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DENSHI-KENBIKYO / MZ-13308

SUPERSCAN SS‑4000 LMH株式会社島津製作所

TESCANと組んだ島津の超高分解能FE-SEM。

2026年10月14日確認

仕様

向いている所：非導電性の材料を低加速で細かく見る

種類
FE‑SEM・FIB‑SEM
分解能
15keVで0.9nm、1keVで1.3nm
倍率
2〜2,000,000倍
加速電圧
0.05〜30keV
電子銃
ショットキー電界放出
低真空
なし（GMUは7〜500Pa）
試料
直径100mm・高さ39mm
元素分析
オプション（約20種類の分析に対応）
大きさ
—公式資料で確認できず
価格
1億1,000万円⁠〜（税込）
特長
約20種類の分析オプション

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

大型試料室で低真空（7〜500Pa）も使えるGMUもある。

口コミ

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出典（2026年10月14日確認）

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