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エリプソメーターのメーカー7社比較【2026年】

エリプソメーターは、薄膜で反射した光の偏光の変化から、
膜の厚さと屈折率を測る装置です。

ABOUT

エリプソメーターとは

エリプソメーターとは、薄膜に偏光を当て、反射光の偏光の変化から、
膜の厚さと屈折率を非接触で求める測定器です。
偏光解析装置とも呼び、波長を変えて測る型は
分光エリプソメーターと呼びます。

製品の特長

  • 薄い膜を測れる（光干渉式では難しい薄い透過膜）
  • 厚さと光学定数を同時に出せる（屈折率n・消衰係数k）
  • 試料に触れずに測れる（ウェーハやガラスをそのまま）

使うメリット

  • 非破壊で測れる（測った試料を次の工程へ流せる）
  • 多層膜も解析できる（モデルに当てはめて各層を出す）
  • 面内のむらが分かる（面測定式は分布を地図で見られる）

選ぶときに注意すること

  1. 結果は解析のモデルで変わる。材料のn、kが分からないと厚さとの切り分けが難しい
  2. 表面が粗い膜は、粗さの層をモデルに入れて解析する
  3. スポットより小さいパターンは、微小スポットの機種を選ぶ
  4. 波長の範囲は機種で違う。紫外で測るレジストなら紫外まである型を選ぶ

※仕様は各メーカーの公式の製品ページによる。UNECS-3000Aは2011年の公式発表、M-2000は米国本社の英語ページによる。

LIST

エリプソメーターの比較表

エリプソメーターの価格・相場公開価格なし

公開価格のある製品
0件各社 要見積
エリプソメーター8製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み価格

回転素子式

2製品
大塚電子株式会社会社のページ ⁠›分光エリプソメーター FE-5000向いている所：レジストのn・kを波長ごとに評価する開発製品の詳細を見るメーカー公式サイトotsukael.jp—公式資料で確認できず

検光子を回して測る方式で、400ch以上の多チャンネル分光で波長ごとの値をまとめて取ります。g線・h線・i線の各波長でn、kを見られるので、レジストの評価に使えます。入射角は45°〜90°で変えられます。

要見積
ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社会社のページ ⁠›分光エリプソメーター M-2000向いている所：全波長を同時に取り成膜中も追う製品の詳細を見るメーカー公式サイトjawoollam.com—公式資料で確認できず

回転補償子とCCDを組み合わせ、全波長を同時に取る方式です。全スペクトルを最短0.05秒で取れるので、成膜中の変化を追う測定に使えます。日本語の公式サイトは休止中で、日本での販売中かは未確認です。

要見積

変調式

2製品
株式会社堀場製作所会社のページ ⁠›分光エリプソメーター UVISEL Plus向いている所：紫外から近赤外まで測る研究開発製品の詳細を見るメーカー公式サイトhoriba.com—公式資料で確認できず

機械で素子を回さず、50kHzの位相変調で偏光の変化を取る方式です。紫外の190nmから近赤外の2100nmまで同じ機械で測れます。約60ms/点と速いので、膜の変化を追う測定にも向きます。

要見積
株式会社堀場製作所会社のページ ⁠›可視分光エリプソメーター Smart SE向いている所：決まった膜を手早く測る生産管理製品の詳細を見るメーカー公式サイトhoriba.com—公式資料で確認できず

液晶で変調する可視域の機種で、ボタン操作で1nm〜15μmの膜を測れます。カメラで表面と測定位置を見ながら合わせられます。入射角は標準で70°固定なので、決まった膜の管理に向きます。

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面測定式

4製品
株式会社アルバック会社のページ ⁠›高速分光エリプソメーター UNECS-3000A向いている所：ウェーハ全面の膜厚分布を自動で見る製品の詳細を見るメーカー公式サイトshowcase.ulvac.co.jp—公式資料で確認できず

高次の位相子2枚を使うスナップショット測定で、最大20ms/点で測ります。R-θステージで直径300mmの基板を自動で回り、分布を色の地図で出します。値は2011年の発表のもので、いま販売中かは未確認です。

要見積
日本セミラボ株式会社会社のページ ⁠›マイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000向いている所：量産ラインのウェーハ全自動監視製品の詳細を見るメーカー公式サイトsemilab.com—公式資料で確認できず

