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原子間力顕微鏡（AFM）大型試料・ウェハー型

原子間力顕微鏡 Park NX20

パーク・システムズ・ジャパン株式会社

Park Systemsの大型試料用AFMです。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
大型試料・ウェハー型
向いている所
200mmまでの大型試料と故障解析
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比較表での位置

原子間力顕微鏡 Park NX20は、原子間力顕微鏡のメーカー7社比較⁠の種類「大型試料・ウェハー型」の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 13製品比較表の製品
  • 3製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
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原子間力顕微鏡 Park NX20​の強みと方式

200mmまでの大きな試料をそのまま載せて測る、大型試料用の機種です。XYスキャナーは各軸の両側に駆動と位置センサーを持ち、200×200mmの全域で位置を合わせます。半導体の故障解析のように、広い試料の決まった場所を何度も測る用途に向きます。

向いている所200mmまでの大型試料と故障解析

種類：大型試料・ウェハー型

150〜200mmの大きな試料やウェハーを、切らずにそのまま載せて測る型です。電動のステージで決まった場所へ動かし、何点も続けて測れます。

原子間力顕微鏡 Park NX20​の仕様

種類
大型試料・ウェハー型
測定モード
完全非接触のTrue Non-contactモード
走査範囲
—公式資料で確認できず
試料の大きさ
200mm試料
走査速度
—公式資料で確認できず
測定環境
—公式資料で確認できず
分解能・ノイズ
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
本体の大きさ
—公式資料で確認できず
特長
デュアルサーボのXYスキャナーで200×200mmの全域を位置決め

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

原子間力顕微鏡 Park NX20パーク・システムズ・ジャパン株式会社原子間力顕微鏡 Dimension Nexusブルカージャパン株式会社原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryオックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
種類大型試料・ウェハー型大型試料・ウェハー型大型試料・ウェハー型
測定モード完全非接触のTrue Non-contactモードPeakForce Tappingなど50以上コンタクト、タッピング、FM、LFM、EFM、KPFM、MFM、PFM
走査範囲—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずXY100μm、Z10μm超
試料の大きさ200mm試料150mmのプログラマブルステージ直径210mm、高さ35mmまで
走査速度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず20Hz超
測定環境—公式資料で確認できず液中、環境制御—公式資料で確認できず
分解能・ノイズ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずハイトノイズ25pm未満
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
本体の大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
特長デュアルサーボのXYスキャナーで200×200mmの全域を位置決めNanoScope 6コントローラ、自己最適化のScanAsyst Plus電動ステージで200mmウェーハの全域に届く、最大40mm/s

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原子間力顕微鏡 Park NX20​のよくある質問

Q.原子間力顕微鏡 Park NX20はどんな人に向いている？
原子間力顕微鏡 Park NX20は、200mmまでの大型試料と故障解析に使う人向けです。原子間力顕微鏡 Park NX20は、200mmまでの大きな試料をそのまま載せて測る、大型試料用の機種です。
Q.原子間力顕微鏡 Park NX20の強みは？
原子間力顕微鏡 Park NX20のXYスキャナーは各軸の両側に駆動と位置センサーを持ち、200×200mmの全域で位置を合わせます。半導体の故障解析のように、広い試料の決まった場所を何度も測る用途に向きます。
Q.原子間力顕微鏡 Park NX20はどんな方式？
原子間力顕微鏡 Park NX20の種類は大型試料・ウェハー型です。150〜200mmの大きな試料やウェハーを、切らずにそのまま載せて測る型です。
Q.原子間力顕微鏡 Park NX20の主な仕様は？
原子間力顕微鏡 Park NX20の測定モードは完全非接触のTrue Non-contactモード、試料の大きさは200mm試料です。特長はデュアルサーボのXYスキャナーで200×200mmの全域を位置決めです。
Q.原子間力顕微鏡 Park NX20と原子間力顕微鏡 Dimension Nexusはどっちがいい？
200mmまでの大型試料と故障解析なら原子間力顕微鏡 Park NX20、150mmステージの卓上大型試料機ならブルカージャパンの原子間力顕微鏡 Dimension Nexusです。原子間力顕微鏡 Park NX20の測定モードは完全非接触のTrue Non-contactモード、試料の大きさは200mm試料です。ブルカージャパンの原子間力顕微鏡 Dimension Nexusの測定モードはPeakForce Tappingなど50以上、試料の大きさは150mmのプログラマブルステージです。
Q.原子間力顕微鏡 Park NX20と原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryはどっちがいい？
200mmまでの大型試料と故障解析なら原子間力顕微鏡 Park NX20、200mmウェーハまでの大型試料ならオックスフォード・インストゥルメンツの原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryです。原子間力顕微鏡 Park NX20の測定モードは完全非接触のTrue Non-contactモード、試料の大きさは200mm試料です。オックスフォード・インストゥルメンツの原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの測定モードはコンタクト、タッピング、FM、LFM、EFM、KPFM、MFM、PFM、走査範囲はXY100μm、Z10μm超です。
Q.原子間力顕微鏡 Park NX20のほかにパーク・システムズ・ジャパンの原子間力顕微鏡はある？
あります。パーク・システムズ・ジャパンの原子間力顕微鏡には、原子間力顕微鏡 Park NX20のほかに原子間力顕微鏡 Park NX10（測定モードは完全非接触のTrue Non-Contactモード⁠）⁠があります。
Q.原子間力顕微鏡 Park NX20はどこのメーカー？
原子間力顕微鏡 Park NX20はパーク・システムズ・ジャパン株式会社の製品です。韓国に本社を置く原子間力顕微鏡のメーカー、Park Systemsの日本法人です。

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