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DENSHI-KENBIKYO / MZ-13307

JIB‑PS500i日本電子株式会社

TEM試料づくり向けのFIB-SEM。

2026年10月14日確認

仕様

向いている所：TEM試料づくりと断面の観察

種類
FE‑SEM・FIB‑SEM
分解能
SEMは15kVで0.7nm
倍率
50〜1,000,000倍（SEM）
加速電圧
0.01〜30kV（SEM）
電子銃
インレンズショットキーPlus（電界放出）
低真空
—公式資料で確認できず
試料
直径130mm・高さ80mmまで
元素分析
オプション（本体のソフトに組み込み）
大きさ
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
特長
Gaイオンビームは最大100nA

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

FIBの分解能は30kVで3nm。試料作製の自動化（STEMPLING2）はオプション。

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出典（2026年10月14日確認）

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