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DENSHI-KENBIKYO / MZ-13306

ZEISS Sigma 360カールツァイス株式会社

低加速電圧に強いFE-SEM。

2026年10月14日確認

仕様

向いている所：電子線に弱い試料を低電圧で見る

種類
FE‑SEM・FIB‑SEM
分解能
15kVで0.9nm、500Vで1.9nm
倍率
10〜1,000,000倍
加速電圧
0.02〜30kV
電子銃
ショットキー（電界放出）
低真空
10〜133Pa（NanoVP lite）
試料
—公式資料で確認できず
元素分析
EDSポート2（専用1）
大きさ
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
特長
500Vで1.9nm

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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出典（2026年10月14日確認）

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