マイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000

マイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000は、量産ラインのウェーハ全自動監視に使う人向けです。マイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000は、FOUPのロードポートを持ち、300mmウェーハを全自動で測る機種です。

マイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000の測定点は最大3 000点まで自分で決められます。量産ウェーハの監視とロット間の均一性の管理に使います。

マイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000の方式は全自動マッピング、波長範囲は193nm〜900nmです。試料は300mm、200mm（カセットインサート使用時）、面の測定点は最大3 000点です。

量産ラインのウェーハ全自動監視ならマイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000、ウェーハ全面の膜厚分布を自動で見るならアルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aです。マイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000の方式は全自動マッピング、波長範囲は193nm〜900nmです。アルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの方式はスナップショット測定、試料は直径300mmまでです。

量産ラインのウェーハ全自動監視ならマイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000、微細な構造の膜を画像で見て測るならパーク・システムズ・ジャパンのイメージング分光エリプソメーター Accurion EP4です。マイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000の方式は全自動マッピング、波長範囲は193nm〜900nmです。パーク・システムズ・ジャパンのイメージング分光エリプソメーター Accurion EP4の方式はイメージング分光（全画素同時）、波長範囲は190nm〜1700nmです。

マイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000は日本セミラボ株式会社の製品です。登記上の本店は〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜2丁目15番10号。日本セミラボの主な製品分野はエリプソメーターです。