原子間力顕微鏡（AFM）のメーカー7社比較【2026年】

このページの13製品は、どれも公式に値段を出していません。島津製作所のSPM-NanoaとSPM-9700HT Plusは「価格お問い合わせ」で、ほかのメーカーも見積もりで決まります。スキャナや測定モードのオプションで値段が変わるので、測りたい試料と項目を決めてから見積もりを取ります。

載せる試料と測り方で4つに分かれます。小さな試料を測る汎用型、150〜200mmの試料を載せる大型試料型、溶液中の動きを動画で撮る高速AFM、超高真空と低温で原子を観る超高真空・低温SPMです。研究室の汎用には島津製作所のSPM-Nanoa、ウェハーにはパーク・システムズのPark NX20などがあります。

AFMは探針で表面をなぞり、高さを数字で持った三次元の形をとります。生体分子計測研究所の高速AFMは、大気中でも溶液中でも試料を動画で撮れます。電子顕微鏡は別の比較表にまとめています。

機種とスキャナで決まります。島津製作所のSPM-Nanoaは標準が10×10×1μmで、オプションで125×125×7μmまで広げられます。オックスフォード・インストゥルメンツのJupiter DiscoveryはXY100μm、堀場製作所のAFM Ramanは100μm×100μm×15μmです。高速AFMのSS-NEXはX0.7μm・Y0.7μmと狭めです。

大型試料型ならウェハーを切らずに載せられます。Jupiter Discoveryは直径210mm・高さ35mmまでで、電動ステージで200mmウェーハの全域に届きます。Park NX20は200mm試料用、ブルカーのDimension Nexusは150mmのステージです。汎用型のSPM-Nanoaは直径50mm・厚さ8mmまでです。

液中で測れる機種があります。生体分子計測研究所のSS-NEXとMS-NEXは溶液中と大気中の両方で測れ、測定中に溶液を入れられます。オックスフォード・インストゥルメンツのCypher VRS1250は密閉したサンプルセルで液がもれません。堀場製作所のAFM Ramanは液中をオプションで足します。

溶液中の分子の動きを動画で撮るAFMで、従来型の1000倍以上の速さで走査します。生体分子計測研究所のSS-NEXは1枚50ms（20frames/sec）、オックスフォード・インストゥルメンツのCypher VRS1250は最大45フレーム/秒です。速く撮るほど一度に見られる範囲は狭くなります。

探針を当ててなぞるコンタクト、探針を揺らして軽くたたくタッピング（ACモード）、当てずに引力をとらえる非接触が基本です。島津製作所のSPM-9700HT Plusは、形のほかに電流・電位・硬さ・粘弾性の分布も画像にできます。Jupiter DiscoveryはKPFM・MFM・PFMなど電気と磁気のモードを基本で持っています。

表面をきれいにした試料を低温にして、原子や分子の並びを観る基礎研究で使います。ユニソクのUSM1200は5Kまで冷やし、液体ヘリウムを10日以上保ちます。USM1800は液体ヘリウムを使わず、機械式冷凍機で6K以下まで冷やします。

条件合わせを自動で行う機種なら、人による差が出にくくなります。島津製作所のSPM-Nanoaはレーザーの光軸調整から画像処理までを自動で行い、SPM-9700HT Plusは観察範囲を決めるだけです。ブルカーのDimension Nexusは条件を自分で合わせるScanAsyst Plusを持っています。

探針は消耗品で、先が欠けると画像がぼやけるので替えます。パーク・システムズのTrue Non-Contactモードは、探針の先と試料の間の引力で形をとり、探針を試料に当てずに測ります。島津製作所のSPM-9700HT Plusは、ヘッドをスライドさせて試料を替えられます。