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DENSHI-KENBIKYO / MZ-13305

SUPERSCAN SS‑2000 LMS株式会社島津製作所

TESCANと組んだ島津のタングステンSEM。

2026年10月14日確認

仕様

向いている所：金属・樹脂の材料解析と異物の確認

種類
汎用SEM（タングステン・LaB6）
分解能
30keVで3nm
倍率
2〜1,000,000倍
加速電圧
0.2〜30keV
電子銃
タングステン
低真空
30Pa固定
試料
直径100mm・高さ39mm
元素分析
元素分析は専用ソフトEssenseで操作
大きさ
—公式資料で確認できず
価格
3,890万円⁠〜（税込）
特長
2倍の極低倍率から見られる

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

LMU（可変低真空 7〜500Pa）・GMU（大型試料室）もある。

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出典（2026年10月14日確認）

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