高速分光エリプソメーター UNECS-3000A

高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aは、ウェーハ全面の膜厚分布を自動で見る人向けです。高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aは、高次の位相子2枚を使うスナップショット測定で、最大20ms/点で測ります。

高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aは、R-θステージで直径300mmの基板を自動で回り、分布を色の地図で出します。値は2011年の発表のもので、いま販売中かは未確認です。

高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの方式はスナップショット測定、試料は直径300mmまでです。測定の速さは最大20ms/点、面の測定点は直径300mmで106点を120秒です。

ウェーハ全面の膜厚分布を自動で見るなら高速分光エリプソメーター UNECS-3000A、量産ラインのウェーハ全自動監視なら日本セミラボのマイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000です。高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの方式はスナップショット測定、試料は直径300mmまでです。日本セミラボのマイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000の方式は全自動マッピング、波長範囲は193nm〜900nmです。

ウェーハ全面の膜厚分布を自動で見るなら高速分光エリプソメーター UNECS-3000A、微細な構造の膜を画像で見て測るならパーク・システムズ・ジャパンのイメージング分光エリプソメーター Accurion EP4です。高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの方式はスナップショット測定、試料は直径300mmまでです。パーク・システムズ・ジャパンのイメージング分光エリプソメーター Accurion EP4の方式はイメージング分光（全画素同時）、波長範囲は190nm〜1700nmです。

高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aは株式会社アルバックの製品です。登記上の本店は〒253-0071 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地。アルバックの主な製品分野はCVD装置・真空計・スパッタ装置・パルス電源です。