FOUPのロードポートを持ち、300mmウェーハを全自動で測る機種です。測定点は最大3 000点まで自分で決められます。量産ウェーハの監視とロット間の均一性の管理に使います。

要見積
パーク・システムズ・ジャパン株式会社会社のページ ⁠›イメージング分光エリプソメーター Accurion EP4向いている所：微細な構造の膜を画像で見て測る製品の詳細を見るメーカー公式サイトparksystems.com—公式資料で確認できず

顕微鏡とエリプソメーターを1台にまとめ、視野の全画素を同時に測ります。面内分解能は最高1µmで、1点ずつ走査する必要がありません。先に画像で場所を選んでから測れるので、MEMSや光導波路の評価に使えます。

要見積
株式会社フォトニックラティス会社のページ ⁠›高速エリプソメーター ME-210向いている所：レジスト膜の面内むらを高密度に見る製品の詳細を見るメーカー公式サイトphotonic-lattice.com—公式資料で確認できず

1nm以下の膜厚変化を面で高速に測る機種です。高精細モードは5.5µm角のスポットで毎分5,000点以上を測ります。波長は636nmの1つなので、分光で光学定数を細かく解析する用途には向きません。

要見積

出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/keisoku/ellipsometer/／各社の公式資料（2026年11月7日確認）

Q&A

エリプソメーター選びで、よくある疑問

購買担当の疑問エリプソメーターの価格は、いくら？

今の価格を公式に出している会社は、この比較にはありません。アルバックのUNECS-3000Aは2011年の発表で15,000,000円（本体・コントローラ・パソコン込み）でしたが、今の価格ではありません。測りたい膜と試料の大きさを伝えて見積もりを取ります。

設備担当の疑問エリプソメーターと光干渉式の膜厚計の違いは？

光干渉式は反射光の強さの波形から厚さを出し、エリプソメーターは偏光の変化を測ります。光干渉式では難しい薄い透過膜の厚さや光学定数を測るときに、エリプソメーターを使います。

設備担当の疑問エリプソメーターの種類の違いは？

偏光素子を回す回転素子式、位相を電気で変える変調式、全面を自動で測る面測定式に分かれます。FE-5000は回転検光子法、UVISEL Plusは位相変調、ME-210は2次元分布の測定です。

設備担当の疑問波長範囲はどう選ぶ？

測る膜が光を通す波長に合わせます。紫外から近赤外まで見るならUVISEL Plusの190nm〜2100nm、可視で足りるならSmart SEの450nm〜1000nmです。レーザー1波長のME-210は636nmで測ります。

設備担当の疑問どれくらい薄い膜まで測れる？

公式に書いている範囲では、FE-5000は0.1nm〜1μm、Smart SEは1nm〜15μmです。ME-210の膜厚の繰り返し再現性は0.1nmです。材料と膜の構成で変わるので、実際の試料で確かめます。

設備担当の疑問入射角は変えられたほうがいい？

多層膜を細かく解析するなら、変えられる型が向きます。FE-5000とM-2000は45°〜90°で変えられます。ME-210は70°で、Smart SEは標準で70°固定です。

工場長の疑問ウェーハの全面を測りたい

面測定式を選びます。µSE-3000は300mmウェーハを最大3 000点まで全自動で測り、ME-210は毎分5,000点以上で分布を出します。UNECS-3000Aは2011年の発表で、直径300mmの106点を120秒で測ります。

設備担当の疑問小さなパターンの上の膜は測れる？

スポットの小さい機種を選びます。ME-210は高精細モードで5.5µm角、Smart SEは最小75μm×150μmです。Accurion EP4は面内分解能が最高1µmで、画像を見ながら測る場所を選べます。

設備担当の疑問成膜の途中で測れる？

M-2000は全スペクトルを最短0.05秒で取れ、公式でも成膜中の監視に使えると案内しています。UVISEL Plusも1点約60msと速く、膜の変化を追う測定に向きます。

施設管理の疑問置き場所と電源は？

UVISEL Plusは850×470×700mm、約85kgでAC100Vを使います。ME-210は650×650×1740mm、約200kgでAC100〜240Vです。床の強さと搬入口の幅を先に見ておきます。

TYPES

エリプソメーターの方式の違い

回転素子式

検光子や補償子を回しながら、反射光の偏光の変化を取る方式です。大塚電子のFE-5000は検光子を回し、M-2000は補償子を回してCCDで全波長を同時に取ります。入射角を変えて多層膜を細かく解析する開発の場面で使います。

