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DENSHI-KENBIKYO / MZ-13304

PrecisionSEM5600松定プレシジョン株式会社

対物レンズを2つ持つタングステンSEM。

2026年10月14日確認

仕様

向いている所：薄い試料を低い電圧で細かく見る

種類
汎用SEM（タングステン・LaB6）
分解能
30kVで3nm（⁠トップレンズ⁠）
倍率
低倍〜10万倍程度
加速電圧
最大30kV
電子銃
タングステン
低真空
オプション
試料
厚さ40mmまで
元素分析
オプション
大きさ
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
特長
下側の対物レンズで厚さ5mm以下を高分解能に見る

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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出典（2026年10月14日確認）

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