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原子間力顕微鏡（AFM）大型試料・ウェハー型

原子間力顕微鏡 Jupiter Discovery

オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

オックスフォード・インストゥルメンツ（アサイラム・リサーチ）の大型試料用AFMです。

価格
公開価格なし（見積もり）
種類
大型試料・ウェハー型
向いている所
200mmウェーハまでの大型試料
カタログ
あり（PDF）
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比較表での位置

原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryは、原子間力顕微鏡のメーカー7社比較⁠の種類「大型試料・ウェハー型」の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 13製品比較表の製品
  • 3製品同じ種類
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原子間力顕微鏡 Jupiter Discovery​の強みと方式

直径210mmまでの試料を載せ、電動ステージで200mmウェーハの全域に届く大型試料用の機種です。走査速度は20Hz超、ハイトノイズは25pm未満です。KPFM・MFM・PFMなど電気と磁気の測定も基本のモードに入っています。

向いている所200mmウェーハまでの大型試料

種類：大型試料・ウェハー型

150〜200mmの大きな試料やウェハーを、切らずにそのまま載せて測る型です。電動のステージで決まった場所へ動かし、何点も続けて測れます。

原子間力顕微鏡 Jupiter Discovery​の仕様

種類
大型試料・ウェハー型
測定モード
コンタクト、タッピング、FM、LFM、EFM、KPFM、MFM、PFM
走査範囲
XY100μm、Z10μm超
試料の大きさ
直径210mm、高さ35mmまで
走査速度
20Hz超
測定環境
—公式資料で確認できず
分解能・ノイズ
ハイトノイズ25pm未満
価格
—公式資料で確認できず
本体の大きさ
—公式資料で確認できず
特長
電動ステージで200mmウェーハの全域に届く、最大40mm/s

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryオックスフォード・インストゥルメンツ株式会社原子間力顕微鏡 Park NX20パーク・システムズ・ジャパン株式会社原子間力顕微鏡 Dimension Nexusブルカージャパン株式会社
種類大型試料・ウェハー型大型試料・ウェハー型大型試料・ウェハー型
測定モードコンタクト、タッピング、FM、LFM、EFM、KPFM、MFM、PFM完全非接触のTrue Non-contactモードPeakForce Tappingなど50以上
走査範囲XY100μm、Z10μm超—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
試料の大きさ直径210mm、高さ35mmまで200mm試料150mmのプログラマブルステージ
走査速度20Hz超—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
測定環境—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず液中、環境制御
分解能・ノイズハイトノイズ25pm未満—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
本体の大きさ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
特長電動ステージで200mmウェーハの全域に届く、最大40mm/sデュアルサーボのXYスキャナーで200×200mmの全域を位置決めNanoScope 6コントローラ、自己最適化のScanAsyst Plus

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原子間力顕微鏡 Jupiter Discovery​のよくある質問

Q.原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryはどんな人に向いている？
原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryは、200mmウェーハまでの大型試料に使う人向けです。原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryは、直径210mmまでの試料を載せ、電動ステージで200mmウェーハの全域に届く大型試料用の機種です。
Q.原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの強みは？
原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの走査速度は20Hz超、ハイトノイズは25pm未満です。KPFM・MFM・PFMなど電気と磁気の測定も基本のモードに入っています。
Q.原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryはどんな方式？
原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの種類は大型試料・ウェハー型です。150〜200mmの大きな試料やウェハーを、切らずにそのまま載せて測る型です。
Q.原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの主な仕様は？
原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの測定モードはコンタクト、タッピング、FM、LFM、EFM、KPFM、MFM、PFM、走査範囲はXY100μm、Z10μm超です。試料の大きさは直径210mm、高さ35mmまで、走査速度は20Hz超です。
Q.原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryと原子間力顕微鏡 Park NX20はどっちがいい？
200mmウェーハまでの大型試料なら原子間力顕微鏡 Jupiter Discovery、200mmまでの大型試料と故障解析ならパーク・システムズ・ジャパンの原子間力顕微鏡 Park NX20です。原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの測定モードはコンタクト、タッピング、FM、LFM、EFM、KPFM、MFM、PFM、走査範囲はXY100μm、Z10μm超です。パーク・システムズ・ジャパンの原子間力顕微鏡 Park NX20の測定モードは完全非接触のTrue Non-contactモード、試料の大きさは200mm試料です。
Q.原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの分解能・ノイズは？
原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの分解能・ノイズはハイトノイズ25pm未満です。ユニソクの液体ヘリウムフリー超高真空低温SPM USM1800の分解能・ノイズは原子分解能保証2pm/√Hz以下です。
Q.原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの特長は？
原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの特長は電動ステージで200mmウェーハの全域に届く、最大40mm/sです。パーク・システムズ・ジャパンの原子間力顕微鏡 Park NX20の特長はデュアルサーボのXYスキャナーで200×200mmの全域を位置決めです。
Q.原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryと原子間力顕微鏡 Dimension Nexusはどっちがいい？
200mmウェーハまでの大型試料なら原子間力顕微鏡 Jupiter Discovery、150mmステージの卓上大型試料機ならブルカージャパンの原子間力顕微鏡 Dimension Nexusです。原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryの測定モードはコンタクト、タッピング、FM、LFM、EFM、KPFM、MFM、PFM、走査範囲はXY100μm、Z10μm超です。ブルカージャパンの原子間力顕微鏡 Dimension Nexusの測定モードはPeakForce Tappingなど50以上、試料の大きさは150mmのプログラマブルステージです。
Q.原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryのほかにオックスフォード・インストゥルメンツの原子間力顕微鏡はある？
あります。オックスフォード・インストゥルメンツの原子間力顕微鏡には、原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryのほかに高速原子間力顕微鏡 Cypher VRS1250（測定モードはコンタクト、タッピング、デュアルAC、FM、LFM、KPFM、MFM、PFM）があります。
Q.原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryはどこのメーカー？
原子間力顕微鏡 Jupiter Discoveryはオックスフォード・インストゥルメンツ株式会社の製品です。英国オックスフォード・インストゥルメンツの日本法人で、アサイラム・リサーチの原子間力顕微鏡を扱います。

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