向いている使い方

  • レジストや光学薄膜のn、kを波長ごとに評価する
  • 入射角を変えて多層膜を解析する
  • 成膜中の変化を追う

根拠：FE-5000の測定方式は回転検光子法、M-2000は回転補償子式です。（出典1）

この方式の2製品を表で見る

変調式

素子を機械で回さず、光の位相を電気で変えて偏光の変化を取る方式です。UVISEL Plusは50kHzの位相変調、Smart SEは液晶変調を使います。紫外から近赤外まで測る研究機から、ボタン操作で測る生産管理の機種まであります。

向いている使い方

  • 紫外から近赤外まで1台で測る
  • 速い変化をその場で追う
  • 決まった膜を手早く管理する

根拠：UVISEL Plusは位相変調、Smart SEは液晶変調方式です。（出典3）

この方式の2製品を表で見る

面測定式

ウェーハの全面や視野全体を自動で測り、膜厚の分布を見る方式です。ME-210とUNECS-3000Aは高速に点を重ね、µSE-3000は全自動で測り、Accurion EP4は視野の全画素を同時に測ります。面内のむらを見る工程の管理や微細な構造の評価で使います。

向いている使い方

  • ウェーハ面内の膜厚むらを見る
  • 量産ウェーハを全自動で監視する
  • 微細な構造の膜を画像で見て測る

根拠：ME-210は2次元分布測定、Accurion EP4は視野全体を並列に測ります。（出典5）

この方式の4製品を表で見る
MAKERS

エリプソメーターの主なメーカー7社

株式会社アルバック

高次の位相子2枚を使うスナップショット測定で、最大20ms/点で測ります。

神奈川県

大塚電子株式会社

検光子を回して測る方式で、400ch以上の多チャンネル分光で波長ごとの値をまとめて取ります。

大阪府

ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社

回転補償子とCCDを組み合わせ、全波長を同時に取る方式です。

東京都

日本セミラボ株式会社

FOUPのロードポートを持ち、300mmウェーハを全自動で測る機種です。

神奈川県

パーク・システムズ・ジャパン株式会社

顕微鏡とエリプソメーターを1台にまとめ、視野の全画素を同時に測ります。

東京都

株式会社フォトニックラティス

1nm以下の膜厚変化を面で高速に測る機種です。

宮城県

株式会社堀場製作所

機械で素子を回さず、50kHzの位相変調で偏光の変化を取る方式です。

京都府

出典
  1. 大塚電子 分光エリプソメータ FE-5000 series
  2. J.A. Woollam M-2000
  3. 堀場製作所 UVISEL Plus
  4. 堀場製作所 Smart SE
  5. フォトニックラティス ME-210
  6. パーク・システムズ Accurion EP4
  7. 日本セミラボ µSE-3000
  8. アルバック UNECS-3000A ⁠⁠⁠⁠⁠発表
  9. リソテックジャパン 分光エリプソメータ
掲載基準

半導体・光学薄膜・ディスプレイの開発と検査で薄膜の厚さと屈折率を測るエリプソメーター（分光エリプソメーター・単波長の高速機・イメージング機）に限ります。反射光の強さの干渉で膜厚を測る光干渉式の膜厚計、塗装やめっきの膜厚計（比較ページ「膜厚計」）は入れていません。メーカーが自社またはグループで作り、自社の型番で売り、日本の会社か日本法人のある製品を、1社2製品まで載せています。アルバックのUNECS-3000Aは2011年の公式発表の値で、ジェー・エー・ウーラム・ジャパンのM-2000は日本語の公式サイトが休止中で米国本社の英語ページの値のため、どちらも日本で販売中かは確かめられていません。リソテックジャパンが案内するUNECSは型番がアルバックと同じなので、アルバックの欄にまとめました。ファイブラボは公式サイトを開けず、溝尻光学工業所は公式サイトが見つからず、日本分光は公式の製品一覧にエリプソメーターを確かめられず、ミワオプト・オプトサイエンス・ユーレカは公式の製品ページを確かめられなかったので、今回は載せていません。日本セミラボのSE-2000・SE-1000は公式で方式を確かめられなかったので、載せていません。

エリプソメーターを作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

CITE

引用

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