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DENSHI-KENBIKYO / MZ-13303

ZEISS EVO 10カールツァイス株式会社

タングステンとLaB6を選べる汎用SEM。

2026年10月14日確認

仕様

向いている所：電気を通さない試料も多い分析室

種類
汎用SEM（タングステン・LaB6）
分解能
30kVで2.5nm（W）・2nm（LaB6）
倍率
—公式資料で確認できず
加速電圧
0.2〜30kV
電子銃
タングステンかLaB6
低真空
10〜400Pa、拡張で3,000Paまで
試料
試料室 直径310×高さ220mm
元素分析
オプション（SmartEDX）
大きさ
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
特長
試料室は3,000Paまでの圧力で使える

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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出典（2026年10月14日確認）

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