分光エリプソメーター FE-5000

分光エリプソメーター FE-5000は、レジストのn・kを波長ごとに評価する開発に使う人向けです。分光エリプソメーター FE-5000は、検光子を回して測る方式で、400ch以上の多チャンネル分光で波長ごとの値をまとめて取ります。

分光エリプソメーター FE-5000は、g線・h線・i線の各波長でn、kを見られるので、レジストの評価に使えます。入射角は45°〜90°で変えられます。

分光エリプソメーター FE-5000の方式は回転検光子法、波長範囲は300nm〜800nmです。入射角は45°〜90°、測定膜厚は0.1nm〜1μmです。

レジストのn・kを波長ごとに評価する開発なら分光エリプソメーター FE-5000、全波長を同時に取り成膜中も追うならジェー・エー・ウーラム・ジャパンの分光エリプソメーター M-2000です。分光エリプソメーター FE-5000の方式は回転検光子法、波長範囲は300nm〜800nmです。ジェー・エー・ウーラム・ジャパンの分光エリプソメーター M-2000の方式は回転補償子式（RCE）、波長範囲は193nm〜1690nm（構成による）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

分光エリプソメーター FE-5000の測定の速さは400ch以上の多チャンネル分光です。ジェー・エー・ウーラム・ジャパンの分光エリプソメーター M-2000の測定の速さは全波長で最短0.05秒です。

分光エリプソメーター FE-5000の光源はキセノンランプです。堀場製作所の分光エリプソメーター UVISEL Plusの光源は75W（オプション150W）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

レジストのn・kを波長ごとに評価する開発なら分光エリプソメーター FE-5000、紫外から近赤外まで測る研究開発なら堀場製作所の分光エリプソメーター UVISEL Plusです。分光エリプソメーター FE-5000の方式は回転検光子法、波長範囲は300nm〜800nmです。堀場製作所の分光エリプソメーター UVISEL Plusの方式は位相変調方式、波長範囲は190nm〜2100nm（NIR仕様）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

分光エリプソメーター FE-5000は大塚電子株式会社の製品です。登記上の本店は〒573-1132 大阪府枚方市招提田近3丁目26番3号。大塚電子の主な製品分野はエリプソメーター・積分球・ディスプレイ光学測定器・分光器です。