電子顕微鏡のメーカー7社比較【2026年】

値段を公式に出しているのは島津製作所で、汎用SEMのSS‑2000 LMSが3,890万円から、FE‑SEMのSS‑4000 LMHが1億1,000万円から（税込）⁠で⁠す⁠。卓上SEMでは、日本電子の前の型JCM‑7000が2019年の発売時に本体標準価格6,500,000円からでした。ほかの製品は、試料と使い方を伝えて見積もりを取ります。

光学顕微鏡は光で見るので、光の波長より小さい物は見えません。電子顕微鏡は波長の短い電子線を使い、SEMで0.5〜4nm、TEMで0.1〜0.3nmの細かさまで見分けます。SEMは焦点深度も深く、凹凸のある表面を立体的に見られます。

SEMは試料の表面に電子線を当て、表面から出てくる電子を検出器で拾って像にします。TEMは薄くした試料に電子線を通し、通り抜けた電子で中の構造を見ます。表面の形や異物を見るならSEM、結晶や細胞の中の構造を見るならTEMを選びます。

倍率は画面の大きさで変わるので、比べるのは分解能です。分解能は条件つきで書かれ、島津のSS‑4000 LMHは15keVで0.9nm、1keVで1.3nm、日本電子のJCM‑7000Plusは20kVで6.0nmです。TEMのJEM‑120iは0.2nm（高分解能の構成は0.14nm）ま⁠で見分けます。

異物の確認や品質管理で、決まった大きさの試料を早く見るなら卓上SEMで足ります。サーモフィッシャーのPhenom XL G3は100×100mmの試料が入り、像が出るまで平均40秒です。大きな部品を入れたい、分析の検出器を何台も付けたいなら、試料室の大きな汎用SEMにします。

FE‑SEMは電子線を細く絞れるので、低い電圧でも細かく見られます。ツァイスのSigma 360は500Vで1.9nm、タングステンのツァイスEVO 10は30kVで2.5nmです。電子線に弱い試料や表面のごく浅い所を見るならFE‑SEMにします。

低真空モードがあれば、試料室を数十〜数百Paにして帯電を減らし、コーティングなしで見られます。日本電子のJCM‑7000Plusは低真空モードが標準で、島津のSS‑2000 LMSは30Pa、ツァイスのSigma 360は10〜133Paの低真空で使えます。高真空だけの機種では、金や白金パラジウムで表面を薄く覆ってから見ます。

SEMにEDSを付けると、見ている所の元素をBからUまで同時に調べられます。日本電子はSEMとEDSを自社で作り、観察の画面で元素を表示します。サーモフィッシャーのApreo 2は、SEM像に元素の色をその場で重ねるChemiSEMをオプションで付けられます。

テクネックス工房のTinySEMは100Vのコンセントだけで動き、除振台もいりません。据え置きのTEMは大きく、日本電子のJEM‑120iは幅840×奥行1,734×高さ1,782mm、サーモフィッシャーのTalos 12は8.4m²の部屋に置く配置例があります。床の振動や電源も含めて、買う前にメーカーと置き場所を決めます。

クライオ電子顕微鏡は、タンパク質などの試料を凍らせたままTEMで見る方法・装置です。サーモフィッシャーのTalos 12は、細胞や組織のTEM、STEMとEDSでの分析、クライオ電子顕微鏡の入門機のどれにも組めます。日本電子のJEM‑120iも、汎用のTEMでクライオ観察をする事例を公開しています。

FIB‑SEMは、Gaなどのイオンビームで試料を削るFIBとFE‑SEMを1台にした装置です。日本電子のJIB‑PS500iは、断面を削りながらSEMで見て、TEMで見る薄い試料をその場で作れます。Gaイオンビームは最大100nAで、試料作製の自動化（STEMPLING2）もオプションで付けられます。

キーエンスは、マイクロスコープ・SEM・EDSを1台にしたEB‑3000シリーズを載せています。日立ハイテクは、公式サイトの製品ページをこのページの調べ方で読めず、仕様を確かめられなかったため載せていません。どちらも卓上SEMや汎用SEMを扱っているので、見積もりを取るときは比べる先に入れます。