イメージング分光エリプソメーター Accurion EP4

イメージング分光エリプソメーター Accurion EP4は、微細な構造の膜を画像で見て測る人向けです。イメージング分光エリプソメーター Accurion EP4は、顕微鏡とエリプソメーターを1台にまとめ、視野の全画素を同時に測ります。

イメージング分光エリプソメーター Accurion EP4の面内分解能は最高1µmで、1点ずつ走査する必要がありません。先に画像で場所を選んでから測れるので、MEMSや光導波路の評価に使えます。

イメージング分光エリプソメーター Accurion EP4の方式はイメージング分光（全画素同時）、波長範囲は190nm〜1700nmです。スポット・分解能は面内分解能 最高1µmです。

微細な構造の膜を画像で見て測るならイメージング分光エリプソメーター Accurion EP4、ウェーハ全面の膜厚分布を自動で見るならアルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aです。イメージング分光エリプソメーター Accurion EP4の方式はイメージング分光（全画素同時）、波長範囲は190nm〜1700nmです。アルバックの高速分光エリプソメーター UNECS-3000Aの方式はスナップショット測定、試料は直径300mmまでです。

微細な構造の膜を画像で見て測るならイメージング分光エリプソメーター Accurion EP4、量産ラインのウェーハ全自動監視なら日本セミラボのマイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000です。イメージング分光エリプソメーター Accurion EP4の方式はイメージング分光（全画素同時）、波長範囲は190nm〜1700nmです。日本セミラボのマイクロスポット分光エリプソメーター µSE-3000の方式は全自動マッピング、波長範囲は193nm〜900nmです。

イメージング分光エリプソメーター Accurion EP4はパーク・システムズ・ジャパン株式会社の製品です。登記上の本店は〒105-0003 東京都港区西新橋1丁目11番4号。パーク・システムズ・ジャパンの主な製品分野はエリプソメーター・原子間力顕微鏡です。