分光エリプソメーター UVISEL Plus

分光エリプソメーター UVISEL Plusは、紫外から近赤外まで測る研究開発に使う人向けです。分光エリプソメーター UVISEL Plusは、機械で素子を回さず、50kHzの位相変調で偏光の変化を取る方式です。

分光エリプソメーター UVISEL Plusは、紫外の190nmから近赤外の2100nmまで同じ機械で測れます。約60ms/点と速いので、膜の変化を追う測定にも向きます。

分光エリプソメーター UVISEL Plusの方式は位相変調方式、波長範囲は190nm〜2100nm（NIR仕様）⁠で⁠す⁠。入射角は45°〜90°（電動）、スポット・分解能は3mm（標準）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

紫外から近赤外まで測る研究開発なら分光エリプソメーター UVISEL Plus、レジストのn・kを波長ごとに評価する開発なら大塚電子の分光エリプソメーター FE-5000です。分光エリプソメーター UVISEL Plusの方式は位相変調方式、波長範囲は190nm〜2100nm（NIR仕様）⁠で⁠す⁠。大塚電子の分光エリプソメーター FE-5000の方式は回転検光子法、波長範囲は300nm〜800nmです。

分光エリプソメーター UVISEL Plusの寸法・質量は850×470×700mm、約85kgです。フォトニックラティスの高速エリプソメーター ME-210の寸法・質量は650×650×1740mm、約200kgです。

分光エリプソメーター UVISEL Plusの試料は直径150mm（通常ステージ）⁠で⁠す⁠。アルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの試料は直径300mmまでです。

分光エリプソメーター UVISEL Plusの測定の速さは約60ms/点です。アルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの測定の速さは最大20ms/点です。

紫外から近赤外まで測る研究開発なら分光エリプソメーター UVISEL Plus、全波長を同時に取り成膜中も追うならジェー・エー・ウーラム・ジャパンの分光エリプソメーター M-2000です。分光エリプソメーター UVISEL Plusの方式は位相変調方式、波長範囲は190nm〜2100nm（NIR仕様）⁠で⁠す⁠。ジェー・エー・ウーラム・ジャパンの分光エリプソメーター M-2000の方式は回転補償子式（RCE）、波長範囲は193nm〜1690nm（構成による）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

あります。堀場製作所のエリプソメーターには、分光エリプソメーター UVISEL Plusのほかに可視分光エリプソメーター Smart SE（方式は液晶変調方式）があります。

分光エリプソメーター UVISEL Plusは株式会社堀場製作所の製品です。登記上の本店は〒601-8305 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地。堀場製作所の主な製品分野は原子間力顕微鏡・粉塵計・オゾン濃度計・COD計です。