布と
倣わせ塗布
同じ種類の他社製品との違い
製品の特徴ごとの分類
| スプレーコーター DC111株式会社三明 | スプレーコータ SC-80EX株式会社 | スプレーコーター API-240MP株式会社 | |
|---|---|---|---|
| 種類 | 半導体 | 半導体 | 生産用 |
| 霧に | 外部混合渦流式二流体 | スプレー塗布方式、 | 2流体ノズル |
| 塗布範囲 | 220mm角 | —公式資料で | 600× |
| 膜厚 | 100nm〜500μm | —公式資料で | 数nm〜数十μm |
| 基材・用途 | ウエハーなどの | 直径100〜200mmの | —公式資料で |
| 液の | エア圧送と | 低粘度 | 自動液供給機構付き |
| 外形寸法 | H1000× | —公式資料で | —公式資料で |
| 電源 | AC100V、 | —公式資料で | —公式資料で |
| 価格 | —公式資料で | —公式資料で | —公式資料で |
| 質量 | 100kg | —公式資料で | —公式資料で |
| ノズル・軸の速度 | 10〜300mm/秒 | —公式資料で | —公式資料で |
| 試料台の加熱 | 最大100℃ | ウェーハ温調機能付き | —公式資料で |
| 特長 | 埋め込み塗布と | ロボットアーム搬送 | 自由曲面に |
スプレーコーター DC111のよくある質問
Q.スプレーコーター DC111はどんな人に向いている？
スプレーコーター DC111は、MEMSの立体構造へのレジスト塗布に使う人向けです。スプレーコーター DC111は、トレンチやキャビティの中まで塗れる、MEMSと半導体研究向けの機種です。
Q.スプレーコーター DC111の強みは？
スプレーコーター DC111は、100nmから500μmまで塗れ、スピンコーターで塗りにくい傾斜面にも膜を作れます。試料台のヒーターで100℃まで温められます。
Q.スプレーコーター DC111はどんな方式？
スプレーコーター DC111の種類は半導体レジスト用です。凹凸のあるウェーハや基板にレジストを塗る機種です。
Q.スプレーコーター DC111の主な仕様は？
スプレーコーター DC111の霧にするしかたは外部混合渦流式二流体ノズル、塗布範囲は220mm角です。膜厚は100nm〜500μm（薬液による）、基材・用途はウエハーなどの試料基板、MEMSです。
Q.スプレーコーター DC111とスプレーコータ SC-80EXはどっちがいい？
MEMSの立体構造へのレジスト塗布ならスプレーコーター DC111、段差や貫通のあるウェーハの量産ならSCREENセミコンダクターソリューションズのスプレーコータ SC-80EXです。スプレーコーター DC111の霧にするしかたは外部混合渦流式二流体ノズル、塗布範囲は220mm角です。SCREENセミコンダクターソリューションズのスプレーコータ SC-80EXの霧にするしかたはスプレー塗布方式、薬液用に最大2ノズル、基材・用途は直径100〜200mmのウェーハです。
Q.スプレーコーター DC111の質量は？
スプレーコーター DC111の質量は100kgです。イーエッチシーの卓上型スプレーコーター MSP-200の質量は約35kgです。
Q.スプレーコーター DC111の液の送り方・液量は？
スプレーコーター DC111の液の送り方・液量はエア圧送とマイクロニードルで制御です。SCREENセミコンダクターソリューションズのスプレーコータ SC-80EXの液の送り方・液量は低粘度レジストを重ね塗りして厚膜にです。
Q.スプレーコーター DC111とスプレーコーター API-240MPはどっちがいい？
MEMSの立体構造へのレジスト塗布ならスプレーコーター DC111、止めずに液を足して塗り続ける量産ならAPI技研のスプレーコーター API-240MPです。スプレーコーター DC111の霧にするしかたは外部混合渦流式二流体ノズル、塗布範囲は220mm角です。API技研のスプレーコーター API-240MPの霧にするしかたは2流体ノズルLPVN、塗布範囲は600×400mmです。
Q.スプレーコーター DC111のほかに三明のスプレーコーターはある？
あります。三明のスプレーコーターには、スプレーコーター DC111のほかにスプレーコーター DC210（霧にするしかたは外部混合渦流式二流体ノズル）があります。
Q.スプレーコーター DC111はどこのメーカー？
スプレーコーター DC111は株式会社三明の製品です。三明の主な製品分野はスプレーコーター・ナノインプリント装置です。
同じ分類のほかの型番
イメージイメージイメージイメージイメージイメージ同じメーカーのほかの製品株式会社三明
イメージ
イメージ