高速エリプソメーター ME-210

高速エリプソメーター ME-210は、レジスト膜の面内むらを高密度に見る人向けです。高速エリプソメーター ME-210は、1nm以下の膜厚変化を面で高速に測る機種です。

高速エリプソメーター ME-210の高精細モードは5.5µm角のスポットで毎分5,000点以上を測ります。波長は636nmの1つなので、分光で光学定数を細かく解析する用途には向きません。

高速エリプソメーター ME-210の方式は2次元分布測定（マッピング）、波長範囲は636nmです。入射角は70°、スポット・分解能は0.5mm角、5.5µm角です。

レジスト膜の面内むらを高密度に見るなら高速エリプソメーター ME-210、ウェーハ全面の膜厚分布を自動で見るならアルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aです。高速エリプソメーター ME-210の方式は2次元分布測定（マッピング）、波長範囲は636nmです。アルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの方式はスナップショット測定、試料は直径300mmまでです。

高速エリプソメーター ME-210の寸法・質量は650×650×1740mm、約200kgです。堀場製作所の分光エリプソメーター UVISEL Plusの寸法・質量は850×470×700mm、約85kgです。

高速エリプソメーター ME-210の試料は最大8インチ、オプションで直径300mmです。アルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの試料は直径300mmまでです。

高速エリプソメーター ME-210の測定の速さは5,000点/分以上（高精細モード）⁠で⁠す⁠。アルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの測定の速さは最大20ms/点です。

レジスト膜の面内むらを高密度に見るなら高速エリプソメーター ME-210、量産ラインのウェーハ全自動監視なら日本セミラボのマイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000です。高速エリプソメーター ME-210の方式は2次元分布測定（マッピング）、波長範囲は636nmです。日本セミラボのマイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000の方式は全自動マッピング、波長範囲は193nm〜900nmです。

高速エリプソメーター ME-210は株式会社フォトニックラティスの製品です。登記上の本店は〒989-3204 宮城県仙台市青葉区南吉成6丁目6番地の3。フォトニックラティスの主な製品分野はエリプソメーター・応力測定器です。