FE‑SEM・FIB‑SEMのメーカー4社比較【2026年】

値段を公式に出しているのは島津製作所で、SS‑4000 LMHが1億1,000万円から（税込）、GMUの型は1億2914万円から（税込）⁠で⁠す⁠。ツァイスのSigma 360、サーモフィッシャーのApreo 2 S、日本電子のJIB‑PS500iは、試料と使い方を伝えて見積もりを取ります。

サーモフィッシャーのApreo 2 Sは1kVで0.9nm、島津のSS‑4000 LMHは1keVで1.3nm、ツァイスのSigma 360は500Vで1.9nmです。電子線に弱い試料や表面のごく浅い所を見るなら、低い電圧の分解能で比べて選びます。

FIB‑SEMは、Gaなどのイオンビームで試料を削るFIBとFE‑SEMを1台にした装置です。日本電子のJIB‑PS500iは、断面を削りながらSEMで見て、TEMで見る薄い試料をその場で作れます。Gaイオンビームは最大100nAで、試料作りの自動化（STEMPLING2）もオプションです。

低い電圧で細かく見られるFE‑SEMを選びます。加速電圧が高いほど分解能は上がりますが、試料のダメージも増えます。ツァイスのSigma 360は500Vでも1.9nmで、電子線に弱い樹脂や生物の試料、電気を通さない試料を、コーティングを減らして見られます。

低真空のある機種なら見られます。ツァイスのSigma 360はNanoVP liteで10〜133Pa、サーモフィッシャーのApreo 2 Sはオプションで10〜500Paです。島津のSS‑4000 LMHは低真空が無く、GMUの型が7〜500Paです。電気を通さない試料が多いなら、低真空の範囲で選びます。

サーモフィッシャーのApreo 2 Sは、EDSを付けるとSEM像に元素の色をその場で重ねて見られます（ChemiSEM）。試料からレンズまで10mm離した分析の位置のまま、1nm級の分解能で撮れます。島津のSS‑4000は約20種類の分析のオプションに対応します。

サーモフィッシャーのApreo 2 Sは軸合わせや焦点合わせを自動でするので、使う人の腕で結果が変わりにくい装置です。島津のSS‑4000 LMHも、電圧や電流を変えても明るさと焦点を自動で合わせ直します。何人で使うかを決めてから、自動の機能を比べます。

日本電子のJIB‑PS500iは、直径130mm・高さ80mmまでの試料の全面で加工と観察ができます。島津のSS‑4000 LMHは直径100mm・高さ39mm、サーモフィッシャーのApreo 2 Sはステージ110×110mm・5kgまでです。入れたい試料の寸法を測ってから選びます。

島津のSS‑4000 LMHは2〜2,000,000倍、ツァイスのSigma 360は10〜1,000,000倍、日本電子のJIB‑PS500iのSEMは50〜1,000,000倍です。倍率は画面の大きさで変わるので、細かさを比べるときは分解能を見て選びます。

FE‑SEMは電子線を細く絞れるので、低い電圧でも細かく見られます。ツァイスのSigma 360は500Vで1.9nm、タングステンのツァイスEVO 10は30kVで2.5nmです。電子線に弱い試料や表面のごく浅い所を見るならFE‑SEM、30kVでふつうに見るなら汎用SEMで足ります。